反射型衍射元件、投影膜组、光电装置及电子设备的制作方法

文档序号:24169069发布日期:2021-03-05 18:54阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种反射型衍射元件、投影膜组、光电装置及电子设备。一种反射型衍射元件,包括:基底;反射层,设于基底上;反射层的远离基底的表面为反射面;以及若干个微结构组,设于反射层的反射面;相邻两个微结构组之间有衍射间隔;每个微结构组包括至少一个三棱柱微结构,三棱柱微结构的一个侧面与反射面贴合,另外两个侧面分别为入光面和出光面;三棱柱微结构的与反射面贴合的侧面为第一侧面,入光面与第一侧面之间的夹角和出光面与第一侧面之间的夹角均为锐角;同一所述微结构组中,相邻三棱柱微结构的侧棱无缝衔接;由入光面垂直射入的光可由出光面垂直射出,且由入光面垂直射入的光与由出光面垂直射出的光垂直。入的光与由出光面垂直射出的光垂直。入的光与由出光面垂直射出的光垂直。


技术研发人员:冯坤亮 李宗政 丁细超
受保护的技术使用者:欧菲微电子技术有限公司
技术研发日:2020.07.06
技术公布日:2021/3/8

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