本实用新型涉及光刻曝光技术领域，尤其涉及一种汞灯灯室。
背景技术：
在半导体制造领域中，如集成电路、液晶显示器等，常常需要使用各种功率的汞灯作为光源。而为了保证更高的曝光产率和制造效率，则需要保证汞灯光源的稳定性，因此当汞灯功率衰减至影响产率时，则需要对其进行更换。
现有技术中的汞灯灯室包括灯室本体和设置在灯室本体中的汞灯和椭球反射镜等，灯室本体上设置有维护窗口，当需要对汞灯进行更换时，需要先拆卸维护窗口，再将汞灯从该维护窗口处倾斜取出，以对汞灯进行更换。
在上述汞灯灯室中，由于灯室的特殊结构影响，椭球反射镜将会占用绝大部分空间，因此维护窗口的尺寸设计上将会受到很大限制，而小维护窗口拆卸一般都涉及到螺钉的拆卸，加大了螺钉掉落至灯室内部风险；且由于空间限制，汞灯更换的操作空间较小，增大了操作过程中的安全风险，限制了汞灯维护更换时的效率，并进一步影响机台宕机时间，从而影响到产线产率。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种汞灯灯室，以提高汞灯更换和维修的效率，同时提高汞灯更换和维修过程的安全性。
为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：
一种汞灯灯室，包括灯室本体、汞灯和椭球反射镜，所述汞灯设置在所述椭球反射镜内，所述灯室本体包括：
移动架，所述椭球反射镜固定连接于所述移动架上；以及
固定架，具有容纳所述移动架的容纳腔，所述移动架能相对于与所述固定架移动以带动所述椭球反射镜移出所述容纳腔。
进一步地，所述汞灯灯室还包括：导轨组件，包括滑轨和滑槽，所述固定架和所述移动架中的一个设置有所述滑轨，另一个设置有所述滑槽，所述滑轨与所述滑槽滑动配合。
进一步地，所述滑轨与所述移动架固定连接，且所述滑轨有两根，两根所述滑轨分别水平设置在所述椭球反射镜的相对两侧。
进一步地，所述汞灯灯室还包括：
定位组件，所述定位组件包括：
竖向定位组，用于在竖直方向，对所述移动架和所述固定架的相对位置进行定位；以及
横向定位组，用于在垂直于所述滑轨的水平方向，对所述移动架和所述固定架的相对位置进行定位。
进一步地，所述竖向定位组包括：第一定位凸起与第一定位卡槽，两者中的一个设置在所述移动架上，另一个设置在所述固定架上，所述第一定位卡槽的槽宽沿竖直方向设置，所述第一定位凸起能卡接在所述第一定位卡槽中；
所述横向定位组包括：第二定位凸起和第二定位卡槽，两者中的一个设置在所述移动架上，另一个设置在所述固定架上，所述第二定位卡槽的槽宽沿垂直于所述滑轨的水平方向，所述第二定位凸起能卡接在所述第二定位卡槽中。
进一步地，所述第一定位凸起为第一定位滚轮，所述第一定位滚轮的轴线水平设置且垂直于所述滑轨；
所述第二定位凸起为第二定位滚轮，所述第二定位滚轮的轴线竖直设置。
进一步地，所述固定架朝向所述容纳腔的开口的一侧固定连接有连接座，所述移动架竖直设置有连接板，所述连接座上设置有所述第一定位滚轮和所述第二定位滚轮，所述连接板上开设有所述第一定位卡槽和所述第二定位卡槽。
进一步地，所述汞灯灯室还包括锁紧组件，所述锁紧组件包括锁紧块和锁紧螺栓，所述锁紧块与所述连接座固定连接，所述连接板与所述锁紧块通过所述锁紧螺栓固定。
进一步地，所述移动架对应于所述锁紧组件的位置开设有维护窗口，所述维护窗口的一边转动连接有窗口挡板。
进一步地，所述汞灯灯室还包括缓冲组件，所述缓冲组件包括间隔设置在所述连接座上的弹性件，所述弹性件设置在所述连接座和所述连接板之间。
进一步地，所述移动架包括竖直设置的挡门，所述挡门能封闭或开启所述容纳腔的开口，所述挡门远离所述容纳腔的一侧设置有拉手。
本实用新型的有益效果为：
过设置可相对移动的移动架和固定架，使当汞灯需要维修或更换时，能够将汞灯移除固定架的容纳腔内，从而增大汞灯的维修空间，提高汞灯的维修效率，还能防止维修时的螺钉等掉落至灯室中。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的汞灯灯室在打开状态下的结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的汞灯灯室在打开状态下的部分结构示意图；
图3为图2中I处的局部放大图；
图4为本实用新型实施例提供的汞灯灯室在关闭状态下的部分结构示意图；
图5是本实用新型实施例提供的连接板和连接座的结构示意图。
图中标记如下：
