双面曝光机及双面曝光方法与流程

文档序号:16063832发布日期:2018-11-24 12:28阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种双面曝光机及双面曝光方法,双面曝光机包括安装架;分别设于安装架两侧的第一曝光组件和第二曝光组件;第一装载台和第二装载台;及驱动机构,驱动机构包括驱动组件,第一装载台和第二装载台分别在第一运动状态和第二运动状态通过曝光区。当曝光时,第一装载台以第一循环轨迹运动、并在第一运动状态时通过曝光区、以对第一待曝光件进行曝光,而第二装载台以第二循环轨迹运动、并在第二运动状态时通过曝光区、以对第二待曝光件进行曝光,第一装载台和第二装载台均循环运动,且第二待曝光件曝光时还能进行第一曝光成品的卸载或下一个第一待曝光件的装载,曝光效率更高,相比传统采用翻转双面曝光的方式,曝光精度也更高。

技术研发人员:汪孝军;廖平强;张胜
受保护的技术使用者:中山新诺科技股份有限公司
技术研发日:2018.07.26
技术公布日:2018.11.23
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