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衍射光学元件的制作方法
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来源:国知局
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衍射光学元件的制造方法与工艺
技术特征:
技术总结
本发明提供一种衍射光学元件,该衍射光学元件具有多个剖面为锯齿形状的环形部,其特征在于,衍射面具有多个包含所述环形部的至少一部分的衍射区域,在该衍射面设置的多个衍射区域中,至少两个衍射区域中的波前像差为最小的波长彼此不同。
技术研发人员:
小森一範;平川純
受保护的技术使用者:
株式会社腾龙
技术研发日:
2016.01.15
技术公布日:
2017.08.29
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