11-移动架；111-挡门；112-反射镜固定框；113-连接板；114-拉手；115-窗口挡板；12-固定架；121-透光口；122-连接座；
2-汞灯；
3-椭球反射镜；31-环形凸缘；
4-导轨组件；41-滑轨；42-滑槽
5-定位组件；51-竖向定位组；511-第一定位滚轮；512-第一定位块；513-第一定位卡槽；514-第一滚轮座；52-横向定位组；521-第二定位滚轮；522-第二定位块；523-第二定位卡槽；524-第二滚轮座；
6-缓冲组件；61-弹性柱销；
7-锁紧组件；71-锁紧块；72-锁紧螺栓。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
图1为本实用新型实施例提供的汞灯灯室在打开状态下的结构示意图。如图1所示，本实施例提供的汞灯灯室包括灯室本体、汞灯2、椭球反射镜3，以及导轨组件4、定位组件5、锁紧组件7和缓冲组件6。其中，灯室本体包括能相对移动的移动架11和固定架12；汞灯2及椭球反射镜3固定于移动架11上，且能随移动架11移出或进入固定架12的容纳腔内；椭球反射镜3位于汞灯2周围，用以反射汞灯2发出的光线；导轨组件4为移动架11相对固定架12的移动提供导向；定位组件5用以对移动架11进行回复定位；缓冲组件6用以避免移动架11移动过程中，椭球反射镜3与其他组件发生剧烈撞击；锁紧组件7用于实现移动架11和固定架12的固定。
具体地，如图1所示，移动架11包括竖直设置的挡门111及垂直设置在挡门111一侧的反射镜固定框112，反射镜固定框112为矩形框架。椭球反射镜3大部分容置于反射镜固定框112内，其开口端向外凸设有环形凸缘31，环形凸缘31凸出反射镜固定框112的上表面，并与反射镜固定框112固定连接。
导轨组件4包括沿水平方向设置在反射镜固定框112两侧的两根滑轨41，两根滑轨41平行且均垂直于挡门111。灯室本体的固定架12对应于滑轨41的位置开设有滑槽42，滑轨41滑动设置于滑槽42内，且可沿滑槽42的长度方向运动，从而使移动架11与固定架12相对移动。
固定架12为带有容纳腔的矩形框体结构，其朝向挡门111的一侧具有与挡门111适配的矩形开口。在汞灯2的正常工作状态下，移动架11上的椭球反射镜3位于容纳腔内，且挡门111封闭矩形开口，使汞灯灯室为一封闭的整体，仅汞灯灯室上端盖开设有用于汞灯2光线通过的透光口121。当汞灯2需要维修或更换时，通过抽拉挡门111，使滑轨41相对滑槽42移动，即可带动汞灯2移出容纳腔，从而最大限度地增大汞灯2维修或更换时的空间，实现汞灯2的快速和安全更换。
为方便挡门111的抽拉，挡门111远离椭球反射镜3的一侧设置有拉手114，且拉手114沿挡门111的宽度方向间隔设置有两个，以使挡门111在推拉过程中，保持较好的平衡，防止因移动过程中，椭球反射镜3因受力不平衡而与其他组件发生碰撞而导致的损坏。
在本实施例中，滑轨41设置在移动架11上，滑槽42设置在固定架12上，在其他实施例中，可以在移动架11上设置滑槽，在固定架12上设置滑轨，滑轨和滑槽的结构可以不同于图1中所示的结构，只要能实现滑轨相对滑槽的移动均可。
图2为本实用新型实施例提供的汞灯灯室在打开状态下的部分结构示意图，图3为图2中I处的局部放大图。如图2和图3所示，定位组件5包括竖向定位组51和横向定位组52。其中，竖向定位组51用于定位移动架11相对固定架12沿竖直方向的位置，保证在汞灯2复位至固定架12的容纳腔内时，汞灯2的高度位置一定；横向定位组52用于汞灯2复位至固定架12的容纳腔内时，对移动架11相对固定架12沿挡门111宽度方向的位置进行定位。
如图3所示，竖向定位组51包括第一定位滚轮511和第一定位块512，其中，第一定位滚轮511设置于固定架12上，且第一定位滚轮511的轴线方向平行于挡门111的宽度方向；第一定位块512与移动架11固定连接，且对应第一定位滚轮511的位置设置。第一定位块512上开设有U型的第一定位卡槽513，第一定位卡槽513的开口朝向相应的第一定位滚轮511。第一定位卡槽513沿高度方向的槽深等于第一定位滚轮511的外径，从而当第一定位滚轮511位于第一定位卡槽513内时，移动架11与固定架12沿高度方向的位置相对固定。竖向定位组51可以设置多组，在本实施例中，竖向定位组51设置有四组，四组竖向定位组51的第一定位滚轮511分别设置于固定架12的导槽长度方向的前端和后端。
