一种显影液的喷洒装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻设备技术领域，具体为一种显影液的喷洒装置。


背景技术：

2.显影机主要包括上、下喷淋机构以及设置在上喷淋机构与下喷淋机构之间的滚轮输送机构，待显影的电路板板置于滚轮输送机构经过上、下喷淋机构，显影液通过上、下喷淋机构喷洒在电路板板的上、下板面将电路板板上曝光后的图形显像出。
3.目前，在对玻璃基板的表面进行显影液喷洒时多使用单个喷头进行喷洒，由于喷头的在喷洒时存在喷洒不均的现象，导致显影液在玻璃基板表面的分布不均匀，对光刻生产造成影响。为此，需要设计一种新的技术方案给予解决。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种显影液的喷洒装置，解决了现有技术中玻璃基板表面喷洒显影液不均匀的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种显影液的喷洒装置，包括固定架、调节板、第一喷头和第二喷头，所述固定架的下方固定连接有导向板，所述导向板的两侧分别设有滑槽，所述导向板的表面开设有定位槽，所述调节板位于导向板的表面且与导向板滑动连接，所述调节板的表面固定连接有并排分布的第一喷头和第二喷头，所述第一喷头和第二喷头与调节板的连接处均设有转向架，所述第一喷头和第二喷头之间固定设有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的上端设有止动块，所述锁紧螺栓的下端固定连接有转轮。
6.作为上述技术方案的改进，所述调节板呈u形扣接于导向板的表面，所述调节板的内壁设有弧形凸起，所述弧形凸起内嵌于滑槽内且与滑槽滑动连接。
7.作为上述技术方案的改进，所述转向架呈l形且上端与调节板固定连接，所述转向架的下端与第一喷头转动连接。
8.作为上述技术方案的改进，所述导向板呈45
°
倾斜分布，所述定位槽的内部嵌入连接有固定螺栓。
9.作为上述技术方案的改进，所述定位槽呈梯形状且内壁开设有均匀分布的阻力槽，所述止动块与定位槽的内壁接处连接。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.本实用新型通过在固定架的表面设有滑动连接的调节板，方便对第一喷头和第二喷头的位置进行调节，提高对不同大小玻璃基板表面喷洒的通用性，通过采用并列分布的第一喷头和第二喷头，利用喷头的交叉重叠喷洒部分，提高显影液喷洒的均匀性。
附图说明
12.图1为本实用新型所述显影液的喷洒装置侧视结构示意图；
13.图2为本实用新型所述调节板结构示意图；
14.图3为本实用新型所述导向板结构示意图。
15.图中：固定架
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1，调节板
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2，第一喷头
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3，第二喷头
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4，导向板
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5，滑槽
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6，定位槽
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7，转向架
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8，锁紧螺栓
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9，止动块
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10，转轮
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11，弧形凸起
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12，固定螺栓
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13，阻力槽
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14。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
17.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案：一种显影液的喷洒装置，包括固定架1、调节板2、第一喷头3和第二喷头4，所述固定架1的下方固定连接有导向板5，所述导向板5的两侧分别设有滑槽6，所述导向板5的表面开设有定位槽7，所述调节板2位于导向板5的表面且与导向板5滑动连接，所述调节板2的表面固定连接有并排分布的第一喷头3和第二喷头4，所述第一喷头3和第二喷头4与调节板2的连接处均设有转向架8，所述第一喷头3和第二喷头4之间固定设有锁紧螺栓9，所述锁紧螺栓9的上端设有止动块10，所述锁紧螺栓9的下端固定连接有转轮11。
18.进一步改进地，所述调节板2呈u形扣接于导向板5的表面，所述调节板2的内壁设有弧形凸起12，所述弧形凸起12内嵌于滑槽6内且与滑槽6滑动连接，通过采用u形的调节板2设计，方便提高调节板2与导向板5之间连接的稳定性。
19.进一步改进地，所述转向架8呈l形且上端与调节板2固定连接，所述转向架8的下端与第一喷头3转动连接，通过在采用l形的转向架8连接调节板2和第一喷头3，提高第一喷头3与调节板2之间连接的稳定性，同时便于对第一喷头3的角度进行调节。
20.进一步改进地，所述导向板5呈45
°
倾斜分布，所述定位槽7的内部嵌入连接有固定螺栓13，通过采用倾斜分布的导向板5，方便调节喷头与玻璃基板之间的距离，从而方便对不同大小的玻璃基板表面进行喷洒。
21.具体改进地，所述定位槽7呈梯形状且内壁开设有均匀分布的阻力槽14，所述止动块10与定位槽7的内壁接处连接，通过在采用梯形状的定位槽7，配合其内壁的阻力槽14，提高止动块10与定位槽7之间的摩擦力，便于对调节板2进行锁紧固定。
22.本实用新型的固定架
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1、调节板
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2、第一喷头
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3、第二喷头
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4、导向板
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5、滑槽
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6、定位槽
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7、转向架
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8、锁紧螺栓
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9、止动块
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10、转轮
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11、弧形凸起
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12、固定螺栓
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13、阻力槽
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14，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件、其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型通过在固定架1的表面设有滑动连接的调节板2，方便对第一喷头3和第二喷头4的位置进行调节，提高对不同大小玻璃基板表面喷洒的通用性，通过采用并列分布的第一喷头3和第二喷头4，利用喷头的交叉重叠喷洒部分，提高显影液喷洒的均匀性。
23.本实用新型在使用时，根据玻璃基板的大小，控制调节板2在导向板5表面的位置并使用锁紧螺栓9进行固定，从而调节喷头的显影液喷出的范围，同时利用第一喷头3和第二喷头4重叠的喷洒面积，对玻璃基板表面进行显影液喷洒，提高玻璃基板表面喷洒的均匀性。
24.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本
实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
25.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。