一种传输装置、显影系统及显影方法与流程

本发明属于显示装置的制备技术领域，具体涉及一种传输装置、显影系统及显影方法。

背景技术：

在基板上制备薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)的过程中，需要经过涂胶、曝光、显影和刻蚀等工艺。其中，显影工艺主要用于去除曝光后的基板上的光刻胶，预先形成所需图形以便进行下一步的刻蚀工艺。

现有技术一般采用喷淋式的显影系统，该显影系统如图1所示，通常包括传输单元1以及设置在该传输单元1上方的喷淋单元3，在进行显影时，可以将曝光完成的基板10放置在该传输单元上1，传输单元1可以带动基板10沿预设方向移动，同时喷淋单元3向基板10表面喷淋显影液。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：为了使基板10上的显影液能尽快流掉，基板10所在的面与传输方向平行，而在与传输方向相垂直的面上，基板10一般倾斜一定角度，且在流水线上的该倾斜角θ一般是固定值，这样造成基板10下半边总比上半边受液多，导致显影不均，从而影响像素线宽均一性，导致漏光等品质异常；此外，基板10倾斜需要马达驱动来实现基板10一边的升降，这个过程耗时较长，影响产能。

技术实现要素：

本发明针对现有的基板显影受液不均导致显影不均，影响像素线宽均一性，导致漏光的问题，提供一种传输装置、显影系统及显影方法。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是：

一种传输装置，包括传输单元，所述传输单元包括多个传输部，所述传输部包括第一倾斜传输部和第二倾斜传输部，

所述第一倾斜传输部和所述第二倾斜传输部用于传输基板，所述第一倾斜传输部的传输面同第二倾斜传输部的传输面相背，或者所述第一倾斜传输部的传输面同第二倾斜传输部的传输面相对。

优选的是，每个所述传输部均由多个滚轮构成，所述滚轮的轴心均位于同一平面上，所述平面为第一平面。

优选的是，在第一倾斜传输部和第二倾斜传输部之间还包括第三传输部，用于使基板在平行于所述第一平面所在的面上传输。

优选的是，所述第一倾斜传输部的多个滚轮为第一滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第一滚轮的直径逐渐减小。

优选的是，所述第二倾斜传输部的多个滚轮为第二滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第二滚轮的直径逐渐增大。

优选的是，所述第三显影部的多个滚轮为第三滚轮，在沿传输前进的方向上，所述多个第三滚轮的直径相同。

优选的是，在沿传输前进的方向上，所述第一倾斜传输部的长度与所述第二倾斜传输部的长度相同。

优选的是，在第一倾斜传输部远离所述第二倾斜传输部的一侧还设有第四缓冲传输部，用于使基板在平行于第二平面所在的面上传输；在第二倾斜传输部远离所述第一倾斜传输部的一侧还设有第五缓冲传输部，用于使基板在平行于第三平面所在的面上传输；其中，所述第二平面与第三平面均平行于所述第一平面。

优选的是，所述第一倾斜传输部所在面与所述第一平面的夹角中的锐角为α，所述第二倾斜传输所在面与所述第一平面的夹角中的锐角为α。

优选的是，所述锐角α的范围为1-30°。

优选的是，所述锐角α的范围为4-6°。

本发明还提供一种显影系统，包括上述的传输装置，还包括设置在所述传输单元上方的喷淋单元，用于向待显影基板喷淋显影液。

优选的是，所述喷淋单元包括多个沿传输方向间隔设置的喷嘴。

本发明还提供一种上述的显影系统进行显影的方法，包括以下步骤：

将基板放置于传输装置上以使基板传输，同时开启喷淋单元以向基板喷淋显影液。

本发明的传输装置中包括第一倾斜传输部、第二倾斜传输部，这两个传输部的传输面相背或者相对，这样在基板的传输过程中，倾斜设置的传输部在传输基板的同时两次改变基板所在面相对于传输方向的角度，以在传输过程中完成对基板的作业。该传输装置用于显影系统时，基板在第一倾斜传输部倾斜，喷淋单元向待显影基板喷淋显影液进行显影，然后基板在第二倾斜传输部再次倾斜，进行显影，由于两个传输部的传输面相背或者相对，这样使基板整个表面受液均匀，进而达到线宽显像均一的目的。

