1.一种计量目标，其包括具有相同粗略节距、相同线与空间l:s比1:1且按相同精细节距分割成精细元件的至少两个分段周期性结构，其中所述分段周期性结构彼此不同之处在于其中一个分段周期性结构缺少其对应精细元件的至少一者。
2.根据权利要求1所述的计量目标，其中所述缺少至少一个精细元件相对于所述对应周期性结构的元件居中。
3.一种计量目标，其包括具有相同粗略节距、相同线与空间l:s比1:1且按相同精细节距分割成精细元件的至少两个分段周期性结构，其中所述分段周期性结构彼此不同之处在于其中一个分段周期性结构包括依精细节距的整数倍数彼此分离的精细元件的两个群组。
4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的计量目标，其中所述分段周期性结构在相同目标层中。
5.根据权利要求1到4中任一权利要求所述的计量目标，其中所述分段周期性结构包括至少两对分段周期性结构，每一对具有不同精细节距。
6.根据权利要求5所述的计量目标，其中所述若干对分段周期性结构的数目经选定为等于相关光刻工艺中的不对称像差的指定源的数目。
7.根据权利要求5所述的计量目标，其中所述若干对分段周期性结构的数目经选定为等于给定装置设计中的装置节距的数目。
8.根据权利要求1到7中任一权利要求所述的计量目标，其进一步包括经配置以相对于所述分段周期性结构的至少一者产生叠加测量的至少一个周期性结构。
9.一种根据权利要求1到8中任一权利要求所述的计量目标的目标设计档案。
10.一种根据权利要求1到8中任一权利要求所述的计量目标的计量测量。
11.一种方法，其包括：
设计计量目标以包括具有相同粗略节距、相同线与空间l:s比1:1且按相同精细节距分割成精细元件的至少两个分段周期性结构，及
将所述分段周期性结构配置为彼此不同之处在于其中一个分段周期性结构缺少其对应精细元件的至少一者，或其中一个分段周期性结构包括依所述精细节距的整数倍彼此分离的所述精细元件的两个群组，
其中通过至少一个计算机处理器执行所述设计及/或所述配置。
12.根据权利要求11所述的方法，其中所述缺少至少一个精细元件相对于所述对应周期性结构的元件居中。
13.根据权利要求11或12所述的方法，其进一步包括产生并使用所设计计量目标以从所述至少两个分段周期性结构的测量导出像差估计。
14.根据权利要求11或12所述的方法，其进一步包括将至少一个周期性结构添加到所述至少两个分段周期性结构，及配置所述至少一个周期性结构以从其相对于所述分段周期性结构的至少一者的测量提供叠加估计。
15.根据权利要求11到14中任一权利要求所述的方法，其进一步包括选择所述精细节距以对应于给定装置节距。
16.根据权利要求11或12所述的方法，其进一步包括设计至少两对分段周期性结构，每一对具有不同精细节距。
17.根据权利要求16所述的方法，其进一步包括选择所述精细节距以对应于给定装置节距。
18.一种计算机程序产品，其包括具有用其体现的计算机可读程序的非暂时性计算机可读存储媒体，所述计算机可读程序经配置以执行根据权利要求11到17中任一权利要求所述的方法。
19.一种包括权利要求18所述的计算机程序产品的计量模块。