显示装置的制作方法

本申请要求于2018年7月13日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0081629号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的所有内容通过引用包含于此。本申请涉及一种显示装置，更具体地，涉及一种包括检查图案(inspectionpattern)的显示装置，该检查图案在区域曝光工艺期间能够确定图案的错位。
背景技术：
：使用液晶显示器和有机发光二极管(oled)显示器作为显示装置。显示装置可包括诸如基底以及堆叠在基底上的栅极绝缘层、数据布线、源电极、漏电极、光阻挡层(黑矩阵)、滤色器、钝化层等的多个薄膜层。为了形成所述多个薄膜层，使用导电层沉积工艺、光致抗蚀剂(pr)涂覆工艺、通过利用掩模的光致抗蚀剂的选择性曝光和显影的光致抗蚀剂图案形成工艺以及通过利用光致抗蚀剂图案作为掩模的蚀刻导电层的光刻工艺。另一方面，随着显示面板的尺寸增大，在制造包括显示面板的显示装置的过程中，能够在曝光设备中使用的掩模的尺寸受到限制。为了克服这个问题，已经使用了在曝光工艺中通过使用单个掩模多次曝光大尺寸的基底来形成薄膜图案的区域曝光(division-exposing)方法。在该
背景技术：
部分中公开的上述信息仅用于增强对
背景技术：
的理解，因此，它可能包含不形成在本国已被本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。技术实现要素：实施例已努力提供一种在区域曝光工艺中可容易地测量图案的错位并确定发生在拍摄边界处的缝合缺陷的显示装置。示例性实施例提供了一种显示装置，所述显示装置包括：显示部，被构造为包括显示部滤色器；以及外围部，设置在显示部的上侧处并包括用于检验显示部滤色器的对齐的检查图案。检查图案可包括具有颜色的多个滤色器和设置在多个滤色器的至少一侧处的参照图案。多个滤色器中的每种颜色的滤色器的数量对应于区域曝光工艺的拍摄的数量。多个滤色器之中的相邻滤色器可设置在不同的高度处。多个滤色器之中的奇数滤色器可设置在同一高度处，多个滤色器之中的偶数滤色器可设置在同一高度处。奇数滤色器可设置在比偶数滤色器高的位置处。奇数滤色器可设置在比偶数滤色器低的位置处。检查图案可设置在存在于至少一个外围部中的拍摄的拍摄边界部处。多个滤色器之间的间距可与显示部滤色器之间的间距相同。参照图案之间的间距可与设置在显示部中的参照图案之间的间距相同。检查图案可设置在拍摄的拍摄边界部处，参照图案中的一个和滤色器中的至少一个可与拍摄的拍摄边界部相邻。参照图案可在行方向上以预定的间距间隔开。其中标记以预定的间距设置的刻度可沿参照图案的至少一边设置在参照图案上。检查图案可包括两个分开的检查图案，两个分开的检查图案之中的最靠近拍摄的拍摄边界部的参照图案可设置为具有距离拍摄的拍摄边界部的预定的水平距离。参照图案可在行方向上以预定的间距间隔开，并且预定的间距之中的最靠近拍摄的拍摄边界部的参照图案之间的间距可与剩余的预定的间距不同。具有预定的间距标记的刻度可沿参照图案的至少一边设置在参照图案上。参照图案可沿检查图案的至少一边设置，具有预定的间距标记的刻度可设置在参照图案上。多个滤色器中的一个滤色器可与多个滤色器中的与之相邻的另一滤色器部分叠置，并且相邻滤色器的叠置部分的竖直长度可比多个滤色器的竖直长度小。参照图案可呈具有预定的水平长度和预定的竖直长度的垫的形状，并且参照图案的竖直长度可比多个滤色器的竖直长度长。检查图案的多个滤色器可设置在上基底上，光阻挡层可设置在上基底上，参照图案可由与光阻挡层的材料相同的材料制成。检查图案的多个滤色器可设置在下基底上，光阻挡层可设置在下基底上，参照图案可由与设置在下基底上的数据布线或光阻挡层的材料相同的材料制成。检查图案的多个滤色器可设置在下基底上，光阻挡层可设置在上基底上，参照图案可由与设置在下基底上的数据布线的材料相同的材料制成。检查图案的多个滤色器可设置在下基底上，光阻挡层可设置在下基底上，其中包括有薄膜晶体管的阵列层可堆叠在多个滤色器上，参照图案可由与光阻挡层的材料相同的材料制成。根据示例性实施例，能够通过位于拍摄边界处的检查图案来促进诸如图案之间的重叠偏差和线宽偏差的图案的错位的测量，以基于偏差测量更正偏差，使得可防止观察到缝合缺陷。附图说明图1示出了根据示例性实施例的显示装置的布局图。图2示出了图1的检查图案的形状的放大图。图3示出了用于解释图1或图2的检查图案的形状的示意图。图4示出了与图1相比其中增加了拍摄的数量的显示装置的布局图。图5示出了根据示例性实施例的显示装置的布局图。图6示出了图5的检查图案的形状的放大图。图7示出了用于解释图5或图6的检查图案的形状的示意图。图8示出了与图5相比其中增加了拍摄的数量的显示装置的布局图。图9、图10、图11和图12分别示出了根据另一示例性实施例的显示装置的剖视图。