技术特征：
技术总结
本发明提供基板处理装置以及物品制造方法。基板处理装置具备：对具有夹持基板的夹持面的基板夹具进行保持的基板台；驱动上述基板台的台驱动机构；对具有用于清理上述夹持面的清理面的清理板进行驱动的板驱动机构；以及以通过上述基板夹具相对于上述清理板相对地移动而清理上述夹持面的方式控制上述台驱动机构以及上述板驱动机构中至少一方的动作的控制部，上述控制部根据表示上述夹持面的高度分布的夹持面信息和表示上述清理面的高度分布的清理面信息来控制上述动作。
技术研发人员：北健太
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2018.11.08
技术公布日：2019.05.21