一种新型紫外平行光源装置及实现方法与流程

1.本发明涉及紫外平行光源技术领域，特别是涉及一种新型紫外平行光源装置及实现方法。


背景技术：

2.紫外光源在光刻及光固化设备中是核心部件，广泛应用在曝光机、光固化机及3d打印机中，利用的就是感光胶、感光油墨和光敏树脂在紫外线照射下可以变性或固化的原理。目前采用的光源为紫外激光、汞灯和紫外led，大型工业3d打印机一般采用紫外激光，曝光机和小型3d打印机采用汞灯或紫外led，而作为节能绿色环保的紫外led正逐渐代替传统的汞灯，尤其是在小型3d打印机上。
3.无论是曝光机还是3d打印机，为了达到高分辨和高精度，对照射到曝光面板或液晶屏上紫外光线有三点要求：一是垂直入射，二是强度均匀，三是没有杂散光，目前主要采用以下方式：1、在采用汞灯灯管的曝光机中，汞灯被放在一个巨大的反光罩内，置于曝光面板的底部向上照射，使照度大致均匀，但无法使得360度发光的灯管发出的光完全垂直照射的面板上，为此通用的办法是用一块特制的玻璃面板滤光，该特制玻璃面板只允许大致垂直入射的光线通过，其它角度的入射光被挡住，但这样会损失很大一部分光能，而且该特制玻璃板极为昂贵；2、在小型3d打印机中是用紫外led做光源的，led是点光源，让点光源光线在近距离实现垂直均匀地照射到有一定面积的液晶屏上是不可能的，目前采用两种方法：第一种，用若干个紫外led均匀排成一个与液晶屏大小相同的阵列，置于液晶屏的正下方，每个led上安装一个凸透镜，将光线变成平行光照射到液晶屏上，形成光斑阵列，从而保证了光线的垂直入射，但每个光斑的无缝衔接却是一个大问题，衔接不上则有黑缝，重叠了又会使重叠区域光强加倍，而且每个led的光强不尽相同，也使得光斑亮度明暗不等，就是说垂直问题解决了但亮度不均匀；第二种把若干个紫外led芯片集中在一起做成一个大led(称作cob)，可近似看成点光源，然后采用自由曲面透镜将光强均匀分散到整个led屏上，只要透镜比液晶屏小，就不可能让光线垂直照到整个液晶屏上，一个透镜很难做到均匀且垂直入射，要采用几个透镜，而且最后一个透镜的尺寸要和液晶屏一样大小才行，即使这样大尺寸光学透镜本身固有的边缘像差也不能保证入射光垂直，就是说均匀问题解决了但垂直性不好，而且多个透镜放大了光源的尺寸，产生很多杂散光，也无法在较大尺寸的3d打印机上采用。
4.因此，目前的方法都不能同时满足上述三个要求，而且小型3d打印机体积及成本限制也不允许采用过多过于复杂的二次光学器件。所以，目前这些问题一致困扰着曝光机和小型3d打印机，精度和分辨率难以提高，屏幕越大越困难。


技术实现要素：

5.鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种新型紫外平行光源装置及实现方法。
6.本发明实施例公开了一种新型紫外平行光源装置，所述装置用于紫外曝光机和3d打印机，包括紫外光源、抛物面反光镜和屏板，所述抛物面反光镜位于所述屏板的正下方且所述抛物面反光镜的水平投影面域与所述屏板的水平投影面域重合，所述紫外光源与所述抛物面反光镜的焦点重合，其中，所述紫外光源和所述抛物面反光镜至少设置一组；
7.所述紫外光源发出的光线照射到所述抛物面反光镜上，所述光线经所述抛物面反光镜反射后变为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板上。
8.优选地，所述装置还包括平面反光镜，所述紫外光源与所述抛物面反光镜的焦点相对于所述平面反光镜对称，其中，每组所述紫外光源和所述抛物面反光镜至少对应设置一个平面反光镜；
9.所述紫外光源发出的光线经所述平面反光镜反射后照射到所述抛物面反光镜上，所述光线经所述抛物面反光镜反射后变为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板上。
10.优选地，所述紫外光源包括散热器、镜筒、大功率紫外cob光源、聚光透镜、以及设于所述镜筒出光口处的光阑；
