一种反射镜面的机械调整装置的制作方法

本实用新型涉及反射镜面检测技术领域，具体涉及一种反射镜面的机械调整装置。

背景技术：

极紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的软x射线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。在极紫外光刻相关技术中，对光学元件面形检测精度达到了亚纳米量级，这对光学检测技术提出了极高的要求。在高精度光学元件面形检测方法中，要求被测试光学元件能绕其回转中心按固定角度旋转，并能够以被测球面的球心为原点延球面切线方向做一定角度的摆动，实现多维姿态调整。

目前在对反射镜面进行调节的装置中，大多为为独立的旋转机构、转台、直线位移机构和倾斜调整台等，能同时满足要求的产品较少，并且通过电机驱动进行反射镜面的调整成本较高，不适用于前期的实验。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种反射镜面的机械调整装置，它能使得被测试的反射镜面采用机械的方式绕其回转中心按固定角度旋转，并能够以被测球面的球心为原点延球面切线方向做一定角度的摆动，实现多维姿态调整，成本低廉。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：它包含底座、工作滑道、滑轨、工作台、滑块、旋转轴、反射镜面、角度调整杆、锥形齿轮组，所述底座上设置有工作滑道，所述工作滑道呈弧形设置，工作滑道的两侧固定连接有滑轨，所述工作台设置在工作滑道上，工作台底部设置有凹槽，所述凹槽内设置有滑块，所述滑块与滑轨配合滑动连接，所述工作台上竖直设置有旋转轴，所述旋转轴下端与工作台转动连接，旋转轴的上端设置在工作台外侧，旋转轴的顶端与反射镜面固定连接，所述工作台的一侧设置有角度调整杆，所述角度调整杆通过锥形齿轮组与旋转轴的下端传动连接。

进一步的，所述工作台包含箱体、滑台，所述箱体底部两侧设置有滑台，所述滑台内设置有与弧形工作滑道形状相适应的凹槽，所述凹槽内设置有滑块。

进一步的，所述底座包含底板、立板，所述底板的两侧设置有立板，所述两个立板之间设置有工作滑道，所述工作滑道与底板、立板固定连接。

进一步的，所述旋转轴通过第一轴承座与工作台连接。

进一步的，所述角度调整杆通过第二轴承座与工作台连接。

进一步的，所述角度调整杆的一侧设置有转动盘，所述转动盘上设置有角度刻度线。

本实用新型的工作原理：工作时，反射镜面安装在旋转轴的上端面上，转动角度调整杆，角度调整杆通过锥形齿轮组能够带动旋转轴转动，旋转轴带动反射镜面绕其轴向方向转动，旋转轴具体的转动角度，通过角度调整杆外侧的转动盘进行调整，根据转动盘上的转动角度刻度线能够保证旋转轴按固定的角度进行转动；底座上的工作滑道通过滑轨对工作台的下端进行运动导向，工作台通过滑块与滑轨配合能够进行固定支撑及滑动导向，旋转轴垂直安装在工作台上方，通过工作台在工作滑道上运动能够实现反射镜面摆动姿态的调整。

采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它结构简单，设计合理，通过角度调整杆与旋转轴的配合能够实现反射镜面绕其回转中心按固定角度旋转，通过工作台与工作滑道的导向运动能够实现反射镜面摆动姿态的调整，采用机械传动方式实现多维姿态调整，且成本低廉。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的主视图；

图2是对应图1的俯视图；

图3是本实用新型的内部结构示意图；

图4是本实用新型中工作台的结构示意图。

附图标记说明：底座1、工作滑道2、滑轨3、工作台4、滑块5、旋转轴6、反射镜面7、角度调整杆8、锥形齿轮组9、第一轴承座10、第二轴承座11、转动盘12、底板1-1、立板1-2、凹槽4-1、箱体4-2、滑台4-3。

具体实施方式

参看图1-图4所示，本具体实施方式采用的技术方案是：它包含底座1、工作滑道2、滑轨3、工作台4、滑块5、旋转轴6、反射镜面7、角度调整杆8、锥形齿轮组9，所述底座1上设置有工作滑道2，所述工作滑道2呈弧形设置，工作滑道2的两侧固定连接有滑轨3，所述工作台4设置在工作滑道2上，工作台4底部设置有凹槽4-1，所述凹槽4-1内设置有滑块5，所述滑块5与滑轨3配合滑动连接，弧形工作滑道2用于对工作台4进行导向，使得底座1上的工作滑道2通过滑轨3对工作台4的下端进行运动导向，所述工作台4上竖直设置有旋转轴6，所述旋转轴6下端与工作台4转动连接，旋转轴6的上端设置在工作台4外侧，旋转轴6的顶端与反射镜面7固定连接，所述工作台4的一侧设置有角度调整杆8，所述角度调整杆8通过锥形齿轮组9与旋转轴6的下端传动连接，角度调整杆8通过锥形齿轮组9能够带动旋转轴6转动，旋转轴6带动反射镜面7绕其轴向方向转动。

所述工作台4包含箱体4-2、滑台4-3，所述箱体4-2底部两侧设置有滑台4-3，所述滑台4-3内设置有与弧形工作滑道2形状相适应的凹槽4-1，所述凹槽4-1内设置有滑块3，工作台4通过滑台4-3上的滑块3夹持在滑轨3上，使得工作台4能够固定支撑在工作滑道2上，且工作台4能过沿着工作滑道2的弧形结构做导向运动。

所述底座1包含底板1-1、立板1-2，所述底板1-1的两侧设置有立板1-2，所述两个立板1-2之间设置有工作滑道2，所述工作滑道2与底板1-1、立板1-2固定连接，通过立板1-2对工作滑道2做支撑，工作滑道2与底座1为一体结构，具体工作滑道2与底座1通过螺栓固定连接或一体成型。

所述旋转轴6通过第一轴承座10与工作台4连接。

所述角度调整杆8通过第二轴承座11与工作台4连接。

所述角度调整杆8的一侧设置有转动盘12，所述转动盘12上设置有角度刻度线，通过转动盘12上的转动角度刻度线能够保证旋转轴6按固定的角度进行转动，从而保证反射镜面7能够绕其回转中心按固定角度旋转。

具体实施时，反射镜面7安装在旋转轴6的上端面上，转动角度调整杆8，角度调整杆8通过锥形齿轮组9能够带动旋转轴6转动，旋转轴6带动反射镜面7绕其轴向方向转动，旋转轴6具体的转动角度，通过角度调整杆8外侧的转动盘12进行调整，根据转动盘12上的转动角度刻度线能够保证旋转轴6按固定的角度进行转动；底座1上的工作滑道2通过滑轨3对工作台4的下端进行运动导向，工作台4通过滑块5与滑轨3配合能够进行固定支撑及滑动导向，旋转轴6垂直安装在工作台4上方，通过工作台4在工作滑道2上运动能够实现反射镜面7摆动姿态的调整。

以上所述，仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。