图13和图14分别示出了修改自图2的检查图案的形状的放大图。具体实施方式在下文中，将参照示出了示例性实施例的附图来更充分地描述发明构思。如本领域技术人员将意识到的，在所有不脱离本公开的精神或范围的情况下，可以以各种不同的方式修改所描述的实施例。将省略与描述不相关的部分以清楚地描述本公开，同样的附图标记贯穿说明书指示同样的元件。此外，在附图中，为了容易描述，任意地示出了每个元件的尺寸和厚度，本公开不必限于在附图中示出的元件的尺寸和厚度。在附图中，为了清楚，夸大了层、膜、面板、区域等的厚度。在附图中，为了容易描述，夸大了一些层和区域的厚度。将理解的是，当诸如层、膜、区域或基底的元件被称为“在”另一元件“上”时，所述元件可直接在所述另一元件上，或者还可存在中间元件。相反，当元件被称为“直接在”另一元件“上”时，则不存在中间元件。此外，在说明书中，词语“在……上”或“在……上方”意味着位于目标部分上或上方，并不必意味着基于重力方向位于目标部分的上侧上。另外，除非明确地相反描述，否则词语“包括”及诸如“包含”的变型将理解为意指包括所陈述的元件，但是并不排除任何其它元件。此外，贯穿说明书，短语“在平面上”意味着从顶部观看目标部分，短语“在剖面上”意味着从侧面观看通过竖直切割目标部分而形成的剖面。在下文中，将参照图1至图3来描述根据示例性实施例的显示装置。图1示出了根据示例性实施例的显示装置的布局图。图2示出了图1的检查图案300的形状的放大图。图3示出了用于解释图1或图2的检查图案300的形状的示意图。参照图1，根据示例性实施例的显示装置包括显示面板100，并且设置在母基底10的一部分中。多个显示面板100设置在母基底10中，每个显示面板100通过稍后切割母基底10来形成。当在平面图中观看时，显示面板100包括能够显示图像的显示部110以及设置在显示部110周围的外围部200。根据一个实施例，外围部200包括检查图案300，该检查图案300可在制造工艺中的区域曝光期间确定图案的错位。显示部110包括多个像素(未示出)以及连接到像素以传输驱动信号的多条显示信号线(未示出)。设置在外围部200中的检查图案300形成为与拍摄边界部bd相邻。以粗虚线示出拍摄边界部bd。显示面板100被划分为多个区域，以通过使用单个掩模曝光多次的区域曝光工艺来制造。这里，使用掩模执行一次曝光被称作拍摄(shot)。具体地，如图1中所示，在与显示面板100的曝光区域对应的上部上设置掩模之后执行在掩模的上部上照射光并对其进行曝光的拍摄a，然后通过去除支撑显示面板100的母基底10或者通过去除掩模来执行拍摄b。拍摄a是位于拍摄边界部bd的左侧上的粗实线部分，拍摄b是位于拍摄边界部bd的右侧上的粗实线部分。用于拍摄a和拍摄b的掩模可以是同一掩模。在区域曝光方法中，可能发生错位，然而，在本实施例中，形成检查图案300，以容易地检验错位。将参照图2来描述能够容易地测量位于拍摄边界部bd处的图案错位的检查图案300，并将参照图3对检查图案300进行进一步描述。参照图2，检查图案300形成为与外围部200的拍摄边界部bd相邻，并形成有多个滤色器600和多个参照图案400。所述多个滤色器600包括红色滤色器r1和r2、绿色滤色器g1和g2以及蓝色滤色器b1和b2，每个滤色器600具有预定的水平长度和预定的竖直长度。每种颜色的滤色器600形成为与通过掩模曝光的多个拍摄对应的数量。换言之，拍摄a和拍摄b中的每个可包括一个红色滤色器、一个绿色滤色器和一个蓝色滤色器。并且每个滤色器600的宽度可与形成在显示部中的、有时被称作显示部滤色器的滤色器的宽度相等。滤色器600和显示部滤色器可设置在同一竖直线处。滤色器600的开口的宽度可与形成在显示部110中的显示部滤色器的开口的宽度相等。滤色器600的开口可以是没有被参照图案400遮蔽而被暴露的部分。换言之，滤色器600的开口的宽度可与参照图案400之间的间距相同。在下文中，拍摄a的红色滤色器被称作第一滤色器r1，拍摄a的绿色滤色器被称作第二滤色器g1，拍摄a的蓝色滤色器被称作第三滤色器b1，拍摄b的红色滤色器被称作第四滤色器r2，拍摄b的绿色滤色器被称作第五滤色器g2，拍摄b的蓝色滤色器被称作第六滤色器b2。多个参照图案400可在行方向上彼此分隔开预定的间距，并可呈具有预定水平长度和预定竖直长度的垫形式。多个滤色器600形成在参照图案400之间。参照图案400的数量比多个滤色器600的数量多一个。即，当形成n个滤色器600时，可形成(n+1)个参照图案400。参照图案400的竖直长度可形成为比滤色器600的竖直长度长。参照图案400之间的间距可对应于形成在显示部110中的、有时被称作显示部参照图案的参照图案之间的间距。参照图案400和显示部参照图案可设置在同一竖直线处。参照图案400之间的间距可与滤色器600和显示部滤色器的开口的宽度相同。在一些示例性实施例中，在需要的位置处将参照图案400形成为具有必需长度的同时，可以形成比滤色器600的长度短的参照图案400。