一种时分复用曝光光源的制作方法

本发明涉及紫外曝光光源技术领域，具体为一种时分复用曝光光源。

背景技术：

紫外曝光技术在半导体、集成电路板、液晶基板等产品的生产制造领域有着广泛的应用，随着曝光工艺的精细化，对曝光工件的精度提出了更高的要求。

曝光能量是光照强度和曝光时间的乘积，其数值大小直接影响着光刻胶表面获取的曝光能量，进而影响产品的关键尺寸(criticaldimension)的精准性。当光源在台面的光照强度不足时，一般通过增加曝光时间才能保证代加工件的足够曝光量，这样带来的影响是生产效率不高，且会增加用于光源散热的成本。

通过增加台面的光照强度可以提高曝光能量。传统的方式是增加同一出光面的光源的数量，这样会带来光源体积的增加以及光展量的增大，而且并未解决有限光展量曝光的能量提高，同时带来了光源大功率输出时的散热问题。而多光源通过合光器件共轴传输会增加系统的复杂性和调节难度。

数字微反射镜(简称dmd)是一种由大量微小反射镜组成的微镜阵列，通过数字电压信号控制微镜片可以进行固定角度的偏转，从而实现入射光的空间调制，利用数字微反射镜作为空间光调制器的扫描式曝光的工作原理：紫外光经照明系统入射到数字微反射镜表面，调制后的光经过投影镜头把图像成在涂有光刻胶的基底上，数字微反射镜改变形状，基底做步进扫描运动，可以得到完整的曝光图案。当光源输出连续光时，数字微反射镜在不同调制图形的切换过程中，微反射镜偏转需要一定的切换时间(以ti的dlp9500uv型dmd为例，微反射镜完成一次偏转的时间典型值为13us)，会导致曝光台面在微反射镜短暂的偏转过程中出现图案的偏移、模糊，即“拖影”现象，影响曝光的质量，发明专利cn109960113a中提出一种利用同步脉冲信号控制激光器的发射和数字微反射镜上微镜的翻转动作相匹配，从而获得清晰、瑞利的曝光图形，但激光器在大功率脉冲模式工作时会产生热量堆积，反过来又会影响光源的出光效率，文中对这个问题并未提出解决方案。

已知的专利中，为了提高出射光的曝光量，同时减小光源的散热压力，可以使用多个发光元件依次进行脉冲点灯的方法，通过射出脉冲光的方法与使发光元件连续点灯的方法相比获得的光量增高，专利cn101680617b-照明用光源装置和cn101523111a-光源装置中设置有圆环状排列且向着圆环中心射出光的发光器件，以及以该圆环的中心轴线为中心进行旋转。发光元件为脉冲工作的led光源，并利用导光元件将发光元件发出的光引导到后方光学系统中。当这种结构应用到数字微反射镜直写曝光系统中用于解决数字微反射镜翻转过程产生的“拖影”时，由于导光部件整体固定在旋转基座上，如何驱动导光部件旋转以满足相邻光源偏转间隔与数字微反射镜上微反射镜翻转一次所用时间的有效匹配是需要解决的问题。特别是当光源体积增大伴随的导光器件体积增大，使得匹配难度增加。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种时分复用曝光光源，结构简单，可以有效消除曝光台面的“拖影”现象，提高曝光质量，同时，工作在脉冲模式的光源可以通过控制占空比获得较大的脉冲能量输出，多光源按时间先后依次曝光，进一步降低了曝光光源的占空比，有利于光源的过载保护和有效散热，可以获得稳定的光功率输出，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块、准直透镜组、转向棱镜组、数字微反射镜、投影镜头和曝光台面，所述脉冲光线出射组件、匀光模块、准直透镜组和转向棱镜组从左到右依次排布，所述数字微反射镜位于转向棱镜组的上方，所述匀光模块、准直透镜组和转向棱镜组中心位于同一条直线上，所述投影镜头位于转向棱镜组的正下方，所述曝光台面位于投影镜头的正下方。

