1.一种低损耗低驱动电压的高速偏振控制器,其特征在于,包括:基底晶片(5)、下粘接层(6)、铌酸锂单晶薄膜(7)、直条型光学波导(3-1)、下层金属电极(8)、上层金属电极(9),
所述基底晶片(5)为光学级、双面抛光的铌酸锂或石英晶片,其厚度为0.1mm至2mm;
所述下粘接层(6)为二氧化硅薄膜,位于基底晶片(5)与铌酸锂单晶薄膜(7)之间,厚度为0.1μm至5μm;
所述铌酸锂单晶薄膜(7)具有单晶结构,切向为X切Z传或Y切Z传,厚度为0.1μm至10μm;
所述直条型光学波导(3-1)为钛扩散波导,其扩散宽度为0.1μm至10μm,扩散深度为0.1μm至10μm;
所述下层金属电极(8)为金或铝薄膜电极,金属薄膜厚度为0.1μm至30μm,位于直条型光学波导(3-1)的正下方、掩埋于下粘接层(6)中;
所述上层金属电极(9)为金或铝薄膜电极,金属薄膜厚度为0.1μm至30μm,位于直条型光学波导(3-1)的上方并分置于直条型光学波导(3-1)的左右两侧,形成共面电极结构。
2.根据权利要求1所述的一种低损耗低驱动电压的高速偏振控制器,其特征在于,还包括金属封装管壳壳体(10)、金属封装管壳引脚(11)、金线(12)、单孔套管光纤模块(13-1),金属封装管壳引脚(11)通过金线(12)分别与下层金属电极(8)和上层金属电极(9)连接,直条型光学波导(3-1)的输入端和输出端分别与单孔套管光纤模块(13-1)进行耦合粘接。
3.根据权利要求2所述的一种低损耗低驱动电压的高速偏振控制器,其特征在于,刻蚀区域(A)中的下层金属电极(8)为通过干法刻蚀技术刻蚀掉该部分的铌酸锂单晶薄膜(7)露出来的,下层金属电极(8)与金属封装管壳壳体(10)上的金属封装管壳引脚(11)进行键合引线,上层金属电极(9)通过金线(12)与金属封装管壳壳体(10)上的金属封装管壳引脚(11)进行键合引线。
4.一种光量子偏振态控制模块,其特征在于,包括:基底晶片(5)、下粘接层(6)、铌酸锂单晶薄膜(7)、直条型光学波导(3-1)、下层金属电极(8)、上层金属电极(9)、定向耦合器型光学波导(3-2)、金属封装管壳,
所述基底晶片(5)为光学级、双面抛光的铌酸锂或石英晶片,其厚度为0.1mm至2mm;
所述下粘接层(6)为二氧化硅薄膜,位于基底晶片(5)与铌酸锂单晶薄膜(7)之间,厚度为0.1μm至5μm;
所述铌酸锂单晶薄膜(7)具有单晶结构,切向为X切Z传或Y切Z传,厚度为0.1μm至10μm;
所述直条型光学波导(3-1)为钛扩散波导,其扩散宽度为0.1μm至10μm,扩散深度为0.1μm至5μm;
所述下层金属电极(8)为金或铝薄膜电极,金属薄膜厚度为0.1μm至30μm,位于直条型光学波导(3-1)的正下方、掩埋于下粘接层(6)中;
所述上层金属电极(9)为金或铝薄膜电极,金属薄膜厚度为0.1μm至30μm,位于直条型光学波导(3-1)的上方并分置于直条型光学波导的左右两侧,形成共面电极结构;
所述定向耦合器型光学波导(3-2)为钛扩散波导,采用定向耦合器型结构,其扩散宽度为0.1μm至10μm,扩散深度为0.1μm至10μm。
5.根据权利要求4所述的一种光量子偏振态控制模块,其特征在于,所述金属封装管壳包括:金属封装管壳壳体(10)、金属封装管壳引脚(11)、金线(12)、单孔套管光纤模块(13-1)、双孔套管光纤模块或双套管光纤模块(13-2);金属封装管壳引脚(11)通过金线(12)分别与下层金属电极(8)和上层金属电极(9)连接,直条型光学波导(3-1)的输入端、定向耦合器型光学波导(3-2)的输出端分别与单孔套管光纤模块(13-1)、双孔套管光纤模块或双套管光纤模块(13-2)进行耦合粘接。
6.根据权利要求5所述的一种光量子偏振态控制模块,其特征在于,单孔套管光纤模块(13-1)包括单孔的铌酸锂套管或玻璃套管以及一根单模光纤或保偏光纤,粘接于直条型光学波导(3-1)的输入端,双孔套管光纤模块或双套管光纤模块(13-2)包括双孔的铌酸锂套管或玻璃套管,或两个单孔的铌酸锂套管或玻璃套管,套管的双孔或两个单孔各穿有一根单模光纤或保偏光纤,双孔套管光纤模块或双套管光纤模块(13-2)粘接于定向耦合器型光学波导(3-2)的输出端。
7.根据权利要求4所述的一种光量子偏振态控制模块,其特征在于,刻蚀区域(A)中的下层金属电极(8)为通过干法刻蚀技术刻蚀掉该部分的铌酸锂单晶薄膜(7)露出来的,下层金属电极(8)与金属封装管壳壳体(10)上的金属封装管壳引脚(11)进行键合引线,上层金属电极(9)通过金线(12)与金属封装管壳壳体(10)上的金属封装管壳引脚(11)。