11.所述大功率紫外cob光源和所述聚光透镜沿着所述镜筒的出光方向依次设置于所述镜筒内，且所述大功率紫外cob光源位于所述聚光透镜的主光轴一倍焦距以内；其中，所述大功率紫外cob光源由多颗紫外led芯片阵列式密集排列而成；
12.所述镜筒贴合于所述散热器设置。
13.优选地，所述大功率紫外cob光源的芯片峰值波长范围为250nm～405nm，所述大功率紫外cob光源的输入电功率为10w～2000w。
14.优选地，所述抛物面反光镜为金属或塑料材质，其抛物面镀有镜面铝反光层。
15.优选地，所述平面反光镜为金属或塑料材质，表面镀有镜面铝。
16.一种新型紫外平行光源装置的实现方法，包括如下步骤；
17.将所述抛物面反光镜设于所述屏板的正下方；其中，所述抛物面反光镜的水平投影面域与所述屏板的水平投影面域重合；
18.移动所述紫外光源，使所述紫外光源与所述抛物面反光镜的焦点重合，具体地，所述紫外光源向所述抛物面反光镜发射光线，所述抛物面反光镜将所述光线反射为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板上。
19.一种新型紫外平行光源装置的实现方法，包括如下步骤；
20.将所述抛物面反光镜设于所述屏板的正下方；其中，所述抛物面反光镜的水平投影面域与所述屏板的水平投影面域重合；
21.将所述平面反光镜设于所述屏板的一侧，使所述平面反光镜反射的光线照射到所述抛物面反光镜；
22.移动所述紫外光源，使所述紫外光源在平面反光镜中的虚像与所述抛物面反光镜的焦点重合；具体地，所述紫外光源向所述平面反光镜发射光线，所述平面反光镜将所述光线反射后照射到所述抛物面反光镜，所述抛物面反光镜将所述光线反射为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板上。
23.优先地，所述步骤还包括：
24.确定所述抛物面反光镜的焦点位置，具体的，依据所述紫外光源在所述平面反光镜中的虚像位置，确定为抛物面的焦点；
25.确定所述抛物面反光镜的形状，包括，依据所述焦点位置建立xyz三维垂直坐标系，坐标系原点位于抛物面反光镜最低点处，并确定焦点f的坐标为(0，m，h)和抛物面的顶点坐标为(0，m，z0)；其中，z0为未知数；
26.依据抛物面计算方程，确定所述抛物面的顶点坐标值，并依据所述坐标值确定所述抛物面反光镜的形状。
27.优先地，所述设置平面反光镜的步骤包括：
28.确定所述平面反光镜的倾斜角度，具体的，依据所述紫外光源和所述平面反光镜的位置，确定光路中心；
29.依据光中心和所述抛物面反光镜以及所述紫外光源所在位置，形成直角三角形；其中，所述直角三角形在所述平面反光镜处形成的夹角为所述倾斜角度的两倍；
30.依据三角函数和所述直角三角形三边长度，确定所述平面反光镜的倾斜角度。
31.本技术具体包括以下优点：
32.在本技术的实施例中，通过外光源、抛物面反光镜和屏板，所述抛物面反光镜位于所述屏板的正下方且所述抛物面反光镜的水平投影面域与所述屏板的水平投影面域重合，所述紫外光源与所述抛物面反光镜的焦点重合，其中，所述紫外光源和所述抛物面反光镜至少设置一组；所述紫外光源发出的光线照射到所述抛物面反光镜上，所述光线经所述抛物面反光镜反射后变为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板上。本技术中使所有光线都是垂直照射到曝光板或液晶屏上，照度均匀且没有因多重透镜造成的杂散光，同时满足了对紫外光源的三个要求，而且反光镜的成本要远远低于透镜。
附图说明
33.为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对本技术的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
