技术特征：
技术总结
本发明涉及一种对声表面波滤波器光刻套刻的方法及声表面波滤波器，该方法包括：在压电基片表面上制作芯片金属图形；对制作好芯片图形的压电基片表面进行光刻胶匀胶；匀胶后进行烘烤；烘烤后确定最佳曝光焦面；再确定偏离最佳曝光焦面预定距离的曝光焦面；然后预设定曝光时间对烘烤后的压电基片进行曝光；使用显影液对曝光后的压电基片进行显影；最后使用热板对显影后的压电基片进行烘烤完成光刻胶图形的制作。还涉及一种声表面波滤波器。本发明通过不需要再重新制作专用的套刻图形掩膜版，不需要重复更换掩膜版，提高了生产效率，减少了掩膜版的磨损。
技术研发人员：贺强;段斌;王永安;范佰杰;边旭明;史向龙;苏波
受保护的技术使用者：北京航天微电科技有限公司
技术研发日：2017.11.17
技术公布日：2018.04.27