电磁辐射频率转换器及包括其的光源的制作方法

1.本发明涉及通过非线性光学过程的光的相干产生。这能够将激光转换为其他频率，从而能够产生现有激光二极管无法广泛获得的波长的紧凑型相干光源。


背景技术：

2.随着持续的covid-19大流行，对消毒方法的迫切需求变得比以往任何时候都更加清晰。事实证明，紫外线c段(uvc)中的光可以有效地消毒空气、液体和表面。此外，近年来已确定207和222nm的光被皮肤和眼睛的外层大量吸收，因此对包括人类在内的哺乳动物可能无害。这将此光谱区域中的光定位成可以用于人和动物在场的情况下的杀菌目的。然而，在这个光谱范围内只存在稀少的光源选择，并且到目前为止还没有广泛可用的紧凑型光源，即远uv中的led或激光二极管。
3.发明目的
4.本发明的目的是提供用于转换激光的频率或等效地波长以使得能够在激光发射带之外进行发射的装置和方法。频率转换以紧凑的方式实现，并且大转换效率特别地是通过涉及集成光子学领域内的各种制造方法的产品设计实现的。


技术实现要素：

5.上述目的中的一个或更多个至少在一定程度上是根据第一方面通过电磁辐射频率或等效波长转换器获得的，该转换器包括：
[0006]-非线性光学部件或部分(1)，其包括预定非线性光学材料或由预定非线性光学材料构成，以及
[0007]-引导模块，该引导模块
[0008]
具有限定或控制引导模块的有效折射率的预定几何形状，以及
[0009]
被配置为接收和引导泵浦光，从而得到被引导的泵浦光束(11)，
[0010]
其中，
[0011]-非线性部件或部分(1)与引导模块结合或连结，其中该结合被配置为允许被引导的泵浦光束的至少一部分重叠和/或瞬逝耦合到所述非线性光学材料中，并且
[0012]-非线性光学部件或部分被配置为将非线性光学材料中的被引导的泵浦光束非线性地转换为非引导的信号模式，非引导的信号模式作为处于不同频率或等效波长的输出光信号被辐射。
[0013]
相对于非线性光学部件中的信号光(输出光信号)的折射率控制引导模块中的波导的有效折射率使得能够关于引导模块中接收到的光在对应/预定的角度处进行cherenkov相位匹配。
[0014]
在一些实施方式中，引导模块包括至少一个波导，并且非线性部件或部分与引导模块的至少一个波导表面结合或连结(从而将波导“夹在”非线性部件或部分和引导模块的其余部分之间)。
[0015]
在一些实施方式中，引导模块包括：
[0016]-不同于预定非线性光学材料的基底材料，其中至少一个波导被布置或沉积在基底材料的第一侧(即“顶部”)上，或者
[0017]-不同于预定非线性光学材料的基底材料，以及被布置或沉积在基底材料的第一侧(即“顶部”)上的缓冲层(即至少一个缓冲层)，并且其中至少一个波导被布置或沉积在(如果有两个或更多个缓冲层，则为“最顶部”)缓冲层的第一侧(即“顶部”)上。
[0018]
在一些实施方式中，非线性光学部件或部分和/或引导模块包括嵌入的电极并且被配置为响应于向嵌入的电极施加的电场的相应变化(即通过电光效应)，相应改变非线性光学部件或部分和/或引导模块的有效折射率。
[0019]
在一些实施方式中，转换器包括一个或更多个平面光学结构，该平面光学结构被配置为重新路由和/或调制被或待被引导模块接收的光，从而控制输出光信号。
[0020]
在一些实施方式中，预定非线性光学材料是从由下述构成的组中选择的一种：
[0021]-硼酸钡(bbo)，
[0022]-硼酸铯锂(clbo)，
[0023]-硼酸锂(lbo)，
[0024]-磷酸二氘钾(kdp)，
[0025]-磷酸二氘钾(dkdp)，
[0026]-磷酸二氢铵(adp)、氧化硼酸钇钙(ycob)，以及
[0027]-氟硼硼酸钾(kbbf)。
[0028]
在一些实施方式中，
[0029]-转换器包括被配置为接收光并将其提供给引导模块的光耦合器(对于包括波导的实施方式，光耦合器被配置为接收光并将其提供给波导)，和/或