另外，参照图案400可形成在一层处或者可形成在沿母基底10的厚度方向分开的不同层处，使得每层的参照图案400设置在一列中。在下文中，将详细地描述根据本示例性实施例的滤色器600的布置。根据本示例性实施例的滤色器600在纵向方向上分别形成在不同的位置处。即，从左侧起的奇数滤色器r1、b1和g2形成在比从左侧起的偶数滤色器g1、r2和b2高的位置处。这使得可通过防止相邻的滤色器600完全叠置来清楚地确定每个滤色器600的位置。在一些示例性实施例中，从左侧起的奇数滤色器r1、b1和g2可形成在比从左侧起的偶数滤色器g1、r2和b2低的位置处。换言之，第一滤色器r1、第三滤色器b1和第五滤色器g2在纵向方向上可形成在相同位置处。另外，第二滤色器g1、第四滤色器r2和第六滤色器b2在纵向方向上可形成在相同位置处，并且它们可与第一滤色器r1、第三滤色器b1和第五滤色器g2形成在不同的位置处。因此，设置在不同的拍摄中而显示相同颜色的滤色器在纵向方向上形成在不同位置处。第一滤色器r1与第四滤色器r2相比可形成在相对较高的位置处。在这种情况下，第二滤色器g1与第五滤色器g2相比可形成在相对较低的位置处。与此同时，第三滤色器b1与第六滤色器b2相比可形成在相对较高的位置处。因此，设置位于检查图案300中的多个滤色器600，以具有沿上下方向具有叠置部分的两行布置。在一些示例性实施例中，当使用四种类型的滤色器600时，相邻的滤色器600可位于不同的行中，并且相同颜色的滤色器600可设置在同一高度处。在一些示例性实施例中，可存在设置滤色器600的三个或更多个高度。在使用三种颜色的滤色器600的示例性实施例中，相应颜色的滤色器600可设置在同一高度处。另外，滤色器600被形成为使得其预定的部分在滤色器600彼此相邻的部分处彼此叠置。即，第一滤色器r1的右侧的一部分与第二滤色器g1的左侧的一部分叠置，第二滤色器g1的右侧的一部分与第三滤色器b1的左侧的一部分叠置，第三滤色器b1的右侧的一部分与第四滤色器r2的左侧的一部分叠置。第四滤色器r2的右侧的一部分与第五滤色器g2的左侧的一部分叠置，第五滤色器g2的右侧的一部分与第六滤色器b2的左侧的一部分叠置。在这种情况下，相邻滤色器600之间的叠置部分的竖直长度比滤色器600的竖直长度小。滤色器600的相对侧的至少一些部分不与相邻的滤色器600叠置。因此，可精确地测量滤色器600与参照图案400之间的间距。在下文中，将详细地描述参照图案400的布置以及滤色器600与参照图案400之间的关系。在根据本示例性实施例的检查图案300中，多个参照图案400形成在多个滤色器600的相对侧处，并在行方向上彼此分隔开预定的间距。参照图案400之间的间距可与滤色器600的开口的宽度相等，滤色器600的开口的宽度可与形成在显示部110中的显示部滤色器的开口的宽度相同。除了形成在最外侧处的第一参照图案410和第七参照图案470之外，剩余的参照图案420、430、440、450和460形成为与设置在参照图案420、430、440、450和460的对应的左侧和右侧处的两个滤色器600叠置。即，一个参照图案420、430、440、450或460形成在与滤色器600之间的叠置部分对应的区域中。换言之，第一参照图案410与第一滤色器r1的左侧叠置。第二参照图案420与第一滤色器r1的右侧和第二滤色器g1的左侧叠置。第三参照图案430与第二滤色器g1的右侧和第三滤色器b1的左侧叠置。第四参照图案440与第三滤色器b1的右侧和第四滤色器r2的左侧叠置。第五参照图案450与第四滤色器r2的右侧和第五滤色器g2的左侧叠置。第六参照图案460与第五滤色器g2的右侧和第六滤色器b2的左侧叠置。第七参照图案470与第六滤色器b2的右侧叠置。在下文中，将描述通过区域曝光工艺形成检查图案300的顺序。首先，在布置了参照图案400的情况下，在将用于滤色器的掩模设置在拍摄a的区域中之后，执行曝光和显影，以在第一参照图案410与第二参照图案420之间形成第一滤色器r1。接下来，将用于滤色器的掩模设置在拍摄b的区域中，然后执行曝光和显影，以在第四参照图案440与第五参照图案450之间形成第四滤色器r2。在这种情况下，以不同的高度形成滤色器r1和滤色器r2两者。接下来，将用于滤色器的掩模设置在拍摄a的区域中，然后执行曝光和显影，以在第二参照图案420与第三参照图案430之间形成第二滤色器g1。随后，将用于滤色器的掩模设置在拍摄b的区域中，然后执行曝光和显影，以在第五参照图案450与第六参照图案460之间形成第五滤色器g2。在这种情况下，形成处于不同高度的滤色器g1和滤色器g2两者。接下来，将用于滤色器的掩模设置在拍摄a的区域中，然后执行曝光和显影，以在第三参照图案430与第四参照图案440之间形成第三滤色器b1。随后，将用于滤色器的掩模设置在拍摄b的区域中，然后执行曝光和显影，以在第六参照图案460与第七参照图案470之间形成第六滤色器b2。