34.图1是本发明一实施例的一种新型紫外平行光源装置的一个抛物面反光镜的紫外平行光源示意图；
35.图2是本发明一实施例的一种新型紫外平行光源装置的立体示意图；
36.图3是本发明一实施例的一种新型紫外平行光源装置的紫外平行光源的一种摆放方式及光路图；
37.图4是本发明一实施例的一种新型紫外平行光源装置的用于小型3d打印机中紫外平行光源的剖面图；
38.图5是是本发明一实施例的一种新型紫外平行光源装置的用于小型3d打印机中紫外平行光源的剖面图；
39.图6是本发明一实施例的一种新型紫外平行光源装置的抛物面反光镜建立坐标系的示意图；
40.图7是本发明一实施例的一种新型紫外平行光源装置用于确定平面反光镜角度的结构示意图。
41.1、紫外光源；2、抛物面反光镜；3、屏板；4、平面反光镜；5、散热器；6、外壳；7、光敏
树脂池；8、提拉杆；11、光阑；12、聚光透镜；13、镜筒；14、led芯片。
具体实施方式
42.为使本技术的所述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
43.在本技术的实施例中公开了一种新型紫外平行光源装置，所述装置用于紫外曝光机和3d打印机，包括紫外光源1、抛物面反光镜2和屏板3，所述抛物面反光镜2位于所述屏板3的正下方且所述抛物面反光镜2的水平投影面域与所述屏板的水平投影面域重合，所述紫外光源1与所述抛物面反光镜2的焦点重合，其中，所述紫外光源1和所述抛物面反光镜2至少设置一组；所述紫外光源1发出的光线照射到所述抛物面反光镜2上，所述光线经所述抛物面反光镜2反射后变为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板3上。
44.本技术中使所有光线都是垂直照射到屏板3(曝光板或液晶屏上)，照度均匀且没有因多重透镜造成的杂散光，同时满足了对紫外光源的三个要求，而且反光镜的成本要远远低于透镜，降低了装置的成本。
45.下面，将对本示例性实施例中新型紫外平行光源装置作进一步地说明。
46.在本技术一实施例中，参照图1-2，示出了本发明一实施例的一种新型紫外平行光源装置，具体可以包括如下结构：紫外光源1、抛物面反光镜2和屏板3，所述抛物面反光镜2位于所述屏板3的正下方且所述抛物面反光镜2的水平投影面域与所述屏板的水平投影面域重合，所述紫外光源1与所述抛物面反光镜2的焦点重合，其中，所述紫外光源1和所述抛物面反光镜2至少设置一组；所述紫外光源1发出的光线照射到所述抛物面反光镜2上，所述光线经所述抛物面反光镜2反射后变为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板3上。
47.本技术中使所有光线都是垂直照射到屏板3(曝光板或液晶屏上)，照度均匀且没有因多重透镜造成的杂散光，同时满足了对紫外光源的三个要求，而且反光镜的成本要远远低于透镜，降低了装置的成本。
48.在本技术一实施例中，一种新型紫外平行光源装置，还包括平面反光镜4，所述紫外光源1与所述抛物面反光镜2的焦点相对于所述平面反光镜4对称，其中，每组所述紫外光源1和所述抛物面反光镜2至少对应设置一个平面反光镜4；所述紫外光源1发出的光线经所述平面反光镜4反射后照射到所述抛物面反光镜2上，所述光线经所述抛物面反光镜2反射后变为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板3上。
49.在本技术一实施例中，参照图3-5，所述紫外光源1包括散热器5、镜筒13、大功率紫外cob光源、聚光透镜12、以及设于所述镜筒13出光口处的光阑11；所述大功率紫外cob光源和所述聚光透镜沿着所述镜筒的出光方向依次设置于所述镜筒内，且所述大功率紫外cob光源位于所述聚光透镜的主光轴一倍焦距以内；其中，所述大功率紫外cob光源由多颗紫外led芯片14阵列式密集排列而成；所述镜筒13贴合于所述散热器5设置。