[0030]-引导模块为引导光子集成电路。
[0031]
上述目的中的一个或更多个至少在一定程度上是根据第二方面通过一种光源装置获得的，该光源装置包括：
[0032]-至少一个泵浦激光源，其被配置为发射第一预定波长的光，以及
[0033]-根据第一方面的电磁辐射频率转换器，
[0034]
其中，频率转换器的引导模块被配置为接收和引导来自至少一个泵浦激光源的发射光的至少一部分，并且输出光信号具有不同于第一预定波长的第二预定波长。
[0035]
上述目的中的一个或更多个至少在一定程度上是根据第三方面通过一种杀菌或去污装置获得的，该杀菌或去污装置包括：
[0036]-至少一个根据第二方面的光源装置，
[0037]
其中至少一个泵浦激光源被配置为发射光被配置为发射可见蓝光，并且输出光信号是uvc或远uvc光，例如或优选地具有约200至约230nm的波长，例如在或约222nm处。
[0038]
上述目的中的一个或更多个至少在一定程度上是根据第三方面通过电磁辐射频率或等效波长转换方法获得的，所述方法包括
[0039]-通过具有预定几何形状的引导模块接收和引导泵浦光，从而得到被引导的泵浦光束，该预定几何形状限定或控制引导模块的有效折射率，
[0040]-通过包括预定非线性光学材料或由预定非线性光学材料构成的非线性部件或部
分与引导模块之间的结合，允许被引导的泵浦光束的至少一部分重叠和/或瞬逝耦合到非线性光学材料中，以及
[0041]-将非线性光学材料中的被引导的泵浦光束非线性转换为非引导的信号模式，非引导的信号模式作为处于不同频率或等效波长的输出光信号被辐射。
[0042]
每个方面的进一步细节和实施方式在本文别处公开。
[0043]
在至少一些实施方式中，装置包括泵浦激光器系统、光耦合器、引导光子集成电路和结合的非线性材料。泵浦激光器由一个或更多个激光二极管构成，每个激光二极管产生一个或更多个光束。光耦合器允许光束从泵浦激光器系统传递到引导模块(例如或优选地以光子集成电路(pic)的形式)。在引导模块中，光在一个或更多个波导结构中被引导。引导模块与非线性材料结合，从而允许光场重叠到非线性材料中，即所谓的瞬逝耦合。通过cherenkov辐射的非线性光学现象，形成了光、信号光束的相干输出。对于二阶非线性过程，信号光束将具有一个或更多个泵浦光束的两倍、一半或总频率，而更高阶的相互作用可以实现更精细的频率转换。对于可通过引导模块中的光波导设计进行调节的光学材料参数之间的特定关系，非线性相互作用被最大化。转换后的光以一角度辐射到非线性材料中，该角度取决于泵浦光束的有效折射率和非线性材料中转换后的光的折射率。包括引导模块和非线性材料的组合装置将被称为“频率转换器”，而包括泵浦激光源则构成完整的光源。总而言之，如本文所公开的将非线性材料结合到pic很容易实现称为cherenkov非线性产生的非线性过程的应用，从而允许将激光转换为利用现有激光技术特别是在大规模生产所需的经济可行的方法中难以或不可能获得的波长的紧凑装置。
[0044]
根据光源的一些实施方式，在频率转换发生之前组合多个激光器。这种泵浦激光器的组合可以出现在光纤中、单独的输入耦合器模块中或通过平面光学电路出现在引导模块上。组合多个激光源有两个功能。首先，它允许增加泵浦光束的总输入功率，从而提高信号频率处的转换效率和总输出功率。其次，在应用不同泵浦频率的情况下，多个激光源的存在允许和频产生(sfg)或差频产生(dfg)。这种情况允许进一步扩展信号频率可实现的光谱范围。
[0045]
根据光源的一些实施方式，在频率转换发生之前，单个泵浦激光被分裂成多个光束。泵浦激光源的这种分裂可以发生在例如光纤中、自由空间光学器件中、单独的输入耦合器模块中或通过平面光学电路的引导模块中。将单个泵浦激光分裂成多个转换器路径允许将信号光分布到更大的区域。此外，在泵浦在转换过程中耗尽的情况下，它允许更短的频率转换器部分。
[0046]
