一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器的制作方法

文档序号:11517692阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于亚波长高对比度光栅的电光可调滤波器,涉及光电子技术领域。本发明电光可调滤波器由下至上依次层叠有衬底、叉指式亚波长光栅,透明导电层和电极,其中:衬底表面裸露部分设置有与透明导电层齐平的电光材料层,两电极与外部电路相连以使得光栅脊之间形成电场,并且叉指状亚波长光栅材料的折射率远大于衬底材料、光电材料层材料以及透明导电层材料的折射率。本发明结构设计合理,既能够通过合理选取光栅参数获得高品质因子谐振和可调滤波光谱范围,又能够通过电压调制对滤波波长进行调谐,进而基于电场作用对电光材料的折射率进行调控,相比于机械式可调滤波器,大大提高了调谐的精度以及调谐速度。本发明结构简单、材料易得,有利于大规模的生产和应用。

技术研发人员:李佳城;张雅丽;喻寅书;刘爽;刘永
受保护的技术使用者:电子科技大学
技术研发日:2017.03.21
技术公布日:2017.08.18
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