技术总结
本实用新型涉及一种基于超结构浮雕光栅的AR眼镜波导。该AR眼镜波导由基于超结构浮雕光栅通过金属模板压膜而成，所述的超结构浮雕光栅包括基板和涂覆在基板上的聚合物，所述的聚合物上形成有多个由垂直激光刻蚀而成的周期性单元，每个周期性单元中包括多个小周期结构，每个小周期结构中未刻蚀区域宽度为a，刻蚀区域宽度为b，刻蚀区域的深度为Hi；其中Hi先线性增加，后保持一个常数。本实用新型通过引入小周期结构，采用半个大周期单元内，小周期结构刻蚀深度线性增加，另外半个大周期单元内，小周期结构内刻蚀深度维持不变。所有刻蚀采用垂直刻蚀，没有斜角度刻蚀，避免了斜角度刻蚀的工艺难度，便于大批量生产，也减少成本等优点。
技术研发人员：魏一振;杨培培;张卓鹏;陈达如
受保护的技术使用者：杭州光粒科技有限公司
技术研发日：2019.06.17
技术公布日：2019.12.13