在这种情况下，形成处于不同的高度的滤色器b1和滤色器b2两者。相应地，在拍摄边界部bd上以不同的高度形成滤色器b1和滤色器r2两者，并且滤色器b1的预定部分和滤色器r2的预定部分与设置在拍摄边界部bd处的第四参照图案440叠置。在拍摄a和拍摄b中，形成多个滤色器600的多个曝光工艺可以是通过利用同一图案掩模移动并曝光图案掩模或母基底10的工艺。根据本示例性实施例的检查图案300包括位于拍摄a的区域中的滤色器r1、滤色器g1和滤色器b1三者，并包括位于拍摄b的区域中的滤色器r2、滤色器g2和滤色器b2三者。由于参照图案400与滤色器600中的每个滤色器的相对侧叠置，因此参照图案400包括总共七个参照图案410至470。在下文中，将基于图2的检查图案300参照图3来详细地描述确定图案的错位的方法。参照图3，检查图案300形成为与外围部200的拍摄边界部bd相邻，并包括多个滤色器600和多个参照图案400。为了描述示例性实施例，如图3中示出的，滤色器600的线宽(有时称作宽度)被称作第一宽度p，滤色器600的竖直长度被称作第一长度h，滤色器600之间的叠置部分的宽度被称作第四宽度s，滤色器600之间的叠置部分的竖直长度被称作第二长度l。另外，每个滤色器600的左侧和右侧与形成在每个滤色器600的相对侧处的参照图案400的左侧和右侧之间的距离被分别称作第一至第十二间距d1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、d8、d9、d10、d11和d12。相邻的参照图案400中的左参照图案400的左侧与所述相邻的参照图案400中的右参照图案400的右侧之间的距离被称作第二宽度q，参照图案400的宽度被称作第三宽度r。通过利用根据示例性实施例的检查图案300能够测量滤色器图案是否错位。在这种情况下，包括在设置于外围部200中的检查图案300中的多个滤色器600与形成在设置于外围部200下方的显示部110上的滤色器在同一条线上被图案化，因此在不损害显示部110的情况下能够测量滤色器的重叠偏差和滤色器的线宽偏差。现在，将参照图3和表1来描述通过利用第一间距d1、第二间距d2、第七间距d7和第八间距d8来测量红色滤色器r1和r2的重叠偏差的方法。(表1)x1＝(d1-d2)/2x4＝(d7-d8)/2x1-x4＝rox2＝(d3-d4)/2x5＝(d9-d10)/2x2-x5＝gox3＝(d5-d6)/2x6＝(d11-d12)/2x3-x6＝bo第一间距d1是第一滤色器r1的左侧与形成在第一滤色器r1的左侧处的第一参照图案410的左侧之间的距离。第二间距d2是第一滤色器r1的右侧与形成在第一滤色器r1的右侧处的第二参照图案420的右侧之间的距离。表1中示出了作为第一滤色器r1的重叠的第一重叠x1。相似地，第七间距d7是第四滤色器r2的左侧与形成在第四滤色器r2的左侧处的第四参照图案440的左侧之间的距离。第八间距d8是第四滤色器r2的右侧与形成在第四滤色器r2的右侧处的第五参照图案450的右侧之间的距离。表1中示出了与第四滤色器r4的重叠对应的第四重叠x4。第一重叠x1与第四重叠x4之差的被称作第一偏差ro，第一偏差ro是拍摄a和拍摄b之间的红色滤色器r1和r2的重叠偏差，表1中示出了第一偏差ro。在这种情况下，当第一偏差ro为0(ro＝0)时，红色滤色器r1和r2的重叠偏差相同，因此不会观察到缝合缺陷(stitchdefect)。然而，当第一偏差ro为除了0之外的正值或者负值(ro≠0)时，由于存在对应的拍摄的红色滤色器r1和r2的重叠偏差，因此会在拍摄边界部bd处观察到由于滤色器600之间的重叠偏差导致的缝合缺陷。将参照示例性数值更容易地解释测量滤色器600的重叠偏差的方法。例如，假设第一间距d1为1(d1＝1)，第二间距d2为3(d2＝3)，那么第一重叠x1(＝(d1-d2)/2)为-1。与此同时，当第四滤色器r2的重叠值为+1(x4＝+1)时，第一偏差(ro＝x1-x4)为-2。即，第一滤色器r1的重叠x1向左移动了1，第四滤色器r2的重叠x4向右移动了1，以在相应的图案对齐中发生误差的状态下被曝光，因此观察到缝合缺陷。因此，例如，基于检查工艺中的测量，通过执行将第一重叠x1向右移动1(+1)并将第四重叠x4向左移动1(-1)的更正，能够去除第一偏差ro(ro＝0)。即，可容易地改善位于拍摄边界部bd处的缝合缺陷。相似地，也可用与以上描述的相同的原理来测量第二偏差go和第三偏差bo(如表1中所示)，第二偏差go是拍摄a和拍摄b之间的绿色滤色器g1和g2的重叠偏差，第三偏差bo是拍摄a和拍摄b之间的蓝色滤色器b1和b2的重叠偏差。省略的内容对应于根据测量第一偏差ro的以上提及的方法的内容。现在，将参照图3和表2来描述通过利用第一间距d1、第二间距d2、第七间距d7和第八间距d8来测量红色滤色器r1和r2的线宽偏差的方法。