根据光源的一些实施方式，添加了光输入耦合器。该部件可以由光子集成电路制成，光子集成电路允许光斑大小转换以及在耦合到引导模块之前分裂/组合泵浦激光/激光。合适的pic平台应该表现出对可见光信号的低损耗引导。用于引导产生uvc所需的可见光的合适平台的示例是氮化硅(si3n4)、钽(ta2o5)、氮化铝(aln)和氧化铝(al2o3)。
[0047]
根据光源的一些实施方式，泵浦激光二极管直接耦合到频率转换器。这允许适用于大规模生产的非常紧凑的装置。利用正确的分隔，整个激光器阵列可以耦合到引导模块中的对应频率转换波导阵列。这允许具有非常高功率的单个光源或通过切割成具有转换器模块的单独激光器本体来批量生产多个光源。
[0048]
根据光源的一些实施方式，泵浦激光器使用光纤或光纤阵列耦合到频率转换器。
为了适当耦合，光纤可以是锥形/透镜状的或具有小的模场直径。在引导模块上，波导可以设计成匹配给定光纤传输系统的模式分布。
[0049]
根据频率转换器的一些实施方式，非线性材料被周期性地极化。某些非线性材料允许材料中畴(domain)方向的周期性反转，从而改变非线性系数的符号。通过周期性地极化非线性材料，相位匹配标准被改变，引起信号的辐射角和幅度发生变化。
[0050]
根据频率转换器的一些实施方式，引导模块包括平面光学元件。由于标准光学集成平台的基础，引导模块可以包括超越简单波导的功能。下面列出了示例结构及其功能；然而，该列表仅作为可能性的指示，其他结构可以为此处介绍的表面结合的频率转换器提供功能。多模干涉耦合器可以分离和组合泵浦光。诸如环形谐振器之类的谐振结构可以实现泵浦光束的光谱过滤或泵浦激光器的外部稳定性。可调谐耦合器和波长组合器可以实现不同泵浦光束的选择性组合，从而允许可配置的频率转换后的输出信号。
[0051]
根据光源的一些实施方式，转换后的输出信号使用外部光学器件进行准直。这将允许对光的空间传播进行高度控制，从而允许在光到达预期应用的途中路由和/或操纵光。对信号光束的操纵可以是但不限于强度调制和衰减、分裂成几个光束或聚焦光束。
[0052]
根据光源的一些实施方式，转换后的输出信号被准直和/或聚焦到光纤中。如果根据信号波长选择适当的材料，这种光纤将允许方便且稳健地路由和操纵所产生的激光。
[0053]
根据光源的一些实施方式，转换后的输出信号在反射光学元件上或折射光学元件中被散射。这将使光源能够在给定距离内照射更大的表面积。这样做将大大提高例如uvc源在杀菌用途中的适用性。这种光分布机制的一个示例可以是凸出的金属几何结构，如果放置正确，它可以进入一个组合但紧凑的外壳，该外壳包围整个激光器、频率转换器和散射本体。
[0054]
根据光源的一些实施方式，频率转换器模块具有嵌入pic中和/或bbo上的电极。通过电光效应，可以在波导和非线性材料中调整折射率。鉴于cherenkov辐射的性质，有效折射率的这种调整将导致发射角的偏移。因此，信号波束的波束控制被启用。
具体实施方式
[0055]
为了促进对本发明的原理的理解，现在将参考附图中所示的实施方式并且将使用特定语言来描述它们。然而，应当理解，本发明的范围并不意在由此被限制。所示系统中的这种改变和进一步修改，以及本领域技术人员通常会想到的本发明原理的这种进一步的应用被解释为在本发明的范围内。
[0056]
本领域的技术人员将理解，上述一般描述和以下详细描述是对本发明的例示和说明，而不意在对其进行限制。
[0057]
术语“包括”、“包含”或其任何其他变体意在涵盖非排他性的包括，使得包括一系列步骤的过程或方法不仅包括那些步骤，还可以包括没有明确列出或对此类过程或方法是固有的其他步骤。类似地，在没有更多约束的情况下，前面带有“包括......”的一个或更多个子系统或元件或结构或部件并不排除其他子系统、元件、结构、部件、附加子系统、附加元素、附加结构或附加部件的存在。在整个说明书中出现的短语“在实施方式中”、“在另一实施方式中”和类似的语言可以但不一定都指同一实施方式。
[0058]