50.作为一种示例，在一小型3d打印机上的实例(并不局限于此)说明申请的具体结构和实现方法；外壳6为整个光源箱的外壳6，为塑料或铝合金材料，外壳1的上表面中间的屏板3为液晶屏，液晶屏的上方设有光敏树脂池7作为装载光敏树脂的容器，这是3d打印所需
的材料，容器内有一个提拉杆8，将层层打印好的部件不断提升。外壳6内部就是整个紫外平行光源装置，左右对称放置两套，每套均由一个平面反光镜4、一个紫外光源1和一个抛物面反光镜2组成，其中紫外光源1部分包括由多颗紫外led芯片14阵列式密集排列而成的大功率紫外cob光源、聚光透镜12、镜筒13、光阑11及散热器5。
51.在图3-5所示中，标出了左侧紫外光源1的光路图，紫外光源1的光线经聚光透镜12会聚成一定角度后射出，照射到右侧的平面反光镜4上，其中，在镜筒13出口处有一个光阑11，限制光线只照到平面反光镜4上。光线经平面反光镜4反射后照射到右侧底部的抛物面反光镜上2，所有反射光线均变成平行光垂直照射到上部的屏板3(液晶屏)右半部。同样，右侧的紫外光源1发出的光最终也垂直照射到液晶屏的左半部。
52.在本技术一实施例中，所述大功率紫外cob光源的芯片峰值波长范围为250nm～405nm，所述大功率紫外cob光源的输入电功率为10w～2000w。
53.作为一种示例，液晶屏的尺寸为135mmx84mm，两套紫外平行光源装置分别照射左半部分和右半部分，每半部分面积为67.5mmx84mm，液晶屏距灯箱底部的距离为110mm；每个大功率紫外cob光源包括9颗紫外led芯片14密排成3x3阵列的cob光源，芯片尺寸为55mil，9颗芯片的总功率为30w，峰值波长为395nm；在本实例中，所述会聚透镜12直径30mm，焦距30mm，大功率紫外cob光源位于会聚透镜12一倍焦距内。
54.在一具体实现中，紫外光源1紧密固定在散热器5上，散热器5为铝制带翅片的型材，有风扇风冷散热；通过在散热器5上的风扇加速散热，尤其是在紫外光源1的功率较大时，通过风扇风冷散热有效的保障了设备的工作；
55.其中，所述散热器5还可以设置为液冷式的循环散热器5，进一步提高散热效率。
56.在本技术一实施例中，所述抛物面反光镜2为金属或塑料材质，其抛物面镀有镜面铝反光层。
57.在一具体实现中，如图4-5所示，图一中的虚线标出了等效光源位置，此处也为抛物面的焦点，根据焦点位置及其到抛物面的距离及夹角，就可以计算出抛物面的形状，并以此加工制作抛物面反光镜；抛物面反光镜2由不锈钢经cnc加工并镜面抛光镀镜面铝而成，或制作模具注塑成型再在抛物面上镀镜面铝，固定在外壳6的灯箱底部，每个抛物面反光镜2的竖直投影面域与屏板3(液晶屏)的一半相同，两个抛物面反光镜2摆放时其竖直方向的投影与整个液晶屏在灯箱底部的投影完全重合，从而保证两个抛物面反光镜2的所有反射光垂直照射到整个液晶屏上；在本实例中测得：照射到液晶屏上的垂直光线的误差小于3度，照度的均匀性大于95％。
58.在本技术一实施例中，所述平面反光镜4为金属或塑料材质，表面镀有镜面铝。
59.在一具体实施例中，所述平面反光镜4设置为两个，两个所述平面反光镜4为表面镀镜面铝的塑料板，分别固定在左上角和右上角，调整好角度使得反射光照射到同侧整个抛物面2反光镜上。
60.对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
61.在本技术的实施例中公开了一种新型紫外平行光源装置的实现方法，包括如下步骤：
62.将所述抛物面反光镜2设于所述屏板3的正下方；其中，所述抛物面反光镜2的水平
投影面域与所述屏板3的水平投影面域重合；
63.移动所述紫外光源1，使所述紫外光源1与所述抛物面反光镜2的焦点重合；具体地，所述紫外光源1向所述抛物面反光镜2发射光线，所述抛物面反光镜2将所述光线反射为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板3上。
