技术特征：
技术总结
本发明为一种晶圆烘焙热板系统及其温度控制方法，包括一板体、一测温模块、一升温模块、一降温模块。由此，通过热电效应材料的制冷装置，该制冷装置结构简单、无需任何传动部件、可靠性高、体积较小的、与热板的平面板状匹配，实现了该热板温度的快速、精准调节，提高热板表面的温度均匀性和热板的温控速率，从而提高了曝光后线条宽度的均匀性，并提升了机台在生产过程中的产出能力。
技术研发人员：李宇龙;杨正凯;刘必秋
受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司
技术研发日：2018.05.30
技术公布日：2018.11.13