除非另有限定，否则本文使用的所有技术和科学术语具有与本发明所属领域的技
术人员通常理解的相同的含义。此处提供的系统、方法和示例仅是说明性的而不意在是限制性的。
[0059]
在一些实施方式中，如本文所公开的装置是将根据非线性转换过程以源自泵浦激光器的波长进行发射的光源。由于一个目标应用是产生远uvc光，因此下面将以这个发射带为示例。通过替代非线性材料和调整波导尺寸，可以调整所呈现光源的整体概念和布局，以用于其他波长的应用。uvc光是由可见蓝光通过cherenkov辐射形式的非线性相互作用产生的。对于基于cherenkov辐射的二次谐波产生(shg)及和频产生(sfg)，相干非线性相互作用通过与泵浦光束相关的特定角度的相位匹配来确保，见图4。这种非线性相互作用取决于材料并且存在于具有非零二阶敏感性的非线性光学材料中。通过结合，见图1，这种非线性材料直接位于引导模块的波导的顶部，泵浦光束由波导芯引导，同时具有到非线性材料中的显著的模态重叠，见图3。这种方法确保引导模块和非线性材料的有效及成熟生产，随后将两个芯片或两个晶片进行结合。
[0060]
可以通过将波导层的表面直接或间接地结合到非线性晶体的表面来实现结合过程。对于直接结合，没有其他材料沉积或生长在任一表面上以增强结合。相反，间接结合使用一种或更多种沉积在一个或两个结合表面上的中间材料来提高结合能量。用于间接结合的常见夹层包括通过原子层沉积、化学气相沉积、电子束沉积或溅射沉积的al2o3、sin或sio2。其他经常用于间接粘合的夹层包括光敏聚合物，诸如苯并环丁烯或su-8，其是环氧基负光刻胶。对于直接结合及对于利用薄无机层的间接结合，结合机制通常分为疏水性或亲水性。亲水结合的好处是与疏水结合相比需要更低的温度。亲水结合过程从表面活化过程开始，表面活化过程通常在真空中使用o2或n2等离子体或通过具有亚稳态he的大气等离子体完成。由于与空气反应或用干净的去离子水冲洗，这会导致表面被羟基饱和。其他水分子通常在此时与羟基结合。接下来，两个表面接触，氢键产生瞬时吸引力。为了进一步加强结合，将两个基底在通常在100℃和500℃之间的升高的温度下烘烤或退火，持续通常在10分钟至48小时之间的延长的时间段。在退火过程中，水分子从结合界面扩散开，在每种材料的表面之间留下更强的直接结合，其中主要是氧原子留在它们之间。如前所述，亲水结合过程非常适合结合两种不同的材料，因为较低的温度要求减少了由于热膨胀导致的两个基底之间大小的总变化。当两种材料的温度相对于开始结合时的温度(通常是室温，但也可以在升高或降低的温度下)变化时，这种大小差异可能导致结合失败并裂开。因此，通常通过实验确定结合退火温度和时间，以最大化结合能量，而不会因裂开而导致结合失败。
[0061]
引导模块在泵浦波长处应该是透明的并且优选地具有尽可能低的传播损耗。由于直接结合，其中使用非常薄的夹层(相对于光的波长)或不使用夹层来提高结合能量，因此对于非线性晶体，引导模块在波导上方不应有顶部包层。波导几何结构允许对光进行严格限制，这意味着可以实现更小的有效模式面积，从而在非线性材料中产生更强的电磁强度，从而与大块非线性材料中的自由空间激光束相比更大的转换效率。引导模块可以由完善的光子集成平台制成。对于蓝色泵浦激光器，合适的pic平台可以是氮化硅(si3n4)、钽(ta2o5)、氮化铝(aln)和氧化铝(al2o3)。无论为引导模块选择何种平台，波导的有效折射率都可以通过波导几何结构进行调整，见图3。对于给定的pic平台，应选择合适的非线性晶体来满足cherenkov相位匹配在非线性晶体中传播角处的折射率要求。
[0062]
对于uvc中的信号产生，非线性材料可以是硼酸钡(bbo)、硼酸铯锂(clbo)、硼酸锂
