技术总结
本发明涉及一种基于双CCD的自动对焦显微镜及测量方法，该显微镜的光路部分由激光光源、物镜、分光镜BS1、分光镜BS2组成，激光光束通过狭缝进入光筒中，由分光镜BS1反射向下经物镜到达样品平面，样品反射光束经原路返回到分光镜BS1透过向上到达分光镜BS2后分成二路，一路透过向上被CCD2接收，另一路反射后经反射镜折返向上被CCD1接收；电路部分由CCD1、CCD2、计算机、控制箱和步进电机构成，两个CCD前后错开放置，分别接收完整光束信号，且具有重叠接收区域，CCD接收光信号后由光电转换器转换成电信号，并传输到计算机，计算机将指令信号发送到控制箱，控制箱控制步进电机带动光路部分上下移动寻找最佳对焦位置。
技术研发人员：江旻珊;汪泓;朱静远;张学典;常敏
受保护的技术使用者：上海理工大学
文档号码：201710174216
技术研发日：2017.03.22
技术公布日：2017.06.13