一种晶圆光刻设备的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆领域，具体的是一种晶圆光刻设备。


背景技术：

2.一种晶圆光刻设备适用于加工集成电路上的晶圆，使生产出来的晶圆的精度更高效果更好更不会产生故障，但是由于现有技术的一种晶圆光刻设备在两个工作台一起加工的同时由于两个工作台都没有隔断板为单个晶圆与另外一个晶圆进行隔开使其有可能在加工的时候两边所切削出来的残渣会飞溅到另一边材料上，使残渣和成品混合在一起，从而可能导致晶圆加工出来的良品会大大减少且在加工完毕后工作台不能够将加工好的晶圆自主的放入成品箱内。


技术实现要素：

3.针对上述问题，本实用新型提供一种晶圆光刻设备。
4.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆光刻设备，其结构包括，底座、玻璃窗、工作箱、开关轴、成品箱、传感器、配电箱、系统储存处、开关按钮、控制键、显示屏，所述底座的上端设有工作箱，所述玻璃窗设于工作箱的中间位置，所述开关轴设于工作箱的左右两侧，所述成品箱设于工作箱的下方，所述传感器与系统储存处相连接，所述配电箱设于系统储存处的左侧并与之相连接并进行电力配合，所述开关按钮的下方设有控制键，所述显示屏设于控制键的下方；所述工作箱设有工作台、粘合处、控制装置、转动轮、隔断板、伸缩杆、导线，所述工作台的侧面设有粘合处，所述控制装置与工作台相连接，所述转动轮设于工作台的下端点，所述隔断板的左右两侧设有伸缩杆并进行活动配合，所述隔断板安装于伸缩杆的侧边；所述成品箱设有成品通道、海绵垫，所述成品通道的下方设有海绵垫；所述工作台设有固定轴、翻转点、锁定器，所述固定轴的下端设有翻转点并进行活动配合，所述锁定器设于固定轴的上方。
5.更进一步的，所述控制装置由外壳、固定点、主电源、伸缩控制器、伸缩杆接入点、连接轴、导电板、电线所组成，所述外壳的下方设有固定点，所述主电源通过固定点固定于外壳之上，所述伸缩控制器通过连接轴与伸缩杆接入点相连接并进行电力配合，所述导电板通过电线与主电源相连接并进行电力配合。
6.更进一步的，所述传感器通过导线与配电箱相连接并进行电力配合，所述开关按钮通过导线与配电箱相连接并进行电力配合，所述控制装置通过导线与配电箱相连接并进行电力配合，所述隔断板、伸缩杆与控制装置相连接并进行活动配合，所述转动轮通过导线与传感器相连接并进行电力配合，所述转动轮、控制装置通过导线与控制键相连接并进行电力配合。
7.更进一步的，所述导电板通过电线与配电箱相连接并进行电力配合，所述伸缩控制器通过电线与主电源相连接并进行电力配合。
8.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
9.1、本实用新型通过工作台相连接的控制装置能够将其中的伸缩杆所相连接的隔断板进行升起通过进行固定，使晶圆在放入工作台的时候，隔断板能够将四周的端点进行封闭使其在加工的过程中残渣不会飞往另一边和成品箱内，隔断板具有粘贴残渣的效果使残渣能够被隔断板进行收集。
10.2、本实用新型通过成品通道、海绵垫、粘合处、转动轮的相互配合下，使机台将晶圆加工完毕之后，工作台能够通过转动轮进行旋转脱离粘合处，将晶圆慢慢的通过成品通道倒入成品箱内，成品箱内设有海绵垫，能够有效的保护好倒入进来的晶圆成品，从而不会因为每次加工完毕后晶圆到成品箱内或多或少都会有一点损伤。
附图说明
11.图1为本实用新型一种晶圆光刻设备的结构示意图。
12.图2为本实用新型工作箱内部的结构示意图。
13.图3为本实用新型控制器的结构示意图。
14.图4为本实用新型工作台的结构示意图。
15.图中：底座
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1、玻璃窗
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2、工作箱
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3、开关轴
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4、成品箱
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5、传感器
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6、配电箱
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7、系统储存处
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8、开关按钮
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9、控制键
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10、显示屏
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11、工作台
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31、粘合处
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32、控制装置
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33、转动轮
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34、隔断板
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35、伸缩杆
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36、导线
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37、固定轴
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311、翻转点