(lbo)、磷酸二氘钾(kdp)、磷酸二氘钾(dkdp)、磷酸二氢铵(adp)、氧化硼酸钇钙(ycob)或氟硼硼酸钾(kbbf)。所有这些材料在uvc的部分上都是透明的，并具有二阶敏感性，从而允许它们用于shg和sfg等工艺。此外，包层材料也可以沉积在非线性材料的顶部。这对于保护非线性材料是有利的，尤其是因为一些非线性材料具有高度吸湿性，但是这样的包层应该在结合表面上保持足够薄，以允许到非线性材料中的显著的模态重叠。兼容的包层材料可以是氟化镁(mgf2)等。mgf2对低至120nm的波长是透明的。它不是吸湿性的，允许保护非线性材料，被广泛用作保护和抗反射涂层的材料。
[0063]
在下面的段落中，对晶体的对称性和取向进行了一些观察，其中以结合到硅基底上的sin的引导模块的bbo为示例。为实现最佳结合，非线性材料的结合表面应具有与引导模块的基底相似的热膨胀系数。对于结合到si基底上的sin的bbo，材料参数表明结合表面应垂直于晶体的主光轴，其恰好是生长方向。对于cherenkov-shg，要求信号波(在uvc范围内)的折射率大于泵浦光束(可见蓝色范围)的折射率。这允许对与波导相关的bbo晶体取向进行一些考虑。例如，bbo是负单轴：普通折射率大于非常折射率，因此信号波应该是普通的。由于正常色散：波长越小折射率越大；在这种情况下，信号波同样优选为普通的。泵浦波矢量与sin波导共线，其是泵浦的传播方向。因此它在bbo晶体的普通平面中。因此，主晶轴和泵浦的传播矢量之间的角度θ固定为90度。泵浦场相对于sin波导是te极化的。因此，电场的方向平行于结合界面，或正交于晶轴。这意味着泵场是相对于bbo的普通波。泵浦场相对于sin波导是te极化的。因此，电场的方向平行于结合界面，或正交于晶轴。这意味着泵场是相对于bbo的普通波。非线性电极化的方向由非线性张量(适用于bbo)和6列非线性向量(适用于i型shg)的乘积给出。由此，将最大化有效非线性d-张量的phi的最佳角度如下。
[0064]
多个n激光二极管提供n个具有单个或多个波长的光束。为了将泵浦激光束组合在一起，可以使用pic，见图5。该pic可以用氮化硅、氮化铝或其他在相关波长范围内透明的可用材料制造。该pic有助于匹配光模式分布并将它们引导到频率转换模块中。
[0065]
多个n激光二极管是温度控制的。通过改变泵浦二极管激光的温度，它们的波长会发生偏移。也可以改变非线性芯片的温度来调整cherenkov角度。这允许产生的uvc光的波长和输出角度偏移。
[0066]
由于泵浦激光器和引导模块中的pic均通过晶圆级光刻技术制造，因此光源可以量产。这样，激光器和频率转换波导阵列可以制造成具有匹配的节距，见图6。在将非线性材料结合到引导模块pic后，激光器阵列可以被对准并固定到频率转换器，随后被切割成多个完整的光源。
[0067]
附图说明(注意没有图是按比例绘制的)：
[0068]
图1示意性地示出了如本文所公开的包括非线性材料的非线性部件(1)到包括在基底材料(5)的顶部上的一个或更多个波导芯(2)的引导模块pic的结合(如虚线箭头所示)。一旦结合(见例如图2)，非线性部件(1)和引导模块一起形成如本文所公开的频率转换器(17)的实施方式。更具体地，非线性部件(1)与引导模块的一个或更多个波导(2)表面结合或连结。在一些实施方式中，pic在基底(5)和波导(2)之间具有一个或更多个缓冲层(4)。该图仅说明了整个零件的非常有限的切口的结合，以保持各个部件的可分辨性(也见例如图6)，但是表面结方法的优点是它通常以更大的规模进行。进一步指出的是波导的长度(7)。
[0069]
图2示意性地示出了在结合之后的如本文所公开的频率转换器(17)的一个实施方式。频率转换器(17)包括非线性材料的非线性部件或部分(1)、至少一个光波导(2)、基底(5)以及在一些其他实施方式中然后支撑波导(2)的至少一个缓冲层(4)。缓冲层(4)可以例如是是氧化物包层。频率转换器(17)如本文所公开的那样起作用，并且特别地——至少在一些实施方式中——关于启用cherenkov的非线性转换。
[0070]
