一种光功率调节器及激光检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及光学设备技术领域，具体涉及一种光功率调节器及激光检测设备。


背景技术：

2.激光在现实生活中具有重要用途，尤其在半导体精密检测领域。在半导体精密检测领域，要时常精确控制激光的能量水平。但是现实精确调节激光能量的技术中，激光器发出的光束入射光功率调节器并经过调节后，部分光透射、部分光反射，为避免反射光的影响，在光功率调节器外需另设吸光装置以吸收反射光，从而使得整体结构较为复杂且占用空间较大、成本高。
3.而如何提供一种光功率调节器，能够简化整体结构、减小占用空间并降低成本，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种光功率调节器及激光检测设备，能够简化整体结构、减小占用空间并降低成本。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光功率调节器，其包括壳体以及设于所述壳体内的驱动部和调节部，所述调节部包括相位延迟件，所述驱动部用于驱动所述相位延迟件转动；所述壳体具有入光口和出光口；所述壳体内还设有吸光部件，用于吸收所述调节部的反射光。
6.激光器发射的光束能够沿壳体的入光口垂直入射至相位延迟件，出射光的偏振方向将发生改变，驱动部能够驱动相位延迟件转动，以改变偏振方向，吸光部件能够吸收调节部的反射光，即被反射的偏振光，光束经过调节部的调节作用后，透射光能够沿出光口射出，而反射光直接在壳体内被吸光部件吸收，使得该可变衰减器仅有透射光一种偏振态的光，壳体仅设有一个光出口即可，并且，该吸光部件设置在壳体内，壳体外无需另设其它部件用于吸收反射光，从而简化该光功率调节器的整体结构，使得整体结构更紧凑、减小整体体积并降低成本。
7.可选地，所述调节部还包括分光片和补偿片，所述相位延迟件、所述分光片和所述补偿片的中心高度相同并与所述入光口及所述出光口的轴线共线。
8.可选地，所述相位延迟件是半波片。
9.可选地，所述吸光部件包括设于所述壳体内的散热件，所述散热件呈凹凸状；
10.或者，所述吸光部件为光阱。
11.可选地，所述调节部的两侧分别设有所述吸光部件。
12.可选地，还包括固设于所述壳体内的第一安装座和第二安装座，所述第一安装座设有用于安装所述分光片的第一安装面，所述第一安装面与入光口的轴线之间的夹角为第一夹角；所述第二安装座设有用于安装所述补偿片的第二安装面，所述第二安装面与所述
入光口的轴线之间的夹角为第二夹角。
13.可选地，所述第一安装座设有贯穿所述第一安装面的第一通孔，所述分光片与所述第一通孔的端面固定连接；所述第二安装座设有贯穿所述第二安装面的第二通孔，所述补偿片与所述第二通孔的端面固定连接。
14.可选地，所述第一安装座和所述第二安装座为一体式结构。
15.可选地，所述驱动部包括电机、传动机构和旋转座，所述相位延迟件与所述旋转座固定，所述电机能够通过所述传动机构驱动所述旋转座转动。
16.可选地，还包括用于移动所述壳体的移动机构。
17.可选地，所述移动机构包括驱动件和导向件，所述驱动件能够驱动所述壳体沿所述导向件移动。
18.另外，本实用新型还提供了一种激光检测设备，其包括激光器以及如上所述的光功率调节器，所述激光器发射的光束能够沿所述入光口垂直入射相位延迟件。
19.具有如上所述的光功率调节器的激光检测设备，其技术效果与上述光功率调节器的技术效果类似，为节约篇幅，在此不再赘述。
附图说明
20.图1是本实用新型实施例所提供的光功率调节器的结构示意图；
21.图2是图1的俯视图；
22.图3是光功率调节器的原理图；
23.图4是第一安装座和第二安装座的结构示意图。
24.附图1
‑
4中，附图标记说明如下：
[0025]1‑
壳体，11
‑
入光口，12
‑
出光口；
[0026]
21
‑
电机，22
