一种紫外线曝光机用氮气幕的制作方法

本实用新型主要涉及内存生产领域，尤其涉及一种紫外线曝光机用氮气幕。

背景技术：

在紫外线曝光机上，原有的氮气保护系统由管道形式输送至工作腔体中，以紫外线照射开始和结束为工作时机，打开和关闭氮气，因此存在以下问题点：1.在氮气出气孔距离加工点较远，出气孔附近浓度较高，并且分布不均，无法形成对整个产品的工作区域整体覆盖；2.在紫外线照射刚开始的瞬间，无法保证产品表面的氧气和水蒸气被彻底排除，从而无法确保紫外线曝光的效果。

已公开中国实用新型专利，申请号CN201320729766.4，专利名称：用于光刻机曝光台的清洁装置，申请日：20131118，本实用新型涉及一种用于光刻机曝光台的清洁装置，包括一操作杆、与所述操作杆相连接的移动件，所述移动件靠近曝光台的底部具有一凹腔，所述凹腔通过一进气管与一氮气源或清洁干燥的空气源相连，通过一出气管与一抽真空装置相连。本实用新型采用一吹一吸的基本原理，通过氮气吹力把光刻机曝光台上的杂质颗粒吹起，然后通过另一端真空吸走颗粒，不但降低了操作者在狭小空间内的操作难度，降低了精密部件的损坏几率，而且提高了清洁效率，实现了高效安全的清洁目的。

技术实现要素：

本实用新型提供一种紫外线曝光机用氮气幕，针对现有技术的上述缺陷，提供一种紫外线曝光机用氮气幕，包括氮气幕壳体1、底座2、气道3、出气孔4、连接块5和围挡边6，所述氮气幕壳体1呈圆弧形并固定安装在底座2上，所述氮气幕壳体1内设置有出气孔4，所述氮气幕壳体1内部设置有连接气源与出气孔4的气道3，所述氮气幕壳体1外径圈上设置有连接块5，所述氮气幕壳体1靠近凸起一侧的外圆周上设置有围挡边6，所述氮气幕壳体1表面涂布有特氟龙，材质采用陶瓷。

优选的，氮气幕壳体1通过螺栓固定安装在在底座2上，所述螺栓设置有多个与出气孔4对应，呈圆形阵列状分布。

优选的，出气孔4围绕氮气幕壳体1的圆心呈环形阵列状分布，每一列所述出气孔4设置有多个，对应的所述气道3以圆心为中心发散设置。

优选的，每一列所述出气孔4设置有四个，在所述氮气幕壳体1上设置有八列上述出气孔4。

优选的，氮气幕壳体1的凸起部分正对产品，所述产品下方设置有紫外线光源7，所述氮气幕壳体1和紫外线光源7均安装在工作腔体8内，所述工作腔体8内在产品入口内的上方设置有传感器9，所述传感器9与安装在氮气幕壳体1上的电磁阀连接。

优选的，连接块5上设置有螺栓孔10，所述螺栓孔10穿过螺栓与工作腔体8固定连接。

优选的，传感器9为光学传感器。

本实用新型的有益效果：通过氮气幕的机构完善了氮气对产品的保护，有效的防止了因为紫外线照射使空气中的氧气和水蒸气发生反应，造成紫外线的减弱从而导致的胶膜粘性过高产生的品质隐患。

附图说明

图1为本实用新型的结构图；

图2为本实用新型的左视图；

图3为本实用新型的气道结构图；

图4为本实用新型在工作腔体中的结构图；

图中，

1、氮气幕壳体；2、底座；3、气道；4、出气孔；5、连接块；6、围挡边；7、紫外线光源；8、工作腔体；9、传感器；10、螺栓孔。

具体实施方式

如图1-4所示可知，本实用新型包括有：氮气幕壳体1、底座2、气道3、出气孔4、连接块5和围挡边6，所述氮气幕壳体1呈圆弧形并固定安装在底座2上，所述氮气幕壳体1内设置有出气孔4，所述氮气幕壳体1内部设置有连接气源与出气孔4的气道3，所述氮气幕壳体1外径圈上设置有连接块5，所述氮气幕壳体1靠近凸起一侧的外圆周上设置有围挡边6，所述氮气幕壳体1表面涂布有特氟龙，材质采用陶瓷。

在使用中，氮气幕系统的设计，优化原有氮气保护系统的缺点，工作腔体中以最快的方式达到氮气保护的环境，加工件表面分布更均匀，氮气幕尺寸直径为三百六十毫米圆形，表面涂布特氟龙，利于防止静电。

在本实施中优选的，氮气幕壳体1通过螺栓固定安装在在底座2上，所述螺栓设置有多个与出气孔4对应，呈圆形阵列状分布。

设置上述结构，进一步保证了氮气幕壳体1和底座2的固定性，提高了在使用过程中的稳定性。

在本实施中优选的，出气孔4围绕氮气幕壳体1的圆心呈环形阵列状分布，每一列所述出气孔4设置有多个，对应的所述气道3以圆心为中心发散设置。

设置上述结构，利用环形阵列状，当氮气从上述形状的出气孔4中吹出，能够在晶元表面形成一层幕状的氮气保护层。

在本实施中优选的，每一列所述出气孔4设置有四个，在所述氮气幕壳体1上设置有八列上述出气孔4。

设置上述结构，氮气出气孔4为八幅四孔结构，共三十二个出气小孔，当打开氮气开关时，氮气从三十二个小孔出来，三十二个出气小孔均匀分布，使得由原先管道输送变更成“幕”状输送，保证氮气的均匀分布。

在本实施中优选的，氮气幕壳体1的凸起部分正对产品，所述产品下方设置有紫外线光源7，所述氮气幕壳体1和紫外线光源7均安装在工作腔体8内，所述工作腔体8内在产品入口内的上方设置有传感器9，所述传感器9与安装在氮气幕壳体1上的电磁阀连接。

设置上述结构，以产品进出工作腔体8为时机，产品开始进入工作腔体8，传感器9感应产品，开启氮气，当产品工作结束，从工作腔体8出去以后，传感器9控制电磁阀关闭氮气，实时控制氮气的开闭，提高氮气的利用率。

在本实施中优选的，连接块5上设置有螺栓孔10，所述螺栓孔10穿过螺栓与工作腔体8固定连接。

设置上述结构，利用螺栓的固定方式，一方面保证了氮气幕壳体1壳体的稳定性，另一方面便于适时调整，降低成本。

在本实施中优选的，传感器9为光学传感器。

设置上述结构，采用光学传感器，辨识产品进出工作腔体8，提高工作效率，降低成本。

上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。