64.在一具体实施例中，公开了一种新型紫外平行光源装置的实现方法，包括如下步骤：
65.将所述抛物面反光镜2设于所述屏板的正下方；其中，所述抛物面反光镜2的水平投影面域与所述屏板3的水平投影面域重合；
66.将所述平面反光镜4设于所述屏板3的一侧，使所述平面反光镜4反射的光线照射到所述抛物面反光镜2；
67.移动所述紫外光源1，使所述紫外光源1在平面反光镜4中的虚像与所述抛物面反光镜2的焦点重合；具体地，所述紫外光源1向所述平面反光镜4发射光线，所述平面反光镜4将所述光线反射后照射到所述抛物面反光镜2，所述抛物面反光镜2将所述光线反射为竖直向上的平行光，垂直照射到所述屏板3上。
68.作为一种示例，所述屏板3可以是曝光面板或液晶屏，在曝光面板或液晶屏的正下方放置与曝光板或液晶屏水平投影面域相同的抛物面反光镜2，紫外光源1的等效光源位置位于所述抛物面反光镜2的抛物面的焦点处，并照射抛物面反光镜2得到平行反射光，就可以使反射光完全垂直照射到曝光板或液晶屏上；利用一个或多个平面反光镜4延长光源到抛物面反光镜2的光程，从而减小光源对目标的张角，提升照度的均匀性；利用会聚透镜12将紫外led芯片14组成的大功率紫外光源1发出光线汇聚成一定发散角的光束，经平面反光镜4反射到抛物面反光镜2的整个表面，最大限度的减少光损失。光阑的作用是避免紫外led光线未经反射直接照到曝光板或液晶屏上，消除杂散光；
69.对于面积较大的曝光板或液晶屏作为屏板3时，采用两个或多个抛物面反光镜2拼接，各自对应相应的独立紫外光源1及平面反光镜4，把较大的照射面分成两个或多个照射面，减小光源光线的张角，降低单个紫外光源1的功率和尺寸，从而保证照度均匀和强度稳定。
70.与现有的方法相比，本技术提供的装置及方法使所有光线都是垂直照射到曝光板或液晶屏上，照度均匀且没有因多重透镜造成的杂散光，同时满足了对紫外光源的三个要求，而且反光镜的成本要远远低于透镜。
71.参照图6，在本技术一实施例中，所述步骤还包括：
72.确定所述抛物面反光镜2的焦点位置，具体的，依据所述紫外光源1在所述平面反光镜4中的虚像位置，确定为抛物面的焦点；
73.确定所述抛物面反光镜2的形状，包括，依据所述焦点位置建立xyz三维垂直坐标系，坐标系原点位于抛物面反光镜的最低点，并确定焦点f的坐标为(0，m，h)和抛物面的顶点坐标为(0，m，z0)；其中，z0为未知数；
74.依据抛物面计算方程，确定所述抛物面的顶点坐标值，并依据所述坐标值确定所述抛物面反光镜2的形状，即抛物面方程。
75.参照图7，在本技术一实施例中，所述设置平面反光镜4的步骤包括：
76.确定所述平面反光镜4的倾斜角度，具体的，依据所述紫外光源1和所述平面反光
镜4的位置，确定光路中心；依据光中心和所述抛物面反光镜2以及所述紫外光源1所在位置，形成直角三角形；其中，所述直角三角形在所述平面反光镜4处形成的夹角为所述倾斜角度的两倍；
77.依据三角函数和所述直角三角形三边长度，确定所述平面反光镜的倾斜角度。
78.在一具体实施例中，参照图6-7，确定抛物面反光镜2位置；为使抛物面反光镜2的平行反射光垂直照射到屏板(lcd屏或曝光板)上，抛物面反光镜2应位于led屏或曝光板的正下方的底板上，并使反射光方向竖直向上。平行光不会因光程增加而发散或收缩，所以抛物面反光镜2放在离正上方led屏或曝光板尽可能远的底板上，是为了给平面反光镜和紫外led光源留出更多的空间，更长的光程；
79.确定平面反光镜2的位置。如图7所示，b点为平面反光镜4的中心点，固定轴垂直纸面穿过b点，平面反光镜4可以围着固定轴做一定角度的转动以调整反光角度，固定轴的固定位置尽量靠近外壳6的灯箱顶板，但要保证平面反光镜4不会挡住平行光也不会碰到顶板，这样，平面反光镜4的位置就确定了；
