一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法与流程

文档序号:20915137发布日期:2020-05-29 13:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,包括两个环节:第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋条形离子掺杂区(8);第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散。这种方法的特征在于:将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区(8)的玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散,利用玻璃基片(1)内沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向的温度梯度,使玻璃基片(1)中沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度,增大玻璃基片(1)表面的掩埋条形离子掺杂区(8)在贴近热板(5)一端的横截面尺寸,将掩埋条形离子掺杂区(8)变成掩埋锥形离子掺杂区(9)。

2.根据权利要求1所述的一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,其特征在于:所述的玻璃基片(1)材料为硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、磷酸盐玻璃或硼酸盐玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,其特征在于:所述的条形离子掺杂区(4)中的掺杂离子为ag+,cs+或tl+

4.根据权利要求1所述的一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,其特征在于:所述的热板(5)为水平放置的表面平整的金属板。


技术总结
本发明公开了一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,包括两个环节:第一个环节用离子交换法在玻璃基片的表面制作掩埋条形离子掺杂区;第二个环节是将玻璃基片竖直放置在水平热板上进行梯度温度离子扩散。将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区的玻璃基片竖直放置在水平热板上进行梯度温度离子扩散,利用玻璃基片内沿掩埋条形离子掺杂区长度方向的温度梯度,使玻璃基片中沿掩埋条形离子掺杂区长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度,将掩埋条形离子掺杂区变成掩埋锥形离子掺杂区。这种掩埋锥形离子掺杂区的横截面的尺寸在两个轴向上的一致性得到改善,因而模斑转换器与光纤芯部横截面的形状与尺寸的匹配程度改善,器件插入损耗降低。

技术研发人员:郝寅雷;蒋建光;牛梦华;邓鑫宸;车录锋;周柯江
受保护的技术使用者:浙江大学深圳研究院
技术研发日:2020.02.08
技术公布日:2020.05.29
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