‑
传动机构，23
‑
旋转座，231
‑
转盘，232
‑
半波片安装座；
[0027]3‑
调节部，31
‑
半波片，32
‑
分光片，33
‑
补偿片；
[0028]
41
‑
散热件，42
‑
光阱；
[0029]5‑
第一安装座，51
‑
第一安装面，52
‑
第一通孔；
[0030]6‑
第二安装座，61
‑
第二安装面，62
‑
第二通孔；
[0031]7‑
移动机构，71
‑
驱动件，72
‑
导向件；
[0032]8‑
光束。
具体实施方式
[0033]
为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
[0034]
请参考图1
‑
4，图1是本实用新型实施例所提供的光功率调节器的结构示意图；图2是图1的俯视图；图3是光功率调节器的原理图；图4是第一安装座和第二安装座的结构示意图。
[0035]
本实用新型实施例提供了一种光功率调节器和激光检测设备，其中，激光检测设备包括激光器以及上述光功率调节器，如图1和图2所示，该光功率调节器包括壳体1以及设于壳体1内的驱动部和调节部3，其中，调节部3包括相位延迟件，驱动部用于驱动该相位延
迟件转动，具体的，壳体1设有入光口11和出光口12，壳体1内还设有吸光部件，该吸光部件用于吸收调节部3的反射光。
[0036]
详细的讲，激光器发射的光束8能够沿壳体1的入光口11垂直入射至相位延迟件，出射光的偏振方向将发生改变，驱动部能够驱动相位延迟件转动，以改变偏振方向，吸光部件能够吸收调节部3的反射光，即被反射的偏振光，光束8经过调节部3的调节作用后，透射光能够沿出光口12射出，而反射光直接在壳体1内被吸光部件吸收，使得该可变衰减器仅有透射光一种偏振态的光，壳体1仅设有一个光出口即可，并且，该吸光部件设置在壳体1内，壳体1外无需另设其它部件用于吸收反射光，从而简化该光功率调节器的整体结构，使得整体结构更紧凑、减小整体体积并降低成本。
[0037]
在上述实施例中，调节部3还包括分光片32和补偿片33，具体的，相位延迟件、分光片32和补偿片33在壳体1内依次设置，入光口11和出光口12的轴线共线，相位延迟件、分光片32和补偿片33的中心高度相同并与入光口11和出光口12的轴线共线。光束8能够沿壳体1的入光口11垂直入射至相位延迟件，出射光的偏振方向将发生改变，并再次入射至分光片32，该分光片32设有介质涂层，能够根据偏振方向来决定分光的比率，分光片32的出射光一部分被反射、一部分被透射，反射光将被吸光部件吸收，透射光的光强衰减，并且衰减后的透射光入射至补偿片33，以消除由分光片32厚度产生的径向位移(光程差)。补偿片33的厚度与分光片32的厚度相同，但具有防反射涂层，这种涂层对入射角不敏感。光强衰减比例可通过调节半波片旋转角度连续变化而不改变其他光束8参数。
[0038]
如图3所示，相位延迟件、分光片32和补偿片33的中心高度相同并与入光口11和出光口12的轴线共线，并且激光器发出的光束8沿入光口11垂直于相位延迟件的方向入射，经过衰减后的透射光将沿出光口12射出，从而使得光束8在经过调节部3衰减后，传播方向和光束8中心高度不变。
[0039]
进一步的，对于相位延迟件的具体设置并不做限制，本实施例中的相位延迟件优选为半波片31，当然，也可以设置为其它具有能够对光束进行相位延迟的部件。
[0040]
在上述实施例中，吸光部件包括设于壳体1内的散热件41，该散热件41呈凹凸状结构，反射光入射凹凸状结构后，能够在凹凸状结构的表面来回反射并衰减，如图1和图2所示，可将该散热件41设置为锯齿结构，锯齿结构的各锯齿的侧壁都是锥面结构，分光片32的反射光能够射至散热件41，并沿散热件41的侧壁在相邻两个锯齿之间来回反射并连续衰减，或者，本实施例中，如图3所示，还可以件吸光部件是设置为设于壳体1内的光阱42，分光片32的反射光将设置光阱42而被吸收。
[0041]
