技术特征：
技术总结
一种减小飞秒激光直写波导弯曲损耗的方法，本方法的核心包括两个方案：1、在弯曲波导外侧，激光直写并辅助化学刻蚀，刻蚀出空气槽；2、在弯曲波导两侧，激光直写多层产生应力的破坏线。本发明能增加弯曲波导有效折射率，从而减少导波的辐射模，大大降低弯曲损耗，有效减小器件中弯曲波导的弯曲半径，使波导器件结构更加紧凑，对微纳光学中三维光器件集成化、芯片化和光互联等领域具有重要意义。
技术研发人员：程亚;刘争明;廖洋;储蔚;齐家;王鹏
受保护的技术使用者：中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日：2018.02.05
技术公布日：2018.08.10