进一步的，所述脉冲光线出射组件包括旋转反射镜一，所述旋转反射镜一的外侧均匀设有紫外光源，围绕旋转反射镜中心轴成圆环状排列，旋转反射镜一的左侧中心通过旋转中心轴与外部步进电机连接，所述旋转反射镜一的右侧设有聚光透镜组，紫外光源使用的是led阵列光源，以脉冲方式工作，可以是单个波长，也可以是多个波长的组合，通过外部步进电机带动旋转反射镜一转动，多个紫外光源发出的紫外光按时间先后照射到旋转反射镜一上并出射时序的脉冲紫外光，之后通过聚光透镜组的对光线进行汇聚。

进一步的，所述的旋转反射镜可以是固定好的带一定角度的平面反射镜，也可以是具有一定角度的反射棱镜，所述的步进电机通过同步控制电路可以控制旋转反射镜的转动步长和每个步长的作用时间。所述聚光透镜组为凸透镜，所述的匀光模块为实心石英棒或内表面镀高反膜的中空石英罩，上述聚光透镜组和匀光模块的组合也可以用双排复眼透镜或棒状透镜阵列来代替，以实现较好的匀光效果。

进一步的，所述脉冲光线出射组件设置有旋转反射镜二，旋转反射镜二的左侧中心通过旋转中心轴与外部步进电机连接，所述旋转反射镜二的外侧均匀设有激光光源模块，所述旋转反射镜二的右侧设有透镜组一，通过多个激光光源模块使得出射的紫外光具有较好的均匀度，再通过旋转反射镜二反射，按时间先后依次出射均匀的脉冲紫外光，激光光源具有体积小、功率大、光束集中的优点，在获得较大的能量输出的同时可以增加圆周排列的光源的数量，可以在转速不变的情况下减小相邻光源的转换间隔时间。

进一步的，所述激光光源模块包括激光光源一，所述激光光源一的光源一侧设有锥形光棒一，锥形光棒一远离与激光光源连接的一端设有方形光棒一，锥形方棒和方形光棒组成复合匀光器，激光光源一为单个芯片封装或多个芯片阵列封装，激光光源一出光端面与复合匀光器紧密胶合，通过锥形光棒一和方形光棒一可以对激光光源一出射的光线进行整合匀光。

进一步的，所述脉冲光线出射组件包括方形光棒二，所述方形光棒二的左端均匀设有阵列排布的多个锥形光棒二，所述锥形光棒二左侧设有一一对应的旋转反射镜三，所述旋转反射镜三的外侧均匀设有圆周排列的激光光源二，方形光棒二的右侧设有透镜组二，旋转反射镜三的左端中心通过旋转中心轴与外部步进电机连接，通过多组激光光源二出射光源到对应的旋转反射镜三上，通过旋转反射镜三将光线反射到锥形光棒二和方形光棒二上，通过锥形光棒二和方形光棒二对光线处理。

进一步的，所述脉冲光线出射组件包括双面旋转反射镜，所述双面旋转反射镜的外侧均匀设有紫外光源二，双面旋转反射镜的左端中心通过旋转中心轴与外部步进电机连接，通过紫外光源二发出光线，通过双面旋转反射镜可以进行双面反射，以此进行脉冲工作。

进一步的，脉冲光线出射组件包括两个二向色镜，所述二向色镜呈45度角放置，两个二向色镜的上方均设有两个对应的组合光源模块，组合光源模块包括旋转反射镜和围绕旋转中心轴的多个紫外光源，左侧的二向色镜的左侧设有一个组合光源模块，由三个组合光源模块通过电控模块选择性输出单波长或多波长组合的紫外光，可以适用对不同波长或复合波长敏感的光刻胶的适用范围，提高曝光机对不同产品的适用性。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本时分复用曝光光源，具有以下好处：

1、本发明上设置了紫外光源，以脉冲方式工作，通过同步控制电路来控制脉冲光线出射组件上相邻紫外光源出射光的脉冲间隔同数字微反射镜工作状态切换的脉冲间隔相匹配，可以有效消除曝光台面的“拖影”现象，提高曝光质量。