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312、锁定器
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313、成品通道
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51、海绵垫
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52、外壳
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331、固定点
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332、主电源
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333、伸缩控制器
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334、伸缩杆接入点
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335、连接轴
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336、导电板
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337、电线
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338。
具体实施方式
16.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
18.实施例
19.如图1
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图4所示，本实用新型提供一种晶圆光刻设备，其结构包括，底座1、玻璃窗2、工作箱3、开关轴4、成品箱5、传感器6、配电箱7、系统储存处8、开关按钮9、控制键10、显示屏11，所述底座1的上端设有工作箱3，所述玻璃窗2设于工作箱3的中间位置，所述开关轴4设于工作箱3的左右两侧，所述成品箱5设于工作箱3的下方，所述传感器6与系统储存处8相连接，所述配电箱7设于系统储存处8的左侧并与之相连接并进行电力配合，所述开关按钮9的下方设有控制键10，所述显示屏 11设于控制键10的下方；所述工作箱3设有工作台31、粘合处 32、控制装置33、转动轮34、隔断板35、伸缩杆36、导线37，所述工作台31的侧面设有粘合处32，所述控制装置33与工作台 31相连接，所述转动轮34设于工作台31的下端点，所述
隔断板 35的左右两侧设有伸缩杆36并进行活动配合，所述隔断板35安装于伸缩杆36的侧边；所述成品箱5设有成品通道51、海绵垫 52，所述成品通道51的下方设有海绵垫52；所述工作台31设有固定轴311、翻转点312、锁定器313，所述固定轴311的下端设有翻转点312并进行活动配合，所述锁定器313设于固定轴311 的上方，所述控制装置33由外壳331、固定点332、主电源333、伸缩控制器334、伸缩杆接入点335、连接轴336、导电板337、电线338所组成，所述外壳331的下方设有固定点332，所述主电源333通过固定点332固定于外壳331之上，所述伸缩控制器 334通过连接轴336与伸缩杆接入点335相连接并进行电力配合，所述导电板337通过电线338与主电源333相连接并进行电力配合，所述传感器6通过导线37与配电箱7相连接并进行电力配合，所述开关按钮9通过导线37与配电箱相连接并进行电力配合，所述控制装置33通过导线37与配电箱7相连接并进行电力配合，所述隔断板35、伸缩杆36与控制装置33相连接并进行活动配合，所述转动轮34通过导线37与传感器6相连接并进行电力配合，所述转动轮34、控制装置33通过导线37与控制键10相连接并进行电力配合，所述导电板337通过电线338与配电箱7相连接并进行电力配合，所述伸缩控制器334通过电线338与主电源333 相连接并进行电力配合。
20.下面对本实用新型的工作原理做如下说明：当使用一种晶圆光刻设备时先将配电箱7进行通电使其能够为整台机台提供电能，然后通过开关轴4将机台进行开启，然后通过控制键10将工作箱3开启将需要加工的晶圆放入工作台上，通过固定轴311进行固定，使其能够保持固定状态，再关闭工作箱3，控制键10通过系统储存处8将所需要加工的程序调试出来，其中可以通过显示屏11的显示进行操作，当工作箱3开始工作时，可以通过控制键10将控制装置33进行操控，使隔断板35能够通过伸缩杆36 进行从控制装置33内部升起，从而可以将工作台的四周进行隔断，使机台在加工的时候所产生的残渣能够被隔断板35阻止不会飞溅到另外一个工作台内也同时避免了残渣飞入成品箱5内，隔断板35上带有粘贴板能够将飞溅起来的残渣进行吸附，从而使加工完毕后清理残渣也变得更好清理，控制装置33在工作时，通过导电板337与电线338吸取配电箱7的电能使主电源333能够充满电能，然后主电源333将电能传输到伸缩控制器334内使伸缩杆接入点335能够有足够的电能进行控制伸缩杆36的伸缩工作，伸缩杆36升起的同时能够带动与隔断板35相连接的升降器使隔断板35能够进行升起并且能够与伸缩杆36一同固定住，当加工完毕后，通过控制键10操控控制装置33使其能够带动伸缩杆36 将隔断板35进行收缩，使隔断板35能够收缩到原有的位置上，然后通过转动轮34进行将工作台慢慢翻转，使晶圆能够通过成品通道51进行滑落到成品箱5内部，成品箱5的底端设有海绵垫 52可以将掉落进来的晶圆进行减震作用使其不会因为重力的影响从而导致的损伤，当以上工作都完成时，可以通过控制键10打开成品箱5进行取出加工完毕的晶圆，然后打开工作箱3升起隔断板35进行清理隔断板35在刚刚的工作中吸收的残渣。
21.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
22.因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视
为限制所涉及的权利要求。