为了更好地理解和容易地描述，对相同附图标记的描述遵循以上描述的测量重叠偏差的方法的描述。(表2)y1＝q-(d1+d2)y4＝q-(d7+d8)y1-y4＝rcy2＝q-(d3+d4)y5＝q-(d9+d10)y2-y5＝gcy3＝q-(d5+d6)y6＝q-(d11+d12)y3-y6＝bc根据以上描述的第二宽度q、第一间距d1和第二间距d2，在表2中示出了作为第一滤色器r1的线宽的第一线宽y1。相似地，基于第二宽度q、第七间距d7和第八间距d8，在表2中示出了作为第四滤色器r2的线宽的第四线宽y4。第一线宽y1与第四线宽y4之差被称作第四偏差rc，第四偏差rc是拍摄a和拍摄b之间的红色滤色器r1和r2的线宽偏差，在表2中示出了第四偏差rc。在这种情况下，当第四偏差rc为0(rc＝0)时，红色滤色器r1和r2的线宽偏差相同，因此不会观察到缝合缺陷。然而，当第四偏差rc是除了0之外的正值或负值(ro≠0)时，由于存在对应的拍摄的红色滤色器r1和r2的线宽偏差，因此会在拍摄边界部bd处观察到由于滤色器600之间的线宽偏差导致的缝合缺陷。将参照示例性数值更容易地解释测量滤色器600的线宽的偏差的方法。例如，假设第二宽度q为10(q＝10)，第一间距d1为1(d1＝1)，并且第二间距d2为3(d2＝3)，则第一线宽y1＝(q-(d1+d2))为+6。与此同时，当第四线宽y4为+4(y4＝+4)时，第四偏差rc＝(y1-y4)为+2。即，因为在拍摄边界部bd处的彼此相邻的相应的拍摄的红色滤色器r1和r2的线宽的偏差，所以在相应的图案对齐中发生误差的状态下执行了曝光工艺，因此观察到了缝合缺陷。因此，基于检查工艺中的测量，通过执行线宽的更正，能够去除第四偏差rc(rc＝0)。换言之，能够使相邻的两个拍摄的红色滤色器r1和r2的线宽y1和y4相等。在这种情况下，可通过曝光间隙或曝光量来调整线宽的更正。因此，可容易地改善位于拍摄边界部bd处的缝合缺陷。相似地，也可使用与以上描述的原理相同的原理来测量第五偏差gc和第六偏差bc(如表2中所示)，第五偏差gc是拍摄a和拍摄b之间的绿色滤色器g1和g2的线宽偏差，第六偏差bc是拍摄a和拍摄b之间的蓝色滤色器b1和b2的线宽偏差。在图2和图3中，由于相邻的滤色器600形成在不同的高度，因此第一长度h比第二长度l长(h>l)。第一长度h可以为大约100μm，第二长度l可适当地为第一长度h的大约一半，因此可适当地为大约50μm。第一宽度p可以为50μm至60μm，第二宽度q与典型的像素的尺寸基本上相似，因此可以为70μm至80μm。第三宽度r可以为3μm至12μm。在这种情况下，第一长度h和第二宽度q可通常为由设计设定的值。另外，通过测量第一间距d1至第十二间距d12和第三宽度r也知晓第四宽度s。例如，当获得第二间距d2、第三间距d3和第三宽度r的测量值时，能够通过等式1知晓第一滤色器r1和第二滤色器g1的叠置部分的第四宽度s。[等式1]s＝r-(d2+d3)在这种情况下，第四宽度s可针对相邻的滤色器600的相应叠置部分而不同。在图2和图3中，已经示例性地描述了根据示例性实施例的检查图案300包括总共六个滤色器600和总共七个参照图案410至470，其中，所述六个滤色器600在右拍摄和左拍摄中的每个上形成为三个，所述七个参照图案410至470形成在每个滤色器600的相对侧处并与每个滤色器600的相对侧部分地叠置。然而，实施例不局限于滤色器600和参照图案400的数量。另外，已经以从拍摄a的红色滤色器r1至拍摄b的蓝色滤色器b2的顺序描述了根据示例性实施例的检查图案300，但是实施例不限于此。图4示出了其中增加了图1中的拍摄数量的显示装置的布局图，并示出了图1的示例性变化。参照图4，示出了通过执行图1中示出的拍摄a和拍摄b并进一步执行拍摄c的三拍摄区域曝光工艺而制造的显示面板100。具体地，执行拍摄b，然后通过移动支撑显示面板100的母基底10或通过移动掩模来执行拍摄c。如图1中描述的，由于检查图案300形成在拍摄边界部bd处，因此如在本示例性实施例中通过三拍摄区域曝光工艺制造的显示面板100的检查图案300可形成为与作为拍摄a和拍摄b的拍摄边界部和作为拍摄b和拍摄c的拍摄边界部的两个拍摄边界部bd相邻。已经示例性地描述了通过包括两拍摄区域曝光工艺或三拍摄区域曝光工艺的区域曝光工艺制造的显示面板100，但是实施例不限于区域曝光工艺的拍摄的数量。在下文中，将参照图5至图7来描述根据另一示例性实施例的显示装置。将描述与图1至图3的示例性实施例不同的部分，没有描述的部分遵循以上描述的示例性实施例。为了更好地理解和便于描述，另一示例性实施例的与上述示例性实施例的构成元件相同的构成元件将具有相同的附图标记。图5示出了根据示例性实施例的显示装置的布局图。图6示出了图5的检查图案310的形状的放大图。图7示出了用于解释图5或图6的检查图案310的形状的示意图。参照图5，外围部200包括形成在拍摄边界部bd处的检查图案310。