2、本发明可以通过控制脉冲出射光的占空比获得较大的脉冲能量输出，进一步的，多个光源按先后依次出射紫外光，进一步降低曝光光源的占空比，有利于光源的过载保护和有效散热，可以获得稳定的光功率输出。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明实施例一结构示意图；

图3为本发明实施例一led阵列光源结构示意图；

图4为本发明实施例一聚光透镜组和匀光模块组合的替代方案；

图5为本发明脉冲时序示意图；

图6为本发明组合光源出射紫外光和数字微反射镜的控制模块的脉冲时序示意图；

图7为本发明实施例二结构示意图；

图8为本发明实施例三结构示意图；

图9为本发明实施例三侧面结构示意图；

图10为本发明实施例四结构示意图；

图11为本发明实施例四光路结构示意图；

图12为本发明实施例五结构示意图。

图中：1匀光模块、2准直透镜组、3转向棱镜组、4数字微反射镜、5投影镜头、6曝光台面、7聚光透镜组、8透镜组二、9旋转反射镜一、10紫外光源、11二向色镜、12组合光源模块、13旋转反射镜二、14激光光源模块、15激光光源一、16锥形光棒一、17方形光棒一、18方形光棒二、19锥形光棒二、20旋转反射镜三、21激光光源二、22双面旋转反射镜、23紫外光源二、24透镜组一。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-12，本发明提供一种技术方案：一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2、转向棱镜组3、数字微反射镜4、投影镜头5和曝光台面6，脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3从左到右依次排布，数字微反射镜4位于转向棱镜组3的上方，数字微反射镜4作为一种空间光调制器可以实现曝光图形的调制，并通过电控模块实现不同曝光图形的切换，数字微反射镜4相当于一个半导体开关，在一块cmos硅基片上阵列排布50-130万个微镜片，每片微镜片代表一个像素，尺寸小到10.8um×10.8um(以ti的dlp9500uv型dmd为例)，通过cmos-ram的数字驱动信号以二进制寻址方式实现每个微镜片的偏转，每个微镜片偏转时间可以达到20us以下，从而实现“开”和“关”状态的转换控制，同时通过脉冲宽度调节可以控制每个微镜片的工作时间；匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3中心位于同一条直线上，投影镜头5位于转向棱镜组3的正下方，曝光台面6位于投影镜头5的正下方，投影镜头5用以实现对调制后的紫外光调焦、准直等操作，并将高质量出射的平行紫外光投射到曝光台面6上，通过匀光模块1和准直透镜组2可以对发出的光线进行处理，且通过转向棱镜组3和数字微反射镜4可以对光线进行转向和调制，调制后的光线透过投影镜头5显示到曝光台面6上。

实施例一、请参阅图2-6

一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2、转向棱镜组3、数字微反射镜4、投影镜头5、和曝光台面6，脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3从左到右依次排布，匀光模块1为可以为实心石英棒，也可以为内表面镀高反膜的中空石英罩；数字微反射镜4位于转向棱镜组3的上方，匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3中心位于同一条直线上，投影镜头5位于转向棱镜组3的正下方，曝光台面6位于投影镜头5的正下方，脉冲光线出射组件包括旋转反射镜一9，旋转反射镜一9的外侧均匀设有紫外光源10，旋转反射镜一9的左侧中心通过旋转中心轴与外部步进电机连接，旋转反射镜一9的左侧设有聚光透镜组7，紫外光源10使用的是led阵列光源，多个紫外光源10可以工作在同一波长，也可以工作在不同波长，单个紫外光源,1包括发光芯片、准直透镜，还可以包括复合匀光器等光学元件，单个光源的各元器件一体化封装，并设有外壳,多个紫外光源10呈圆环状排列，出射光方向为指向圆心的半径方向，紫外光源10设置在脉冲工作状态，绕旋转中心轴圆周排布的每个紫外光源工作模式一致，即具有相同的有效工作时间和脉冲间隔，通过紫外光源10以脉冲方式工作，可以是单个波长，也可以是多个波长的组合，发出的紫外光照射到旋转反射镜一9上，通过外部步进电机带动旋转反射镜一9转动，使得发出的紫外光反射到聚光透镜组7上，通过聚光透镜组7用以对入射的紫外光进行准直，并将出射光以合适的角度和光斑大小进入匀光模块1中，通过匀光模块1和准直透镜组2可以对发出的光线进行处理，且通过转向棱镜组3和数字微反射镜4可以对光线进行转向和调制，调制后的光线透过投影镜头5显示到曝光台面6上，聚光透镜组7和匀光模块1的组合也可以用双排复眼透镜或者棒状透镜阵列来代替，如图4所示，以实现更好的匀光效果。

