一种多投影面拼接的光学系统的制作方法

文档序号:15683489发布日期:2018-10-16 20:49阅读:206来源:国知局

本发明属于3d打印技术领域,尤其是一种多投影面拼接的光学系统。该光学系统能够用于基于数字光刻技术的微纳加工制造,用于大幅面高精度的3d打印,用于大幅面高分辨率的数字投影显示等。



背景技术:

目前基于数字光处理(dlp-digitallightprocessing)的投影技术有多项应用,比如3d打印技术,无掩膜光刻技术以及数字投影显示技术。

目前基于数字光处理的多种应用方案均涉及投影面积问题。投影面积是由空间光调制器(包括但不仅限于dmd、lcd、lcos)以及投影镜头的放大倍率决定。现有各种空间光调制器的分辨率(总像素数)一般不大于500万,而投影物镜的放大倍率过大会造成投影面的精细度降低,不能满足相关应用的技术需求,放大倍率较小时,则造成投影面积不能满足技术需求。因此,需要对投影面进行拼接。



技术实现要素:

本发明提出一种多投影面拼接的光学系统,使用多个dlp系统同时投影,并使用反射镜实现多个投影面的无缝(亚像素)拼接。

本发明是这样实现的:

一种多投影面拼接的光学系统,包括光源、反射镜、物面和至少两个dlp系统,所述dlp系统两两对称设置在所述反射镜两侧,所述光源投影的图案分别经过各dlp系统和所述反射镜后分别成像于物面上,调整反射镜的位置使各个投影面在物面上无缝拼接。

本发明的操作方法是:先将目标的投影面分割成适合大小的分解画面,将各分解画面通过光源投影至各dlp系统,再两两通过反射镜组合起来,最终投影在物面上,通过精确调整反射镜的位置,可以使投影的分解画面在物面上无缝拼接起来。其中,光源元件的个数可以与dlp系统的个数相同,保证投影面的精度。通过设置光源和dlp系统的个数,原则上可以实现多个投影面的无缝拼接。

作为发明的进一步改进,所述dlp系统包括空间光调制器和投影物镜,所述光源投影的图案先经过空间光调制器再入射投影物镜。

作为发明的进一步改进,所述空间光调制器包括dmd、lcd和lcos。

作为发明的进一步改进,所述投影物镜设在所述空间光调制器与反射镜之间,或者设在所述反射镜与物面之间。投影物镜的位置可以根据产品设计要求进行设置。

作为发明的进一步改进,所述投影物镜为投影曝光物镜,所述投影曝光物镜设在所述反射镜与物面之间。当需要获得投影曝光画面时候,将投影曝光物镜设在反射镜与物面之间,可以通过同一个投影曝光物镜实现两个对称的dlp系统的投影面的曝光。

作为发明的进一步改进,所述光源和dlp光学系统之间还设有照明系统。

作为发明的进一步改进,所述反射镜包括三角棱镜。

作为发明的进一步改进,所述三角棱镜为45°反射三角棱镜。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明利用反射镜的反射作用,实现多个dlp系统的投影面在物面上的无缝拼接,解决了投影像素精度与投影幅面大小的矛盾。

附图说明

图1是本发明提供的第一种多投影面拼接的光学系统。

图2是本发明提供的第二种多投影面拼接的光学系统。

图3是本发明提供的第三种多投影面拼接的光学系统。

图4是本发明提供的第四种多投影面拼接的光学系统。

图5是本发明提供的第五种多投影面拼接的光学系统。

图6是本发明提供的第种种多投影面拼接的光学系统。

附图说明:1-左侧光源,2-左侧照明系统,3-左侧空间光调制器、4-左侧投影物镜,11-右侧光源,21-右侧照明系统,31-右侧空间光调制器,41-右侧投影物镜,5-反射镜,6-物面,7-投影曝光物镜。

具体实施方式

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面结合附图及具体实施例对本发明进一步说明。

下述实施例的操作方法是:先将目标的投影面分割成适合大小的分解画面,将各分解画面通过光源投影至各dlp系统,再两两通过反射镜组合起来,最终投影在物面上,通过精确调整反射镜的位置,可以使投影的分解画面无缝拼接起来。其中,光源元件的个数可以与dlp系统的个数相同,保证投影面的精度。通过设置光源和dlp系统的个数,原则上可以实现多个投影面的无缝拼接。

实施例1

实施例1中,dlp系统的个数至少为2个,分别包括空间光调制器与投影物镜,本实施例利用空间光调制器的反射光进行多投影面的拼接。

如图1所示的一种多投影面拼接的光学系统,左侧光源1、左侧照明系统2、左侧空间光调制器3、左侧投影物镜4与右侧光源11、右侧照明系统21、右侧空间光调制器31、右侧投影物镜41两两对称设在反射镜5的两端,反射镜5左右两侧的画面投影在物面6上。

所述反射镜优选为三角棱镜,进一步优选为45°反射三角棱镜,也可以是其他形式的棱镜,只要最终实现通过控制反射镜来控制投影面的拼缝。

所述空间光调制器包括但不限于dmd、lcd和lcos。

如图1所示,左侧光源1发出的光经过左侧照明系统2之后,入射在左侧空间光调制器3上,入射光经过左侧空间光调制器3反射后,经过左侧投影物镜4,左侧投影物镜4的出射光经过反射镜5,经反射镜5反射后入射投影在物面6上。右侧光源1-1、右侧照明系统2-1、右侧空间光调制器3-1、右侧投影物镜4-1等与左侧类似,两者关于反射镜5成轴对称结构。通过这种方式将左右两侧的图案成像在物面6上,通过精确调整控制反射镜5的位置,进而精确实现物面上各投影面的拼接。

图1仅仅示出了两个对称设置的dlp系统,事实上,根据投影像素精度与投影幅面大小的要求,可以设置多个两两对称的dlp系统和对应的光源、照明系统。

实施例2

实施例2与实施例1的区别在于,利用空间光调制器的入射光进行多投影面的拼接。

如图2所示,左侧光源1发出的光经过左侧照明系统2之后,入射在左侧空间光调制器3上,入射光通过左侧空间光调制器3后,经过左侧投影物镜4,左侧投影物镜4的出射光经过反射镜5,经反射镜5反射后入射投影在物面6上。右侧光源1-1、右侧照明系统2-1、右侧空间光调制器3-1、右侧投影物镜4-1等与左侧类似,两者关于反射镜5成轴对称结构。通过这种方式将左右两侧的图案成像在物面6上,通过精确调整控制反射镜5的位置,进而精确实现物面上各投影面的拼接。

实施例3

实施例3与实施例1、2的区别点在于,将实施例1、实施例2中的投影物镜,从空间光调制器和反射镜之间,调整到反射镜和物面之间,如图3、图4所示。采用实施例1-3的技术方案,投影物镜所在的位置可以根据需要进行调节,使本发明的光学系统设置过程更加灵活。

实施例4

实施例4与实施例3的区别点在于,将实施例3中的投影物镜优选为投影曝光物镜7,所述投影曝光物镜7设在所述反射镜与物面之间。当需要获得投影曝光画面时候,将投影曝光物镜7设在反射镜与物面之间,可以通过同一个投影曝光物镜7实现两个对称的dlp系统的投影画面的曝光,如图5、6所示。

本发明无需对空间光调制器的分辨率、投影物镜的放大倍率等光学元件的性能提出严苛的要求,通过利用反射镜的反射作用,即可实现多个dlp系统的投影面的无缝拼接,解决了投影像素精度与投影幅面大小的矛盾。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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