一种光罩显影专用固定装置的制作方法

1.本实用新型涉及光罩显影技术领域，具体为一种光罩显影专用固定装置。


背景技术：

[0002] 光罩(英文:reticle, mask):在制作ic的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。业内又称光掩模版、掩膜版，英文名称 mask 或 photomask)，材质:石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为:曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。
[0003]
光罩在蚀刻后需要进行显影，显影时需要将光罩进行固定，显影的固定装置结构单一，无法提高显影质量，因此，有必要进行改进。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型的目的在于提供一种光罩显影专用固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0005]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光罩显影专用固定装置, 包括外框架，所述外框架底部安装导流板，所述外框架内腔等间距安装多块分隔板，相邻两块所述分隔板之间为光罩放置仓，每个所述的光罩放置仓内均安装夹紧组件，所述夹紧组件夹紧待显影光罩。
[0006]
优选的，本申请提供的一种光罩显影专用固定装置，其中，所述夹紧组件包括对称设置的两组夹紧装置，每组所述的夹紧装置包括顶紧板和压缩弹簧，所述顶紧板与外框架内壁之间安装压缩弹簧，所述顶紧板和压缩弹簧均采用聚四氟乙烯材质制成。
[0007]
优选的，本申请提供的一种光罩显影专用固定装置，其中，所述导流板包括板体，所述板体表面均布若干导流孔，所述板体采用聚四氟乙烯材质制成。
[0008]
优选的，本申请提供的一种光罩显影专用固定装置，其中，所述分隔板设置10
‑
12块。
[0009]
优选的，本申请提供的一种光罩显影专用固定装置，其中，所述顶紧板外表面采用波浪形结构。
[0010]
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计新颖，能够实现对多个光罩进行夹紧固定，能够提高显影均匀性和显影效率；其中，采用的夹紧组件通过压缩弹簧带动顶紧板的移动，进而实现对光罩两侧夹紧，夹紧稳定性好；另外，在外框架底部安装导流板，能够起到导流显影液的作用，提高了光罩显影均匀性。
附图说明
[0011]
图1为本实用新型结构示意图；
[0012]
图2为本实用新型俯视图；
[0013]
图3为本实用新型导流板俯视图；
[0014]
图中：外框架1、导流板2、分隔板3、光罩4、顶紧板5、压缩弹簧6、板体7、导流孔8。
具体实施方式
[0015]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0016]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、
ꢀ“
下”、
ꢀ“
内”、
ꢀ“
外”“前端”、
ꢀ“
后端”、
ꢀ“
两端”、
ꢀ“
一端”、
ꢀ“
另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、
ꢀ“
第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0017]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、
ꢀ“
设置有”、
ꢀ“
连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0018]
请参阅图1
‑
3，本实用新型提供一种技术方案：一种光罩显影专用固定装置, 包括外框架1，所述外框架1底部安装导流板2，所述外框架1内腔等间距安装多块分隔板3，分隔板3设置10
‑
12块，相邻两块所述分隔板3之间为光罩放置仓，每个所述的光罩放置仓内均安装夹紧组件，所述夹紧组件夹紧待显影光罩4。
[0019]
本实用新型中，夹紧组件包括对称设置的两组夹紧装置，每组所述的夹紧装置包括顶紧板5和压缩弹簧6，所述顶紧板5与外框架1内壁之间安装压缩弹簧6，所述顶紧板5和压缩弹簧6均采用聚四氟乙烯材质制成，顶紧板5外表面采用波浪形结构。
[0020]
此外，本实用新型中，导流板2包括板体7，所述板体7表面均布若干导流孔8，所述板体7采用聚四氟乙烯材质制成。
[0021]
综上所述，本实用新型结构设计新颖，能够实现对多个光罩进行夹紧固定，能够提高显影均匀性和显影效率；其中，采用的夹紧组件通过压缩弹簧带动顶紧板的移动，进而实现对光罩两侧夹紧，夹紧稳定性好；另外，在外框架底部安装导流板，能够起到导流显影液的作用，提高了光罩显影均匀性。
[0022]
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制
所涉及的权利要求。


技术特征：
1.一种光罩显影专用固定装置,包括外框架(1)，其特征在于：所述外框架(1)底部安装导流板(2)，所述外框架(1)内腔等间距安装多块分隔板(3)，相邻两块所述分隔板(3)之间为光罩放置仓，每个所述的光罩放置仓内均安装夹紧组件，所述夹紧组件夹紧待显影光罩(4)。2.根据权利要求1所述的一种光罩显影专用固定装置，其特征在于：所述夹紧组件包括对称设置的两组夹紧装置，每组所述的夹紧装置包括顶紧板(5)和压缩弹簧(6)，所述顶紧板(5)与外框架(1)内壁之间安装压缩弹簧(6)，所述顶紧板(5)和压缩弹簧(6)均采用聚四氟乙烯材质制成。3.根据权利要求1所述的一种光罩显影专用固定装置，其特征在于：所述导流板(2)包括板体(7)，所述板体(7)表面均布若干导流孔(8)，所述板体(7)采用聚四氟乙烯材质制成。4.根据权利要求1所述的一种光罩显影专用固定装置，其特征在于：所述分隔板(3)设置10
‑
12块。5.根据权利要求2所述的一种光罩显影专用固定装置，其特征在于：所述顶紧板(5)外表面采用波浪形结构。

技术总结
本实用新型公开了一种光罩显影专用固定装置，包括外框架，外框架底部安装导流板，外框架内腔等间距安装多块分隔板，相邻两块分隔板之间为光罩放置仓，每个光罩放置仓内均安装夹紧组件，夹紧组件夹紧待显影光罩，本实用新型结构设计新颖，能够实现对多个光罩进行夹紧固定，能够提高显影均匀性和显影效率。能够提高显影均匀性和显影效率。能够提高显影均匀性和显影效率。


技术研发人员：郑永庆 张衡 陈宏渊
受保护的技术使用者：艾斯尔光电（南通）有限公司
技术研发日：2021.04.20
技术公布日：2021/12/14