为了有效消除背景介绍中数字微反射镜在切换过程中台面的“拖影”现象，当数字微反射镜上的微反射镜在偏转的过程中，可以通过截断紫外光入射来实现，采用脉冲光源发出时序的紫外光是优选的方案。

本发明提出的紫外光源10设置在脉冲工作状态，绕旋转反射镜的中心轴圆周排布的每个紫外光源工作模式一致，即具有相同的有效工作时间和脉冲间隔。多个紫外光源10按时间先后依次通过旋转反射镜一9出射紫外光。在旋转反射镜一9转动一周所用的时间间隔内，经旋转反射镜一9出射的紫外光为多个光源出射光累积的组合光。如图5所示，上面为多个紫外光源10构成的组合光源出射紫外光的时序图，下面为数字微反射镜控制模块的脉冲时序图，电平状态“1”代表微反射镜工作在“开”状态，电平状态“0”代表微反射镜工作在“关”状态。多个紫外光源10和数字微反射镜模块4通过同步控制信号同步开关动作。当上一个led阵列光源有效工作时间t结束时，同步控制电路给步进电机发出转动信号，使旋转反射镜一9旋转到与下一个光源相对应的位置，步长时间等于相邻两个脉冲光的脉冲间隔，设为t1；同时同步控制电路给数字微反射镜模块发送偏转信号，使得微反射镜由“开”或“关”的状态改为相反的“关”或“开”状态，设微反射镜偏转时间为t2；t3为时分复用曝光光源上单个led阵列光源出射的紫外光到达数字微反射镜4上所用的时间；当t1＝t2时，下一个led阵列光源发出的脉冲光到达数字微反射镜时，数字微反射镜上需要调整状态的微反射镜单元正好完成一次偏转，从而实现多个紫外光源和数字微反射镜模块的时间动作匹配。以ti的dlp9500uv型dmd为例，微反射镜完成一次偏转的时间典型值为13us，则对应旋转反射镜一9的时间步长t2也是13us，相应的转动频率为1/(8×13us)≈9.615khz(以8个紫外光源圆周排列为例)。

具体的，为了进一步提高单次输出脉冲光的能量，并减轻光源的散热压力，本发明设计的单个led阵列光源只在出光面与旋转反射镜一9反射端面相对时才出射紫外光，单光源出射光功率的脉冲时序图如图6所示。单个led阵列光源有效工作时间为t，前后两次出光的脉冲间隔t4等于旋转反射镜一9转一圈所用的时间。相邻两个led阵列光源的工作脉冲间隔t1等于旋转反射镜一9的步进时间步长。多个led阵列光源10先后经过旋转反射镜一9后输出光为多个led阵列光源10按时间先后的组合光，其脉冲时序图如图6所示。

旋转反射镜一9在每一个步长间隔的位置所停留的时间决定了紫外光源10的最大电流注入工作时间；所停留的时间长短可以根据led的驱动情况灵活可调，确保在单位时间内实现最大功率输出，从而提高led光源的总体曝光能量；同时为了实现高的脉冲时间填充因子，需要缩短脉冲间隔也就是缩短步进电机的时间步长，从而也提高了最终的总体曝光能量。

