一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统的制作方法

文档序号:23068172发布日期:2020-11-25 17:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,包括:沿着光线入射方向依次设有三片球面镜和两片微透镜,球面镜分别包括第一球面镜、第二球面镜和第三球面镜,第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接,第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距,微透镜包括第一微透镜和第二微透镜,第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的y轴方向均设有球面阵列结构。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,第一球面镜的入光面和出光面的曲率半径为27.92±0.01mm,第二球面镜的入光面的曲率半径为136.02±0.01mm,第二球面镜的出光面的曲率半径为28.348±0.01mm,第三球面镜的入光面的曲率半径为81.8±0.01mm,第三球面镜的出光面的曲率半径为59.7±0.01mm。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,光源到第一球面镜的入光面中心的间距为32.29±0.1mm,第二球面镜的出光面中心与第三球面镜的入光面中心之间的间距为4.62±0.1mm,第三球面镜的出光面中心与第一微透镜中心之间的间距为12.32±0.1mm。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,第一球面镜的中心厚度为8±0.1mm,边缘厚度为7.5±0.1mm,第二球面镜的中心厚度为5±0.1mm,边缘厚度为2.6±0.1mm,第三球面镜的中心厚度为8±0.1,边缘厚度为5.7±0.1mm。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,第一球面镜、第二球面镜和第三球面镜的轴向长度为180~200mm。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,第一微透镜的入光面为平面结构,出光面的y轴方向为球面阵列结构,第二微透镜的入光面的y轴方向为球面阵列结构,出光面为平面结构;所述阵列球面的曲率半径为1.1±0.01mm。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,第一微透镜的中心与第二微透镜的中心之间间距为6.23±0.1mm。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,第一微透镜和第二微透镜的中心厚度为2±0.1mm,高度为25±1mm,轴向长度为180~200mm,第一微透镜的轴向与光线入射方向垂直。

9.根据权利要求1所述的太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,其特征在于,光线光源由半导体多模激光器发出,发散角na=0.22;波长=808nm;光纤纤径=200μm,连接方式sma905。


技术总结
本发明公开了一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统,第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接,第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距,微透镜包括第一微透镜和第二微透镜,第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。通过上述方式,本发明采用三片球面镜对激光光束进行准直,再经过两片微透镜阵列在Y轴方向聚焦成线性光。三片球面镜对激光发散角进行压缩准直,微透镜阵列在Y方向对准直后的光束进行会聚,而对X方向的光束进行发散,最终在工作面上形成长度为180‑200mm,宽度为0.6‑0.8mm的线性光斑,相邻微透镜阵列之间重合光斑区域5mm,重叠光斑优化完成均匀度在90%左右。

技术研发人员:邱洪荣;金浩程
受保护的技术使用者:常州市奥普泰克光电科技有限公司
技术研发日:2020.07.24
技术公布日:2020.11.24
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