技术总结
本发明提供了一种衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及开设在所述不透光薄膜上的N个透光圆孔；N为大于100的正整数；其中，所述N个透光圆孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光圆孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，透光薄膜1上分布N个透光圆孔，且透光孔以一定的几率密度呈准斜方格子分布，因此能够完全抑制2，3，4级衍射，提高分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构由圆孔组成，且相邻圆孔之间的距离较大，所以易于加工。
技术研发人员：史丽娜;牛洁斌;李海亮;刘子维;浦探超;谢常青;刘明
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
文档号码：201611184566
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2017.05.31