横向定位组52包括第二定位滚轮521和第二定位块522，第二定位滚轮521设置于固定架12上，且其轴线沿竖直方向设置；第二定位块522与移动架11固定连接，第二定位块522上开设有第二定位卡槽523，第二定位卡槽523沿挡门111宽度方向的槽宽等于第二定位滚轮521的外径，从而当第二定位滚轮521位于第二定位卡槽523内时，移动架11与固定架12相对挡门111宽度方向的位置相对固定。在本实施例中，横向定位组52设置有一组，其设置在位于固定架12前端的两组竖向定位组51之间。
在本实施例中，第一定位滚轮511和第二定位滚轮521分别通过第一滚轮座514和第二滚轮座524连接于固定架12，位于移动架11前端的第一定位块512和第二定位块522均连接于连接板113的一端，连接板113竖直设置，且连接板113的另一端连接于反射镜固定框112。位于固定架12前端的第一滚轮座514和第二滚轮座524均固定连接于连接座122上。在本实施例中，第一定位滚轮511和第二定位滚轮521均为凸轮轴承随动器。
在本实施例中，第一定位滚轮511和第二定位滚轮521设置在固定架12上，第一定位块512和第二定位块522设置在移动架11上，在其他实施例中，可以将第一定位滚轮511和第二定位滚轮521设置在移动架11上，将第一定位块512和第二定位块522设置在固定架12上，同样可以达到上述目的。
图4为本实用新型实施例提供的汞灯灯室在关闭状态下的部分结构示意图。如图4所示，显示了汞灯灯室处于正常工作状态下的定位组件5的状态，即第一定位滚轮511位于第一定位卡槽513内，第二定位滚轮521位于第二定位卡槽523内。且由于在汞灯灯室正常工作的状态时，位于固定架12前端的第一滚轮座514和第二滚轮座524朝向连接板113的一侧均与连接板113相抵接，因此，连接板113与第一滚轮座514和第二滚轮座524可以对移动架11和固定架12沿滑轨41长度方向的位置进行定位。
图5是本实用新型实施例提供的连接板113和连接座122的结构示意图。如图4和图5所示，为对汞灯灯室处于正常工作状态时的位置进行锁紧，防止汞灯2在正常工作状态下，移动架11和固定架12相对移动而影响汞灯2的工作，本实施例提供的汞灯灯室还包括锁紧组件7。在本实施例中，锁紧组件7包括锁紧螺栓72和锁紧块71，其中锁紧块71固定连接于连接座122上，且朝向连接板113的一侧开设有与锁紧螺栓72相配的螺纹孔。连接板113对应于螺纹孔的位置开设有与锁紧螺栓72相配的穿接孔，锁紧螺栓72穿过穿接孔与螺纹孔螺纹连接，使得连接板113与锁紧块71固定连接，从而实现移动架11和固定架12的锁紧固定。在本实施例中，锁紧块71设置有两个，两个锁紧块71分别设置在连接座122沿挡门111宽度方向的两端。
为方便锁紧动作的进行，挡门111上相对锁紧组件7的位置开设有维护窗口，维护窗口的一边转动连接有窗口挡板115，窗口挡板115能相对维护窗口的一边转动，以开启或关闭维护窗口。
为防止移动架11和固定架12相对移动的过程中，尤其是移动架11复位过程中，移动架11撞击固定架12导致的椭球反射镜3与其他组件剧烈撞击，本实施例提供的汞灯灯室还包括缓冲组件6。缓冲组件6包括沿连接座122长度方向间隔设置的两个弹性柱销61，连接座122上开设有与弹性柱销61配合的柱销孔，弹性柱销61一端配合穿接于柱销孔内，且其轴线方向与滑轨41的长度方向相同。当移动架11复位至汞灯2使用状态时，连接板113与弹性柱销61接触，起到对连接板113与连接座122接触缓冲的作用。在本实施例中，采用弹性柱销61起到接触缓冲作用，在其他实施例中，可以采用其他弹性件，如弹簧等。
本实用新型提供的汞灯灯室，通过设置可相对移动的移动架11和固定架12，使当汞灯2需要维修或更换时，能够将汞灯2移出固定架12的容纳腔，从而增大汞灯2的维修空间，提高汞灯2的维修效率，还能防止维修时的螺钉等掉落至灯室中；通过设置导轨组件4，可以对移动架11相对固定架12的移动进行导向，使移动架11的运动平稳，避免剧烈运动对椭球反射镜3造成的损害；通过设置定位组件5，可以使汞灯2维修或更换完成后，回复至正常工作状态下的初始位置，使汞灯2正常使用；通过设置锁紧组件7，能保证汞灯2正常使用时的结构稳定性；通过设置缓冲组件6，能避免移动过程中椭球反射镜3与其他结构发生剧烈碰撞。
注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。