假设单个紫外光源10恒流工作时的功率为ph，电流为ih，正向工作电压为vh，则有ph＝ih×vh；脉冲工作时功率为pm，电流为im，脉冲工作时间占空比为d，考虑led正向工作电压随工作电流变化不大，则有pm＝im×vm×d，vm＝vh。当这两种工作模式下的电功率相同时，即ph＝pm时，ih×vh＝im×vh×d，则有im＝ih/d，随脉冲工作时间占空比d减小，led瞬时驱动电流相比恒流驱动的方式有所提高，而瞬时驱动电流的增大会导致led激发的瞬时光强增加；假设单个led阵列光源总的输入电压为30v，输入电流为1a，led芯片的电光转换效率为30％，有效工作时间为1s，1s内恒流工作时输出的平均光功率为30v×1a×30％＝9w；脉冲电流驱动工作时，设置脉冲占空比为0.5，有效工作时间为0.5s，脉冲电流峰值为2a，则1s内平均光功率仍然为9w，但0.5s内led输出的瞬时光功率为30v×2a×30％＝18w，在不考虑pn结结温升高对led光功率的影响下，单位时间的光功率提升了1倍，如若进一步减小脉冲占空比，单位时间的光功率会进一步提升。

但led在电流过大时，pn结的结温会升高，特别是当超过led额定电流大小时，led的绝对发光效率会降低，进而导致光通量减小，同一截面上照度也随之减小。本发明通过提高单个光源的电流截止时间，即降低led芯片的脉冲占空比，压缩led光源的有效工作时间，使led芯片温度有效地降低，可以有效减小led光通量和单位面积的照度受结温升高的影响。

通过多个紫外光源10发射的脉冲光的组合，并减小相邻光源的脉冲间隔可以获得高的脉冲时间填充，可以在多个紫外光源101按时间先后都扫描一次的时间段内，实现多个增强的瞬时光强的连续叠加，最终获得准连续的平均能量高的紫外光输出pout，pout＝n×pm×t(n为led光源的数量，受单个led光源最大瞬时输出光强和相邻光源的脉冲间隔影响)；

采用上述方法，紫外光源10以脉冲方式工作且具有较长的脉冲间隔，降低了紫外光源10出射脉冲光的占空比，当电功率一定时，采用脉冲光输出方式相比连续恒定光输出方式能够获得较大的紫外光能量输出，同时单个紫外光源10的占空比降低，led实际流过的电流时间短，发热量也会显著减少，保证光源稳定的高能量输出，延长了光源的使用寿命。

实施例二、请参阅图7

一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2、转向棱镜组3、数字微反射镜4、投影镜头5和曝光台面6，脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3从左到右依次排布，数字微反射镜4位于转向棱镜组3的上方，匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3中心位于同一条直线上，投影镜头5位于转向棱镜组3的正下方，曝光台面6位于投影镜头5的正下方，通过脉冲光线出射组件可以发出脉冲光线，通过匀光模块1和准直透镜组2可以对发出的光线进行处理，且通过转向棱镜组3和数字微反射镜4可以对光线进行转向和调制，调制后的光线透过投影镜头5显示到曝光台面6上，脉冲光线出射组件设置有旋转反射镜二13，旋转反射镜二13的左侧中心通过旋转中心轴与外部步进电机连接，旋转反射镜二13的外侧均匀设有激光光源模块14，旋转反射镜二13的右侧设有透镜组一24，通过多个激光光源模块14使得出射的紫外光具有较好的均匀度，再通过旋转反射镜二13反射，按时间先后依次出射均匀的脉冲紫外光，激光光源具有体积小、功率大、光束集中的优点，在获得较大的能量输出的同时可以增加圆周排列的光源的数量，可以在转速不变的情况下减小相邻光源的转换间隔时间，激光光源模块14包括激光光源一15，激光光源一15的光源一侧设有锥形光棒一16，锥形光棒一16远离与激光光15源连接的一端设有方形光棒一17，锥形光棒和方向光棒组成复合匀光器，激光光源一15为单个芯片封装或多个芯片阵列封装，激光光源一15出光端面与复合匀光器紧密胶合，通过锥形光棒一16和方形光棒一17可以对激光光源一15出设的光线进行整合匀光。