80.确定平面反光镜2倾斜角度。由b点向灯箱底板做垂线交于d点，a点为抛物面反光镜2底部的中心点。紫外光源1的中心光线沿直线bd照射到平面反光镜4的b点，反射光沿直线ab。因a、b和d三点的位置都是已知的了，这样直角三角形abd的边长就可以计算出来，角a的值也可以根据三角函数tan(a)＝ad/bd计算出来，这样，平面反光镜1与水平面的夹角即为a/2；
81.确定紫外光源1位置；紫外光源1中心位于直线bd上，方向竖直向上，连通散热器5一起固定在外壳6的底板上，这样紫外光源1的位置也确定了；
82.确定抛物面焦点位置；由于紫外光源1有一个会聚透镜12，可以计算出对于平面反光镜4而言，其等效光源位于线段bd上的c点。对于抛物面反光镜2而言，其等效光源位于线段ab的延长线上的f点，且bf＝bc，f点同时也是抛物面的焦点，这样焦点位置就确定了；
83.确定抛物面形状；为了描述抛物面的形状，需要一个方程，如图6所示，建立一个xyz三维垂直坐标系，坐标原点位于抛物面右侧中心最低点处，z轴沿平行反射光方向，抛物面的对称轴也平行于z轴，且开口方向朝上。因为焦点f的位置已经确定，在此坐标系中，f点的坐标(0,m,h)也是已知的，抛物面的顶点坐标为(0,m,z0)，其中z0为未知数。这样就可以写出抛物面的一般方程：x2+(y-m)2＝2p(z-z0)，其中p和z0为未知数，但根据已知条件可以计算出p和z0的值，从而确定抛物面方程，过程如下：
84.因为抛物面经过坐标原点(0，0，0)，把坐标值带入方程得到：02+(0-m)2＝2p(0-z0)，即：m2＝-2pz0；
85.根据抛物面焦距公式可知：p/2＝h-z0，即p＝2(h-z0)，带入到：m2＝-2pz0，得到：m2＝-4(h-z0)z0，整理得到关于z0的一元二次方程：4z
02-4hz
0-m2＝0，解这个方程并考虑到z0为负值，得到：z0＝[h-(h2+m2)
1/2
]/2，带入到方程p/2＝h-z0，即可得到：p＝h+(h2+m2)
1/2
，至此，抛物面方程确定，抛物面上任何一点的坐标都可以确定了，从而形状也确定了。
[0086]
在本技术一实施例中，如图5所示，抛物面反光镜2是放在液晶屏正下方的底板上；确定平面反光镜4的位置，就是确定平面反光镜4的中心b点，使其可围绕穿过b点且垂直图5部面的轴转动；确定紫外光源1的位置和角度，紫外光源1连同散热器一起安装在左下角，中心光线(光轴)对准b点，这样角度和位置就都确定了，c点同样是对于平面反光镜4而言的等
效光源点；调整平面反光镜4的角度，使入射光线cb的反射光对准抛物面反光镜2底部的中心点a，因a、b、c三点的位置都确定了，那么三角形abc的边长也就能计算出来，角a也能计算出来了，那么平面反光镜4的偏转角也就可以计算出来了；对于抛物线反光镜2，与前例一样，其等效光源点在线段db延长线上的f点，且bf＝bc，f点也是抛物面的焦点，这样焦点位置就确定了；最后抛物面方程的确定过程与前例完全一样。
[0087]
在本技术一实施例中，先确定好b点；确定紫外光源1的位置，使其出射光的中心线(光轴)对准b点，这样角度就确定了；调整平面反光镜角度，使b点反射光对准底板上抛物面反光镜底部的中心c点，这样三角形abc的三个顶点都确定了；其余步骤与上述实施例中相同。
[0088]
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相似的部分互相参见即可。
[0089]
尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。
[0090]
最后，还需要说明的是，在本文中，诸如抛物面和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端装置中还存在另外的相同要素。
[0091]
以上对本发明所提供的新型紫外平行光源装置及实现方法，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。