1.基于超结构浮雕光栅的ar眼镜波导,该ar眼镜波导由基于超结构浮雕光栅通过金属模板压膜而成,其特征在于:
所述的超结构浮雕光栅包括基板和涂覆在基板上的聚合物,所述的聚合物上形成有多个由垂直激光刻蚀而成的周期性单元,每个周期性单元中包括多个小周期结构,每个小周期结构中未刻蚀区域宽度为a,刻蚀区域宽度为b,刻蚀区域的深度为hi;其中hi先线性增加,后保持一个常数。
2.根据权利要求1所述的基于超结构浮雕光栅的ar眼镜波导,其特征在于:未刻蚀区域宽度a的数值范围10-50nm,刻蚀区域宽度b的数值范围10-50nm,刻蚀区域的深度hi数值范围10-1000nm。
3.根据权利要求1或2所述的基于超结构浮雕光栅的ar眼镜波导,其特征在于:在半个周期性单元内,小周期结构刻蚀区域的深度线性增加;在另外半个周期性单元内,小周期结构刻蚀区域的深度维持不变。