一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置的制作方法

文档序号:19212924发布日期:2019-11-26 01:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:

包括方形结构硅片,在所述方形结构硅片的表面上沿硅片长边的方向顺序排列刻蚀以硅片中心线为对称轴的八排圆形空气孔,

每排圆形空气孔均以三角晶格排列,各空气孔之间的间距为三角晶格常数a;

在硅片的对称轴上设有一排未刻蚀的圆形空气孔,该排圆形空气孔形成线缺陷,线缺陷宽度为w=1.9a;

临近线缺陷的两排圆形空气孔半径r=0.4a,其余六排圆形空气孔半径rout=0.47a;

在圆形空气孔圆心处填充各向异性材料形成圆形介质柱,所述圆形介质柱的半径为rin=0.33a。

2.根据权利要求1所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:所述各向异性材料为碲。

3.根据权利要求1所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:所述晶格常数a=394nm,圆形空气孔半径rout=0.47a=185.2nm,圆形介质柱半径rin=0.33a=130nm。

4.根据权利要求3所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:临近波导两排圆形空气孔半径r=0.4a=157.6nm,线缺陷宽度w=1.9a=748.6nm。

5.根据权利要求1所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:所述晶格常数a=76.4μm,圆形空气孔半径rout=0.47a=35.9μm,圆形介质柱半径rin=0.33a=25.2μm。

6.根据权利要求5所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:临近波导两排圆形空气孔半径r=0.4a=30.6μm,线缺陷宽度w=1.9a=145.2μm。

7.根据权利要求1所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:所述晶格常数a=ω×λ,其中,ω为慢光工作频带的中心频率,λ为慢光工作中心波长。

8.根据权利要求1所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:评价慢光的群速度色散特性,用二阶色散系数来表示,由公式(2)求得:

在光子晶体慢光波导中,引入归一化延迟带宽积:normalizeddelaybandwidthproduct(ndbp),其计算方法为:

其中为在带宽δω范围内的平均群折射率,其计算公式为:

9.根据权利要求8所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:由平面波展开法计算得,在1515nm~1582nm波长内,te偏振与tm偏振的入射光信号在波导内传播时,都将获得约为10的群折射率,带内群速度色散系数为β2<104(ps2/km),归一化延迟带宽积为te:ndbp=0.354;tm:ndbp=0.346,波导具有良好的延迟慢光性能。

10.根据权利要求8所述的一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,其特征在于:由平面波展开法计算得,在293.8μm~306.8μm波长,即1thz频率附近内,te偏振与tm偏振的入射光信号在波导内传播时,都将获得约为10的群折射率,带内群速度色散系数为β2<104(ps2/km),归一化延迟带宽积为te:ndbp=0.354;tm:ndbp=0.346,波导具有良好的延迟慢光性能。


技术总结
本发明揭示了一种基于二维光子晶体的偏振无关慢光波导装置,该装置包括方形结构硅片,在方形结构硅片的表面上沿硅片长边的方向顺序排列刻蚀以硅片中心线为对称轴的八排圆形空气孔,每排圆形空气孔均以三角晶格排列,各空气孔之间的间距为三角晶格常数a;在硅片的对称轴上设有一排未刻蚀的圆形空气孔,形成线缺陷;临近线缺陷的两排空气孔圆孔半径R=0.4a;在圆形空气孔圆心处填充各向异性材料形成圆形介质柱。本发明首次将各向异性材料引入二维环形光子晶体中,研究了这种新型线缺陷波导的偏振无关慢光特性,通过调节结构参数,对横电模和横磁模都实现了较大归一化延迟带宽积的慢光,对拓宽慢光在光缓存、光存储、光传感领域的应用具有重要作用。

技术研发人员:武红;林安琪;周文雅;丁培锦
受保护的技术使用者:南京邮电大学
技术研发日:2019.08.19
技术公布日:2019.11.22
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