附图说明

图1为现有的喷淋式的显影系统的结构示意图；

图2、图3为本发明的实施例1的传输装置的结构示意图；

图4-8为本发明的实施例2的传输装置、实施例3的显影系统的结构示意图；

其中，附图标记为：10、基板；1、传输单元；11、第一倾斜传输部；12、第二倾斜传输部；13、第三传输部；14、第四缓冲传输部；15、第五缓冲传输部；2、滚轮；21、第一滚轮；22、第二滚轮；23、第三滚轮；3、喷淋单元；31、喷嘴。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

实施例1：

本实施例提供一种传输装置，如图2、图3所示，包括传输单元1，所述传输单元1包括多个传输部，所述传输部包括第一倾斜传输部11和第二倾斜传输部12，所述第一倾斜传输部11和所述第二倾斜传输部12用于传输基板10，所述第一倾斜传输部11的传输面同第二倾斜传输部12的传输面相背，或者所述第一倾斜传输部11的传输面同第二倾斜传输部12的传输面相对。

本实施例的传输装置包括两个倾斜设置的传输部：第一倾斜传输部11、第二倾斜传输部12，这两个传输部的传输面相背或者相对，这样在基板10的传输过程中，倾斜设置的传输部在传输基板10的同时两次改变基板10所在面相对于传输方向的角度，以在传输过程中完成对基板10的作业。其中，本实施例所述传输方向是指基板10水平向前传输的方向。本实施例的传输装置适用于流水线生产显示基板10、显示面板、显示装置，尤其适用于流水线生产基板10过程中喷淋显影液的工艺。

实施例2：

本实施例提供一种传输装置，如图4-8所示，包括传输单元1，所述传输单元1包括多个传输部，所述传输部包括第一倾斜传输部11和第二倾斜传输部12，所述第一倾斜传输部11和所述第二倾斜传输部12用于传输基板10，所述第一倾斜传输部11的传输面同第二倾斜传输部12的传输面相背，或者所述第一倾斜传输部11的传输面同第二倾斜传输部12的传输面相对。其中，如图6、图7所示，本实施例中每个所述传输部均由多个滚轮2构成，所述滚轮2的轴心均位于同一平面上，所述平面为第一平面。

也就是说，基板10传输的动力主要是多个滚轮2沿自身的轴心滚动，且多个滚轮2滚动方向相同，例如同时顺时针滚动，或者同时逆时针滚动。这样在基板10的传输方向上，基板10可以主动完成倾斜一定角度，无需马达来回驱动基板10升降，实现高效传送，缩短工艺时间，提升产能，且减少了马达异常卡死带来的宕机风险，大大降低设备成本。

优选的是，在第一倾斜传输部11和第二倾斜传输部12之间还包括第三传输部13，用于使基板10在平行于所述第一平面所在的面上传输。

也就是说，在基板10经过第一倾斜传输部11后，经过一段水平的传输后再进行下一次倾斜传输，这样设计的作用一是：使得基板10在第三传输部13充分显影，二是：相对减缓基板10连续转变的角度，防止基板10在传输过程中重心不稳定。

