照明光学单元的制作方法

技术特征：

技术总结
一种用于EUV投射曝光设备的照明光学单元(4)，具有光阑(23)，光阑包括具有离散对称组的辐射透射区域。光阑(23)的形状适配于光瞳分面反射镜(18)的分面形状或辐射源(3)的形状。光阑(23)优选地布置在中间焦平面的区域中。

技术研发人员：M.恩德里斯
受保护的技术使用者：卡尔蔡司SMT有限责任公司
技术研发日：2012.05.16
技术公布日：2017.10.10