电光调制器的制作方法

本技术：
是申请号为2012105025491、申请日为2012年11月30日、发明创造名称为“电光调制器”的专利的分案申请。

本发明涉及高速光通讯系统，特别涉及一种电光调制器。

背景技术：

现有的一种电光调制器(马赫-曾德尔(mach-zehner)电光调制器)利用电光效应通过调制电场改变y型光波导的两个分支之一的折射率，从而改变在其中传输的光束的相位，使之与y型光波导另外一个分支中传输的光束存在相位差。如此，y型光波导两个分支中传输的光束重新汇聚后将发生干涉，输出功率取决于相位差，也即是由调制电场决定，从而实现调制。然而，随着信息技术的高速发展，信息传输速率(带宽)已经成为技术发展主要考虑的方向。目前的电光调制器的信息传输速率有待提高。

技术实现要素：

有鉴于此，有必要提供一种可提高信息传输速率的电光调制器。

一种电光调制器，其包括一个基底、一个y型光波导、一对条状的第一电极及一对条状的第二电极。该基底包括一个顶面。该对y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括两个一个仅用于传输横电波(transverseelectricwave)的第一分支及一个仅用于传输横磁波(transversemagneticwave)的第二分支。该对第一电极设置于该顶面上，包括分别平行设置该第一分支两侧的一个第一调制电极及一个第一地电极。该对第二电极设置于该顶面上，包括一个覆盖该第二分支的第二调制电极及一个平行设置于该第二分支一侧的第二地电极。

如此，可通过该对第一电极对横电波进行调制，加载、传输信息，还可以通过该对第二电极对横磁波进行调制，加载、传输信息，也即是同样的时间内，加载、传输的信息量增加，从而提高信息传输速率。

附图说明

图1为本发明较佳实施方式的电光调制器的立体示意图。

图2为图1的电光调制器沿线ii-ii的剖面示意图。

主要元件符号说明

电光调制器10

基底110

顶面111

y型光波导120

第一分支121

第二分支122

入射段123

出射段124

电极131,132,141,142

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

请参阅图1及图2，本发明较佳实施方式的电光调制器10，其包括一个基底110、一个y型光波导120、一对条状的第一电极131,132及一对条状的第二电极141,142。该基底110包括一个顶面111。该对y型光波导120自该顶面111向该基底110内部扩散而成，并包括两个一个仅用于传输横电波(transverseelectricwave)的第一分支121及一个仅用于传输横磁波(transversemagneticwave)的第二分支122。该对第一电极131,132设置于该顶面111上，包括分别平行设置该第一分支121两侧的一个第一调制电极131及一个第一地电极132。该对第二电极141,142设置于该顶面111上，包括一个覆盖该第二分支122的第二调制电极141及一个平行设置于该第二分支122一侧的第二地电极142。

如此，可通过该对第一电极131,132对横电波进行调制，加载、传输信息，还可以通过该对第二电极141,142对横磁波进行调制，加载、传输信息，也即是同样的时间内，加载、传输的信息量增加，从而提高信息传输速率。

另外，由于该第一分支121及该第二分支122分别传输横电波及横磁波，因此相互间也不会发生串扰(crosstalk)。

由于铌酸锂(linbo3)晶体(ln)具有较高的反应速度，因此，该基底110的材料采用铌酸锂晶体，以提高该电光调制器10的带宽。

该y型光波导120一般还包括一个入射段123及一个出射段124。该第一分支121及该第二分支122从该入射段123分出，并重新汇聚入该出射段124。该入射段123及该出射段124通过在该基底上扩散金属钛(单质)而形成，能同时传输横电波及横磁波。而该第一分支121在扩散金属钛后还继续扩散锌镍合金，因此只能传输横电波，而该第二分支122在扩散金属钛后还扩散金属镓(单质)，因此只能传输横磁波。

以该基底110的高度方向为x轴，宽度方向为y轴，该第一分支121及该第二分支122的长度方向(即光的传输方向)为z轴，根据平板光波导的波动方程分析，可知，横电波仅有沿y轴方向的电场分量ey，而横磁波仅有沿x轴方向的电场分量ex及沿z轴方向的电场分量ez。而该对第一电极131,132的设置，使得其极间电场与该第一分支121的交叠部分平行于y轴方向，因此可以有效调制横电波。该对第二电极141,142的设置，使得其极间电场与该第二分支122的交叠部分平行于x轴方向，因此，可以有效调制横磁波(电场分量ex)。

总之，本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施例所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明提供一种电光调制器，其包括一个基底、一个Y型光波导、一对条状的第一电极及一对条状的第二电极。该基底包括一个顶面。该对Y型光波导自该顶面向该基底内部扩散而成，并包括两个一个仅用于传输横电波的第一分支及一个仅用于传输横磁波的第二分支。该对第一电极设置于该顶面上，包括分别平行设置该第一分支两侧的一个第一调制电极及一个第一地电极。该对第二电极设置于该顶面上，包括一个覆盖该第二分支的第二调制电极及一个平行设置于该第二分支一侧的第二地电极。如此，可通过该对第一电极及第二电极分别对横电波及横磁波进行调制，加载、传输信息，同样的时间内，加载、传输的信息量增加，从而提高信息传输速率。

技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：深圳迈辽技术转移中心有限公司
技术研发日：2012.11.30
技术公布日：2018.03.13