优选的是，所述第一倾斜传输部11的多个滚轮2为第一滚轮21，在沿传输前进的方向上，所述多个第一滚轮21的直径逐渐减小。

优选的是，所述第二倾斜传输部12的多个滚轮2为第二滚轮22，在沿传输前进的方向上，所述多个第二滚轮22的直径逐渐增大。

优选的是，所述第三传输部的多个滚轮2为第三滚轮23，在沿传输前进的方向上，所述多个第三滚轮23的直径相同。

也就是说，在此提供一种具体的实施方式，如图6、图7所示，第一滚轮21为直径逐减的同轴传送轮，以使基板10在第一倾斜传输部11传送过程主动倾斜一定角度，在第三传输部经同轴同径第三滚轮23进行充分显影后，基板10传送到第二倾斜传输部12，由于第二滚轮22为直径递增的同轴传送轮，基板10在传送过程再次主动倾斜，恢复进入第一倾斜传输部11之前的水平传输。其中，图6所示的第一倾斜传输部11的传输面与第二倾斜传输部12的传输面相对，可以理解的是，如图8所示，第一倾斜传输部11的传输面与第二倾斜传输部12的传输面相背也是可行的。

优选的是，在沿传输前进的方向上，所述第一倾斜传输部11的长度与所述第二倾斜传输部12的长度相同。

优选的是，所述第一倾斜传输部11所在面与所述第一平面的夹角中的锐角为α，所述第二倾斜传输所在面与所述第一平面的夹角中的锐角为α。

也就是说，第一倾斜传输部11与第二倾斜传输部12是对称的，这样当用于向待显影基板10喷淋显影液时，可以避免基板10下半面比上半面受液多导致的显影不均，影响像素线宽均一性，导致漏光等品质异常的问题。

优选的是，锐角α的范围为1-30°。更优选的是，锐角α的范围为4-6°。

也就是说，第一倾斜传输部11与第二倾斜传输部12的倾斜角度在上述范围内可以保证基板10平稳的传输运行，同时达到显影均匀的目的。

优选的是，在第一倾斜传输部11远离所述第二倾斜传输部12的一侧还设有第四缓冲传输部14，用于使基板10在平行于第二平面所在的面上传输；在第二倾斜传输部12远离所述第一倾斜传输部11的一侧还设有第五缓冲传输部15，用于使基板10在平行于第三平面所在的面上传输；其中，所述第二平面与第三平面均平行于所述第一平面。

也就是说，在进入第一倾斜传输部11之前，基板10在传输装置上是水平传输的，在完成显影之后，即经过第二倾斜传输部12之后，基板10恢复水平传输。这样设计的作用是：使得基板10在进行倾斜之前有一段水平的缓冲，保证向下一个工序运行的过程中其重心稳定，不易被磕碰。其中，如图8所示，第四缓冲传输部14与第五缓冲传输部15可以在同一水平面上且该平面平行于第一平面即滚轮轴心所在的平面。

实施例3：

本实施例提供一种显影系统，如图4-6所示，包括上述实施例的传输装置，还包括设置在所述传输单元1上方的喷淋单元3，喷淋单元3包括多个沿传输方向间隔设置的喷嘴31，向待显影基板10喷淋显影液。

本实施例的显影系统使用时，基板10在第一倾斜传输部11倾斜，喷淋单元3向待显影基板10喷淋显影液进行显影，然后基板10在第二倾斜传输部12再次倾斜，进行显影，由于两个传输部的传输面相背或者相对，这样使基板10整个表面受液均匀，进而达到线宽显像均一的目的。

实施例4：

本实施例提供一种上述实施例的显影系统进行显影的方法，包括以下步骤：

将基板放置于传输装置上以使基板传输，同时开启喷淋单元以向基板喷淋显影液。

本实施例的显影方法，基板先在第一倾斜传输部倾斜，喷淋单元向待显影基板喷淋显影液进行显影，然后基板在第二倾斜传输部再次倾斜，进行显影，由于两个传输部的传输面相背或者相对，这样使基板整个表面受液均匀，进而达到线宽显像均一的目的。

显然，上述各实施例的具体实施方式还可进行许多变化；例如：滚轮直径的具体尺寸可以根据基板的尺寸进行调整，滚轮的转动速度可以根据需要进行改变。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。