扫描系统的制作方法

文档序号:12314786阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种扫描系统,用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上,其特征在于,该扫描系统包括:

激光源,其从激光源的出口输出写入光束;

台,用于安装要被处理的印刷电路板;

光学器材,用于将写入光束引导到印刷电路板表面上;

工作底部(92),用于支撑所述激光源、光学器材和台;以及

抽吸单元(1400),流体连接到从激光源(12)延伸的管道(1422),其中抽吸单元(1400)被连接到管道(1422)中的开口且建立由激光源产生的颗粒重新引导朝向抽吸单元(1400)的空气流(1440)。

2.如权利要求1所述的扫描系统,其特征在于,激光源的出口包括机械快门(1412),且空气流(1440)将机械快门(1412)上的颗粒重新引导朝向抽吸单元。

3.如权利要求1所述的扫描系统,其特征在于,管道(1422)在一端处流体连接到激光源的出口,且抽吸单元(1400)还建立将空气从另一端通过管道(1422)朝向抽吸单元(1400)拉动的第二空气流(1430)。

4.如权利要求3所述的扫描系统,其特征在于,所述光学器材包括第一透镜(20a),其最靠近激光源的出口且布置为邻近所述管道(1422)的所述另一端,且第二空气流(1430)将空气通过所述管道(1422)的所述另一端朝向抽吸单元(1400)拉动离开第一透镜(20a),由此防止颗粒沿朝向第一透镜(20a)的方向流动。

5.如权利要求1所述的扫描系统,其特征在于,抽吸单元(1400)包括压缩空气源(1405),其被用于产生穿过文丘里喷嘴(1415)的射流(1435),且风扇(1425)流体地连接到文丘里喷嘴(1415)中的负压区域,以产生抽吸流。

6.如权利要求5所述的扫描系统,其特征在于,阀(1410)被布置在压缩空气源(1405)和文丘里喷嘴(1415)之间,且被用于控制穿过文丘里喷嘴(1415)的空气流。

7.如权利要求5所述的扫描系统,其特征在于,阀(1410)为节流阀。

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