实施例三、请参阅图8-9

一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2、转向棱镜组3、数字微反射镜4、投影镜头5和曝光台面6，脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3从左到右依次排布，数字微反射镜4位于转向棱镜组3的上方，匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3中心位于同一条直线上，投影镜头5位于转向棱镜组3的正下方，曝光台面6位于投影镜头5的正下方，通过脉冲光线出射组件可以发出脉冲光线，通过匀光模块1和准直透镜组2可以对发出的光线进行处理，且通过转向棱镜组3和数字微反射镜4可以对光线进行转向和调制，调制后的光线透过投影镜头5显示到曝光台面6上，脉冲光线出射组件包括方形光棒二18，方形光棒二18的左端均匀设有阵列排布的多个锥形光棒二19，锥形光棒二19左侧设有一一对应的旋转反射镜三20，旋转反射镜三20的外侧均匀设有圆周排列的激光光源二21，方形光棒二18的右侧设有透镜组二8，旋转反射镜三20的左端中心通过旋转中心轴与外部步进电机连接，通过多组激光光源二21出射光源到对应的旋转反射镜三20上，通过旋转反射镜三20将光线反射到锥形光棒二19和方形光棒二18上，通过锥形光棒二19和方形光棒二18对光线处理。

本实施例提出的脉冲光线出射组件在保证体积不明显增加的情况下可以增加光源排布的数量，且在单个时刻，同时有多个光源通过其对应的旋转反射镜三20出射紫外光，进一步提高曝光台面接收紫外光的能量。

实施例四、请参阅图10-11

一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2、转向棱镜组3、数字微反射镜4、投影镜头5和曝光台面6，脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3从左到右依次排布，数字微反射镜4位于转向棱镜组3的上方，匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3中心位于同一条直线上，投影镜头5位于转向棱镜组3的正下方，曝光台面6位于投影镜头5的正下方，通过脉冲光线出射组件可以发出脉冲光线，通过匀光模块1和准直透镜组2可以对发出的光线进行处理，且通过转向棱镜组3和数字微反射镜4可以对光线进行转向和调制，调制后的光线透过投影镜头5显示到曝光台面6上，脉冲光线出射组件包括双面旋转反射镜22，双面旋转反射镜22的外侧均匀设有紫外光源二23，双面旋转反射镜22的左端中心通过旋转中心轴与外部步进电机连接，通过紫外光源二23发出光线，通过双面旋转反射镜22可以进行双面反射，以此进行脉冲工作。

实施例五、请参阅图12

一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2、转向棱镜组3、数字微反射镜4、投影镜头5、和曝光台面6，脉冲光线出射组件、匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3从左到右依次排布，数字微反射镜4位于转向棱镜组3的上方，匀光模块1、准直透镜组2和转向棱镜组3中心位于同一条直线上，投影镜头5位于转向棱镜组3的正下方，曝光台面6位于投影镜头5的正下方，通过脉冲光线出射组件可以发出脉冲光线，通过匀光模块1和准直透镜组2可以对发出的光线进行处理，且通过转向棱镜组3和数字微反射镜4可以对光线进行转向和调制，调制后的光线透过投影镜头5显示到曝光台面6上，脉冲光线出射组件包括两个二向色镜11，二向色镜11呈45度角放置，两个二向色镜11的上方均设有两个对应的组合光源模块12，组合光源模块12包括旋转反射镜和围绕旋转中心轴的多个紫外光源，左侧的二向色镜11的左侧设有一个组合光源模块12，由三个不组合光源模块12通过电控模块选择性输出单波长或多波长组合的紫外光，可以适用对不同波长或复合波长敏感的光刻胶的适用范围，提高曝光机对不同产品的适用性。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。