反射型衍射元件、投影膜组、光电装置及电子设备的制作方法

文档序号:24169069发布日期:2021-03-05 18:54阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种反射型衍射元件,其特征在于,包括:基底;反射层,设于所述基底上;所述反射层的远离所述基底的表面为反射面;以及若干个微结构组,设于所述反射层的反射面;相邻两个所述微结构组之间有衍射间隔;每个微结构组包括至少一个三棱柱微结构,所述三棱柱微结构的一个侧面与所述反射面贴合,另外两个侧面分别为入光面和出光面;所述三棱柱微结构的与所述反射面贴合的侧面为第一侧面,所述入光面与所述第一侧面之间的夹角和所述出光面与所述第一侧面之间的夹角均为锐角;同一所述微结构组中,相邻所述三棱柱微结构的侧棱无缝衔接;由所述入光面垂直射入的光可由所述出光面垂直射出,且由所述入光面垂直射入的光与由所述出光面垂直射出的光垂直。2.根据权利要求1所述的反射型衍射元件,其特征在于,所述入光面和所述出光面均为平面,且所述入光面和所述出光面垂直。3.根据权利要求2所述的反射型衍射元件,其特征在于,所述入光面与所述第一侧面的夹角等于所述出光面与所述第一侧面的夹角。4.根据权利要求3所述的反射型衍射元件,其特征在于,沿垂直于所述三棱柱微结构的侧棱的方向,所述三棱柱微结构的截面的腰长l=n*w/(2*(n1-n0));其中,n为整数,w为所述反射型衍射元件的工作波长,n1为三棱柱微结构材料的折射率,n0为空气的折射率。5.根据权利要求4所述的反射型衍射元件,其特征在于,沿垂直于所述三棱柱微结构的侧棱的方向,每个所述微结构的截面的腰长均相同。6.根据权利要求1-5中任一项所述的反射型衍射元件,其特征在于,所述反射层为全反射层。7.根据权利要求6所述的反射型衍射元件,其特征在于,所述反射层为铝层、金层或银层。8.一种投影膜组,其特征在于,包括激光发射器以及权利要求1至7任一项所述的反射型衍射元件。9.一种光电装置,其特征在于,包括:权利要求8所述的投影膜组,用于朝目标物体发射激光图案;以及相机模组,用以接收经目标物体反射后的激光图案。10.一种电子设备,其特征在于,包括:壳体;以及权利要求9所述的光电装置,设于所述壳体上。
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