技术特征：
1.一种感光性树脂组合物，其包含：(a)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前驱物、(b)包含下述式(11)所表示的化合物的光聚合引发剂、(c)热自由基产生剂、以及(d)包含γ-丁内酯的溶剂，式(11)中，r
11
为取代或未取代的苯甲酰基、取代或未取代的芴基、或者包含取代或未取代的咔唑基的基团，r
12
为碳原子数1～12的烷基、包含碳原子数4～10的环烷基的基团、包含苯基的基团或包含甲苯基的基团，r
13
为取代或未取代的碳原子数6～20的芳香族烃基。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述式(11)所表示的化合物为下述式(12)所表示的化合物，式(12)中，r
12
和r
13
与所述式(11)相同，r
14
为一价有机基团，a为0～5的整数。3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，a为0。4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，r
13
为取代或未取代的苯基。5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，r
12
为碳原子数1～12的烷基或包含碳原子数4～10的环烷基的基团。6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(c)成分包含分解点为110℃以上且200℃以下的化合物。7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(c)成分包含双(1-苯基-1-甲基乙基)过氧化物。8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(a)成分为具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前驱物，
式(1)中，x1为四价芳香族基，y1为二价芳香族基，r1和r2分别独立地为氢原子、下述式(2)所表示的基团或碳原子数1～4的脂肪族烃基，r1和r2中的至少一者为下述式(2)所表示的基团，-coor1基与-conh-基彼此处于邻位，-coor2基与-co-基彼此处于邻位，式(2)中，r3～r5分别独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，m为1～10的整数。9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，进一步包含具有两个以上官能团的多官能聚合性单体。10.一种图案固化膜的制造方法，包括：将权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上并进行干燥而形成感光性树脂膜的工序；对所述感光性树脂膜进行图案曝光而获得树脂膜的工序；使用有机溶剂对所述图案曝光后的树脂膜进行显影而获得图案树脂膜的工序；以及对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。11.根据权利要求10所述的图案固化膜的制造方法，所述加热处理的温度为200℃以下。12.一种固化膜，将权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物固化而成。13.根据权利要求12所述的固化膜，其为图案固化膜。14.一种层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜，使用权利要求12或13所述的固化膜制作而成。15.一种电子部件，其包含权利要求14所述的层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜。
技术总结
一种感光性树脂组合物，其包含：(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前驱物；(B)包含下述式(11)所表示的化合物的光聚合引发剂；(C)热自由基产生剂；以及(D)包含γ-丁内酯的溶剂。(式(11)中，R
技术研发人员：田原真吾 齐藤伸行 松川大作 榎本哲也
受保护的技术使用者：艾曲迪微系统股份有限公司
技术研发日：2020.08.12
技术公布日：2022/3/25