当然，本实施例中，吸光部件不仅仅限于上述两种，如还可以在壳体1的内壁通过设置防反射涂层或铺设防反射材质的吸光层均可，在此不做具体限制。
[0042]
在上述实施例中，调节部3的两侧分别设有吸光部件，以进一步确保对反射光的吸收效果，避免反射光沿出光口12射出。
[0043]
在上述实施例中，调节部3包括固设于壳体1内的第一安装座5和第二安装座6，其中，第一安装座5设有用于安装分光片32的第一安装面51，该第一安装面51与入光口11的轴线之间的夹角为第一夹角；第二安装座6设有用于安装补偿片33的第二安装面61，该第二安装面61与入光口11的轴线之间的夹角为第二夹角。具体的，本实施例中，将光束8以布儒斯特角入射，第一夹角设置为56.5
°
，第二夹角设置为55
°
，当然，对于第一夹角和第二夹角的
具体角度不做限制，可根据分光片32和补偿片33的具体情况进行设置。
[0044]
具体的，如图4所示，第一安装座5设有贯穿第一安装面51的第一通孔52，分光片32与该第一通孔52的端部固定，光束8能够穿过第一通孔52和分光片32，具体的，该分光片32与第一安装面51固定连接。同样的，第二安装座6设有贯穿第二安装面61的第二通孔62，补偿片33与该第二通孔62的端部固定，光束8能够穿过第二通孔62和补偿片33，具体的，该补偿片33与第二安装面61固定连接。当然，本实施例中，对于分光片32与第一安装面51之间的固定方式以及补偿片33与第二安装面61之间的固定方式均不作限制，如可通过粘接固定，还可通过压紧件压紧，如该压紧件设于通孔(可以是第一通孔52也可以是第二通孔62)的端面，并且压紧件能够转动，当将分光片32或补偿片33放置于安装面时，转动压紧件使得压紧件能够从端面抵接并压紧分光片32或补偿片33即可。
[0045]
进一步的，第一安装座5和第二安装座6为一体式结构(如图4所示)，或者，也可以将第一安装座5和第二安装座6设置为相互独立的结构，而将第一安装座5和第二安装座6设置为一体式结构时，第一安装面51和第二安装面61的相对位置关系固定，从而能够简化安装调节操作。
[0046]
在上述实施例中，驱动部包括电机21、传动机构22和旋转座23，其中，相位延迟件(半波片31)与旋转座23固定，电机21能够通过传动机构22驱动旋转座23转动，进而带动半波片31转动，以实现对偏振方向的改变。其中，传动机构22可以是通过锥齿轮组或涡轮和蜗杆的组合等实现驱动旋转座23转动。
[0047]
进一步的，旋转座23包括转盘231和半波片安装座232两部分，其中，电机21通过传动机构22驱动转盘231转动，半波片安装座232设有用于安装半波片31的安装面，具体的，转盘231和半波片安装座232可以是相互独立的两个结构并彼此固定，安装时，先将半波片31与半波片安装座232的安装面固定，然后再将半波片安装座232整体与旋转座23固定，也可以将转盘231和半波片安装座232设置为一体式结构均可，在此不做具体限制。
[0048]
在上述实施例中，光功率调节器还包括用于移动壳体1的移动机构7，具体的，激光器发出的光束8经过该光功率调节器以对激光功率进行调节，若无需对激光光束8进行调节，则可通过移动机构7移动光功率调节器，使激光光束8不再经过该光功率调节器，而当需要对激光光束8进行调节时，可再次通过移动机构7移动使得壳体1的入光口11与激光光束8对准即可，使用较为灵活。
[0049]
进一步的，移动机构7包括驱动件71和导向件72，驱动件71能够驱动壳体1沿导向件72移动。如图1和图2所示，导向件72是沿壳体1的移动路径设置，驱动件71能够驱动壳体1沿导向件72移动，保证能够稳定地移动并且位置精确。具体的，该驱动件71可以是气缸、液压缸或者电机21和丝杆的结构均可，在此不做具体限制。
[0050]
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。