图3示意性地示出了(例如图1和2的)频率转换器的截面，示出了夹在非线性部件(1)和引导模块的基底(5)(或对于此类实施方式缓冲层/氧化物包层(4))之间的波导(2)的截面。截面垂直于波导(2)的长度方向(见例如图1中的7)。作为示例，光学模式分布被示出为阴影覆盖(19)。所示的示意性光学模式分布针对光源，该光源是发射泵浦光束的泵浦激光器或包括发射泵浦光束的泵浦激光器(见例如图4中的11)。示出了波导(2)的高度(8)，其也大体上限定了非线性部件(1)和基底(5)(或缓冲层/氧化物包层(4))之间的间距。波导(2)的每一侧都有包括周围的包层材料(3)例如环境空气的空腔或类似物(在波导(2)的相对侧以及非线性部件(1)与基底(5)/缓冲层/氧化物包层(4)之间)。部分光功率将重叠，即瞬逝地耦合到非线性部件(1)的非线性材料中，从而允许通过非线性相互作用进行频率转换。泵浦光束的有效折射率和模式分布(19)取决于波导几何形状(8和9)。注意，由于波导尺寸极小，非线性材料和基底/缓冲都延伸超出了图。
[0071]
图4示意性地示出了举例说明由泵浦激光源发射的泵浦光束(11)的二次谐波产生(shg)的频率转换器的侧视图。泵浦光束(11)大部分被限制在波导芯(2)中。然而，与非线性材料(1)的重叠确保信号光束(12)在cherenkov角(10)处的shg，从而确保相位匹配。shg过程中相位匹配和能量守恒的要求通过表示泵浦(11)和信号(12)光束的箭头的长度和方向以图形方式指示。该图仅沿频率转换器的长度示出了频率转换器的一部分，但shg沿波导传播轴连续发生。
[0072]
图5示意性地示出了其他实施方式，其另外包括光输入耦合器(6)。合适的光子集成电路(pic)用于通过光输入耦合器(6)内的波导尺寸逐渐变细来缩小光模的大小。输入耦合器(6)还可以通过集成光学元件诸如多模干涉耦合器、y分支等实现多泵浦光束的组合。
[0073]
图6示意性地示出了多个完整光源的并行制造和对准的实施方式。考虑到激光二极管通常在与频率转换器中的pic的制造过程非常相似的过程中被制成为集成装置，两个部件具有相似的特征大小和整体的构建结构，即功能层堆叠体(即激光二极管活性材料(14))构件在基底材料(即激光二极管基底材料(15))上。这种相似性是泵浦激光器和频率转换器之间紧密耦合的重要促成因素。利用激光二极管活性材料(14)和相应频率转换器中的相应波导(2)的统一间距，可以同时为多个装置/光源进行光学对准。波导之间的后续切割容易促进多个(数百或数千)装置/光源的大规模制造。在至少一些实施方式中，激光输出端面直接对接耦合到频率转换器上的波导端面。例如，可以通过使引导模块波导朝向端面逐渐变细以匹配激光发射区域的几何形状来优化耦合效率。
[0074]
图7示意性地示出了紧凑型光源/照明装置(18)的示例封装。在该示例中，二极管激光器(13)和频率转换器(17)(例如，如图1-6所示)放置在to罐(16)中。to罐(16)是激光二极管领域的标准化封装方法，即使在今天也可以以低价大量生产。符合标准化封装使得能够与整个范围的电流供应、固定装置、热管理系统等兼容。
[0075]
附图标记列表：
[0076]
1.非线性材料，例如bbo
[0077]
2.波导芯，例如，sin
[0078]
3.周围包层材料，例如，空气
[0079]
4.缓冲材料，例如，sio2
[0080]
5.引导模块的基底材料，例如，si
[0081]
6.pic上的光斑大小转换器/组合器
[0082]
7.波导的长度
[0083]
8.波导的高度
[0084]
9.波导的宽度
[0085]
10.cherenkov角
[0086]
11.泵浦光束
[0087]
12.信号光束
[0088]
13.第一二极管激光泵浦/(第一)激光源
[0089]
14.激光二极管活性材料
[0090]
15.激光二极管基底材料
[0091]
16.to-罐
[0092]
17.频率转换器
[0093]
18.光源/光源装置
[0094]
19.光模式分布