1.一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,包括两个环节:第一个环节用离子交换法在玻璃基片(1)的表面制作掩埋条形离子掺杂区(8);第二个环节是将玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散。这种方法的特征在于:将表面以下制作有掩埋条形离子掺杂区(8)的玻璃基片(1)竖直放置在水平热板(5)上进行梯度温度离子扩散,利用玻璃基片(1)内沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向的温度梯度,使玻璃基片(1)中沿掩埋条形离子掺杂区(8)长度方向产生掺杂离子扩散速率的梯度,增大玻璃基片(1)表面的掩埋条形离子掺杂区(8)在贴近热板(5)一端的横截面尺寸,将掩埋条形离子掺杂区(8)变成掩埋锥形离子掺杂区(9)。
2.根据权利要求1所述的一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,其特征在于:所述的玻璃基片(1)材料为硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、磷酸盐玻璃或硼酸盐玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,其特征在于:所述的条形离子掺杂区(4)中的掺杂离子为ag+,cs+或tl+。
4.根据权利要求1所述的一种离子交换玻璃基掩埋波导模斑转换器的制作方法,其特征在于:所述的热板(5)为水平放置的表面平整的金属板。