然而，在这种情况下，虽然检查图案310形成在拍摄边界部bd处，但是它不与拍摄边界部bd叠置。与图2和图3的检查图案300不同的是拍摄a的检查图案310和拍摄b的检查图案310彼此分隔开预定的水平间距，且边界部bd位于它们之间。将参照图6来描述能够容易测量位于拍摄边界部bd处的图案错位的检查图案310，并将参照图7对此进行进一步描述。参照图6，在检查图案310中，第三滤色器b1和第四滤色器r2可形成为彼此分隔开预定的距离而不彼此叠置。因此，第四参照图案440和第五参照图案450分别在第三滤色器b1的右侧和第四滤色器r2的左侧分开地形成。在下文中，将详细地描述根据本示例性实施例的滤色器600的布置。根据本示例性实施例的检查图案310的滤色器600分别形成在纵向方向上不同的位置处。即，从左侧起的奇数滤色器r1、b1和g2形成在比从左侧起的偶数滤色器g1、r2和b2低的位置处。这样通过防止相邻的滤色器600完全地叠置来使得可以明确地确定每个滤色器600的位置。在一些示例性实施例中，从左侧起的奇数滤色器r1、b1和g2可形成在比从左侧起的偶数滤色器g1、r2和b2高的位置处。因此，设置在不同拍摄中而显示相同颜色的滤色器在纵向方向上形成在不同的位置处。第一滤色器r1与第四滤色器r2相比可在纵向方向上形成在相对较低的位置处。在这种情况下，第二滤色器g1与第五滤色器g2相比可形成在相对较高的位置处。与此同时，第三滤色器b1与第六滤色器b2相比可形成在相对较低的位置处。因此，设置位于检查图案310中的多个滤色器600，以具有在上下方向上具有叠置部分的两行布置。另外，滤色器600形成为使得其预定的部分在滤色器600彼此相邻的部分处彼此叠置。在这种情况下，相邻滤色器600之间的叠置部分的竖直长度比滤色器600的竖直长度小。然而，与图2和图3的示例性实施例的检查图案300不同，在本示例性实施例中，第三滤色器b1和第四滤色器r2形成为彼此分隔开预定的间距而不彼此叠置。在下文中，将详细地描述参照图案400的布置以及滤色器600与参照图案400之间的关系。在根据本示例性实施例的检查图案310中，所述多个参照图案400在行方向上彼此分隔开预定的间距。在这种情况下，第四参照图案440与第五参照图案450之间的间距可比其余的参照图案410、420、430、460、470和480之间的间距宽。另外，在本示例性实施例中，多个滤色器600形成在参照图案400之间，但是滤色器600不形成在第四参照图案440与第五参照图案450之间。因此，参照图案400的数量比多个滤色器600的数量多两个。即，当形成n个滤色器600时，可形成(n+2)个参照图案400。一个参照图案420、430、460或470形成在与滤色器600之间的叠置部分对应的区域中。在下文中，将描述通过区域曝光工艺形成检查图案310的顺序。根据本示例性实施例的检查图案310包括位于拍摄a的区域中的三个滤色器r1、g1和b1，并包括位于拍摄b的区域中的三个滤色器r2、g2和b2，第三滤色器b1和第四滤色器r2彼此不叠置。由于参照图案400与滤色器600中的每个的相对侧叠置，因此参照图案400包括总共八个参照图案410至480。在下文中，将基于图6的检查图案参照图7来详细地描述确定图案的错位的方法。参照图7，检查图案310的两个部分分别形成在外围部200的拍摄边界部bd处，以彼此分隔开预定的水平间距，拍摄边界部bd位于所述两个部分之间。另外，检查图案310形成有多个滤色器600和多个参照图案410至480。现在，将参照图7和表1来描述通过本示例性实施例的检查图案310测量红色滤色器r1和r2的重叠偏差的方法。第一重叠x1的内容与上述示例性实施例的内容相同。在本示例性实施例中，第七间距d7是第四滤色器r2的左侧与形成在第四滤色器r2的左侧处的第五参照图案450的左侧之间的距离。第八间距d8是第四滤色器r2的右侧与形成在第四滤色器r2的右侧处的第六参照图案460的右侧之间的距离。相应地，在表1中示出了作为第四滤色器r2的重叠的第四重叠x4。因此，也在表1中示出了第一偏差ro。现在，将参照图7和表2来描述通过本示例性实施例的检查图案310测量红色滤色器r1和r2的线宽偏差的方法。为了更好的理解和容易描述，对于相同附图标记的描述遵循以上描述的测量重叠偏差的方法的描述。因此，第四偏差rc也与表2中的第四偏差rc相同。已经示例性地描述了根据图6和图7的示例性实施例的检查图案310包括总共六个滤色器600和总共八个参照图案410至480，所述总共六个滤色器600在右拍摄和左拍摄中的每个上形成为三个，所述总共八个参照图案410至480形成在每个滤色器600的相对侧处并与每个滤色器600的相对侧叠置。然而，实施例不局限于滤色器600和参照图案400的数量。图8示出了增加了图5中的拍摄数量的显示装置的布局图，并示出了图5的示例性变化。