一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备与流程

文档序号:14248396阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备;所述稳定装置包括:位移传感器、控制器,以及设置在机械臂的末端的第一喷嘴、第二喷嘴;所述第一喷嘴位于所述机械臂的上表面,且其喷气方向与所述机械臂的上表面垂直;所述第二喷嘴位于所述机械臂的下表面,且其喷气方向与所述机械臂的下表面垂直;所述位移传感器用于检测所述机械臂的竖直方向位移,并触发所述控制器根据位移方向控制所述第一喷嘴或所述第二喷嘴喷气。本发明能够有效减少机械臂在搬运过程中的震颤,大大降低震颤对基板造成的不良影响,减少震颤到稳定的停滞时间,有效提高基板良率,降低生产节拍,提高稼动率与产能,提升产品品质。

技术研发人员:余世荣;孟庆勇;吴春晖
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
技术研发日:2018.01.02
技术公布日:2018.04.20
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