参照图8，示出了通过三拍摄区域曝光工艺制造的显示面板100，在三拍摄区域曝光工艺中，执行了图中5中示出的拍摄a和拍摄b，并进一步执行了拍摄c。如图5中描述的，由于检查图案310形成在拍摄边界部bd处，因此如在本示例性实施例中通过三拍摄区域曝光工艺制造的显示面板100的检查图案310可形成在作为拍摄a和拍摄b的拍摄边界部以及作为拍摄b和拍摄c的拍摄边界部的两个拍摄边界部bd处。然而，在这种情况下，与图5至图7相似，根据本示例性实施例的检查图案310的两个部分分别形成在拍摄边界部bd处，以彼此分隔开预定的水平间距且拍摄边界部bd位于这两个部分之间，并且这两个部分不与拍摄边界部bd叠置。在下文中，将参照图9、图10、图11和图12来描述根据各种示例性实施例的显示装置的检查图案。图9至图12分别示出了根据另一示例性实施例的显示装置的剖视图。图9示出了检查图案设置在上显示面板上的示例性实施例。参照图9，下显示面板可包括下基底510、栅极绝缘层520、数据布线530、钝化层540和像素电极550。栅极绝缘层520、数据布线530、钝化层540和像素电极550堆叠在下基底510上。尽管没有示出，但是像素电极550连接到薄膜晶体管。上显示面板可包括上基底570、光阻挡层700、滤色器600和共电极560。光阻挡层700、滤色器600和共电极560堆叠在上基底570上。在本示例性实施例中，参照图案400由光阻挡层700形成，根据本示例性实施例的检查图案300和/或310由滤色器层600和光阻挡层700形成。图10示出了检查图案设置在下显示面板上的示例性实施例。参照图10，下显示面板可包括下基底510、栅极绝缘层520、数据布线530或光阻挡层700、滤色器600、有机绝缘层580和像素电极550。栅极绝缘层520、数据布线530或光阻挡层700、滤色器600、有机绝缘层580和像素电极550堆叠在下基底510上。尽管没有示出，但是像素电极550连接到薄膜晶体管。上显示面板可包括上基底570和共电极560。共电极560堆叠在上基底570上。(阵列上滤色器；coa结构)在本示例性实施例中，参照图案400堆叠在堆叠于下基底510上的光阻挡层700上或者堆叠在下基底510上，并且它可由用金属制成的数据布线530形成。即，根据本示例性实施例的检查图案300和/或310由滤色器层600和光阻挡层700形成或者由滤色器层600和数据布线530形成。图11示出了检查图案设置在下显示面板上的另一示例性实施例。参照图11，下显示面板可包括下基底510、栅极绝缘层520、数据布线530、滤色器600、有机绝缘层580和像素电极550。栅极绝缘层520、数据布线530、滤色器600、有机绝缘层580和像素电极550堆叠在下基底510上。尽管没有示出，但是像素电极550连接到薄膜晶体管。上显示面板可包括上基底570、共电极560和光阻挡层700。共电极560和光阻挡层700堆叠在上基底570上。在本示例性实施例中，参照图案400由用金属制成的数据布线530形成，根据本示例性实施例的检查图案300和/或310由滤色器层600和数据布线530形成。图12示出了检查图案设置在下显示面板上的另一示例性实施例。参照图12，下显示面板可包括下基底510、阵列层和滤色器层600，阵列层包括具有源电极s和漏电极d的薄膜晶体管(tft)。滤色器层600和位于滤色器层600上的阵列层堆叠在下基底510上。(滤色器上阵列；aoc结构)在本示例性实施例中，参照图案400由光阻挡层700形成，根据本示例性实施例的检查图案300和/或310由滤色器层600和光阻挡层700形成。如图9至图12中描述的，参照图案400可由光阻挡层700或与滤色器600形成在同一基底上的由金属制成的布线层形成。在这种情况下，由金属制成的布线层不限于数据布线530。在下文中，将参照图13和图14来描述图2的检查图案的各种修改。将描述与图2的示例性实施例不同的部分，没有描述的部分遵循以上描述的示例性实施例。图13和图14分别示出了图2的检查图案的形状的修改。参照图13，根据本示例性实施例的检查图案320由所述多个滤色器600和所述多个参照图案400形成。在这种情况下，刻度形成在包括在根据本示例性实施例的检查图案320中的多个参照图案400上。刻度可以以预定的间距形成在每个参照图案411、421、431、441、451、461或471的一个长边和一个短边上。在图13中，刻度被示出为在参照图案400上的具有预定的长度的线，但是当形成根据本示例性实施例的参照图案411、421、431、441、451、461和471时，刻度可形成在参照图案400上，以具有浮雕形状或雕刻形状。即，根据本示例性实施例的参照图案411、421、431、441、451、461和471可以是容易加工和图案化的金属层，并且不限于数据布线530的层。在这种情况下，图13中示出的形成在每个参照图案400上的刻度仅仅是示例。可根据相应的示例性实施例适当地改变刻度的标记之间的间距和标记的位置，使得可容易地执行多个滤色器600的重叠和线宽偏差的测量。为了更精确的测量，可更精细地形成刻度的标记之间的间距。在本示例性实施例中，示出了刻度形成在每个参照图案400的左长边上，但是刻度可形成在每个参照图案400的右长边上或左长边和右长边两者上，或者可形成为跨过每个参照图案400的宽度。在图13中，刻度形成在每个参照图案400的下短边上，但是可形成在每个参照图案400的上短边或者上短边和下短边两者上。即，实施例不限于形成在每个参照图案400上的刻度的位置。在根据本示例性实施例的检查图案320中，能够通过读取每个滤色器600占据的刻度来容易地测量多个滤色器r1、r2、g1、g2、b1和b2的重叠和线宽偏差。当其上形成有刻度的参照图案400与每个滤色器600叠置时或者当滤色器600彼此叠置时，能够通过读取重叠部分来容易地测量宽度、高度等。在图14的示例性实施例的描述中，将描述与图13的示例性实施例不同的部分，没有描述的部分遵循以上描述的示例性实施例。参照图14，根据本示例性实施例的检查图案330由多个滤色器600和参照图案490和491形成，所述参照图案490和491沿检查图案330自身的至少一边形成。如图13的示例性实施例，刻度形成在包括在根据本示例性实施例的检查图案330中的参照图案490和491上。在图14的示例性实施例中，参照图案400可沿检查图案330自身的一个水平边和一个竖直边形成，而不与多个滤色器600叠置。在这种情况下，可根据相应示例性实施例来适当地改变形成在参照图案490和491上的刻度的标记之间的间距以及参照图案490和491的形成位置，使得可容易地执行多个滤色器600的重叠和线宽偏差的测量。即，在本示例性实施例中，示出每个参照图案400形成在检查图案330的左竖直边和下水平边上。然而，参照图案400可形成在检查图案330的右竖直边上或者其左竖直边和右竖直边两者上，并可形成在其上水平边或者其上水平边和下水平边两者上。即，在检查图案330中，参照图案400的其上表示有刻度的位置不限于实施例。在根据本示例性实施例的检查图案330中，能够通过读取每个滤色器600叠置的刻度来容易地测量多个滤色器r1、r2、g1、g2、b1和b2的重叠和线宽偏差。当滤色器600彼此叠置时，能够通过读取叠置部分来容易地测量宽度、高度等。图13和图14的示例性实施例不仅可以应用于根据图2的示例性实施例的检查图案300，而且也可应用于根据图6的示例性实施例的检查图案310。为了测量图案是否错位，被称作测试元件组(teg)的图案形成在其上形成有元件的基底的特定部位上或者形成在单独的空白区域中，并且对其上形成有真实元件的基底执行加工，然后通过测量teg来评价相应的工艺和元件的特性。然而，使用传统的teg图案不能够准确地测量作为用于实现显示部110的真实像素的区域的有效区域的滤色器600的图案的叠置。当红色滤色器、绿色滤色器和蓝色滤色器在有效区域内排成一行时，它们的图案彼此叠置，因此叠置部分显示为深色或黑色，使得难以区分它们，并且在检查过程中难以测量图案是否错位。因此，不容易在滤色器之间的叠置部分中更正图案的重叠和线宽偏差，因此难以改善位于拍摄边界部bd处的缝合缺陷。因此，在检查图案300、310、320和330中，滤色器600的图案在纵向方向上的不同位置处在具有叠置部分(即，第一长度h>第二长度l)的情况下布置成两行布置。参照图案400形成在滤色器600的图案的相对侧上或者沿检查图案330的边形成。通过测量位于滤色器600的左侧和右侧与设置在滤色器600的相对侧处的参照图案400的左侧和右侧之间的第一间距d1至第十二间距d12或者通过用刻度测量由每个图案占据的部分或叠置部分，能够容易地获得滤色器600的重叠和线宽的偏差值。由于可通过测量的偏差值容易地更正图案对齐的偏差，因此可防止缝合缺陷。由于检查图案300、310、320和330设置在显示面板100的不是显示面板100的显示部110的外围部200内，因此能够防止包括显示图像的像素的有效区域受到损害。外围部200可以是数据布线连接到的数据扇出部。即，检查图案300、310、320和330可与设置有从驱动集成芯片(ic)连接到数据线的布线的数据扇出部相邻设置。另外，由于检查图案300、310、320和330设置在存在于至少一个外围部200中的拍摄边界部bd处，因此能够防止在显示面板100上观察到发生在拍摄边界部bd处的缝合缺陷。虽然已经结合当前被认为是实际的示例性实施例的内容描述了发明构思，但是将理解的是发明构思不局限于公开的实施例，而是相反地旨在覆盖包括在权利要求的精神和范围内的各种修改和等同布置。<符号描述>10：母基底100：显示面板110：显示部200：外围部300、310、320、330：检查图案400：参照图案600：滤色器510：下基底520：栅极绝缘层530：数据布线540：钝化层550：像素电极560：共电极570：上基底580：有机绝缘层700：光阻挡层当前第1页1 2 3