体全息光栅制作装置、体全息光波导及其制作方法与应用与流程

1.本发明实施例涉及光学技术领域，特别涉及体全息光栅制作装置、体全息光波导及其制作方法与应用。


背景技术：

2.在光学显示装置中，增强现实技术作为一种将真实世界和虚拟世界叠加投射在用户眼前的科技，在军事、工业、教育、娱乐、交通运输等领域具有着重要的意义。
3.其中，由于阵列光波导和浮雕光栅波导制作工艺难度高、制作成本高，常常采用体全息光波导作为增强现实的关键显示器件。而在体全息光波导中，二维扩瞳体全息光波导是近年来的研究热点，二维扩瞳体全息光波导由耦入光栅、转折光栅、耦出光栅及波导基底组成。
4.对于二维扩瞳体全息光波导，通常由全息干板曝光制作得到。而由于涂覆型体全息干板材料的光学敏感特性，需要在暗室条件下、对耦入、转折和耦出三个部分的光栅结构进行一次性曝光，这就导致制作光路复杂；另外，制作光路复杂和实验的偶然性也导致良品率低、以及无法实现工业化大规模量产。


技术实现要素：

5.本发明实施例提供体全息光栅制作装置、体全息光波导及其制作方法与应用，该制作装置简单且良品率高，同时通过对曝光后的体全息膜进行切割，贴覆于波导基底相应区域，可制得体全息光波导，这种方式可实现大规模的量产，提高生产效率，且制成的体全息光波导应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。
6.第一方面，本发明实施方式采用的一个技术方案是：提供一种体全息光栅的制作装置，所述制作装置包括：激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；所述分光单元的入光侧设于所述激光光源的出光侧，所述分光单元用于将所述激光光源的光线分成从所述分光单元的第一出光侧出射的第一光束、以及从所述分光单元的第二出光侧出射的第二光束；所述第一反射单元设于所述第一出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第一反射单元的出光侧，所述第一反射单元用于将所述第一光束出射至所述体全息膜；所述第二反射单元设于所述第二出光侧，所述第一棱镜的第一侧设于所述第二反射单元的出光侧，所述体全息膜的第二侧设于所述第一棱镜的第二侧，所述第二反射单元用于将所述第二光束出射至所述第一棱镜的第一侧，所述第一棱镜用于通过所述第一棱镜的第一侧接收所述第二光束，并将所述第二光束通过所述第一棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；所述渐变衰减片设于所述第一光束的光路中、用于对所述第一光束的透射率进行调制，和/或，设于所述第二光束的光路中、用于对所述第二光束的透射率进行调制；所述体全息膜用于被所述第一光束和所述第二光束干涉曝光，形成所述体全息光栅。
7.在一些实施例中，所述第一反射单元包括第一反射镜；所述第一反射镜设于所述
第一出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第一反射镜的反射方向上。
8.在一些实施例中，所述第二反射单元包括第二反射镜和第三反射镜；所述第二反射镜设于所述第二出光侧，所述第三反射镜设于所述第二反射镜的反射方向上，所述第一棱镜的第一侧设于所述第三反射镜的反射方向上。
9.在一些实施例中，所述第三反射镜设于滑轨旋转台上。
10.在一些实施例中，所述激光光源包括合束器和至少一个激光器；每一所述激光器分别设于所述合束器的每一输入端，所述分光单元的入光侧设于所述合束器的输出端。
11.第二方面，本发明实施例还提供一种体全息光栅的制作装置，所述制作装置包括：激光光源、分光单元、第一反射单元，第二反射单元、第一棱镜、第二棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；所述分光单元的入光侧设于所述激光光源的出光侧，所述分光单元用于将所述激光光源的光线分成从所述分光单元的第一出光侧出射的第一光束、以及从所述分光单元的第二出光侧出射的第二光束；所述第一反射单元设于所述第一出光侧，所述第二棱镜的第一侧设于所述第一反射单元的出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第二棱镜的第二侧，所述第一反射单元用于将所述第一光束出射至所述第二棱镜的第一侧，所述第二棱镜用于通过所述第二棱镜的第一侧接收所述第一光束，并将所述第一光束通过所述第二棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；所述第二反射单元设于所述第二出光侧，所述第一棱镜的第一侧设于所述第二反射单元的出光侧，所述体全息膜的第二侧设于所述第一棱镜的第二侧，所述第二反射单元用于将所述第二光束出射至所述第一棱镜的第一侧，所述第一棱镜用于通过所述第一棱镜的第一侧接收所述第二光束，并将所述第二光束通过所述第一棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；所述渐变衰减片设于所述第一光束的光路中、用于对所述第一光束的透射率进行调制，和/或，设于所述第二光束的光路中、用于对所述第二光束的透射率进行调制；所述体全息膜用于被所述第一光束和所述第二光束干涉曝光，形成所述体全息光栅。
12.在一些实施例中，所述第一反射单元包括第一反射镜；所述第一反射镜设于所述第一出光侧，所述第二棱镜的第一侧设于所述第一反射镜的反射方向上。
13.在一些实施例中，所述第二反射单元包括第二反射镜和第三反射镜；所述第二反射镜设于所述第二出光侧，所述第三反射镜设于所述第二反射镜的反射方向上，所述第一棱镜的第一侧设于所述第三反射镜的反射方向上。
14.在一些实施例中，所述第一反射镜设于第一滑轨旋转台，和/或，所述第三反射镜设于第二滑轨旋转台。
15.在一些实施例中，所述激光光源包括合束器和至少一个激光器；每一所述激光器分别设于所述合束器的每一输入端，所述分光单元的入光侧设于所述合束器的输出端。
16.第三方面，本发明实施例还提供一种体全息光波导的制作方法，包括：通过如第一方面任意一项所述的制作装置获得第一体全息光栅，对所述第一体全息光栅进行切割，得到耦入光栅和/或耦出光栅；和/或，通过如第二方面任意一项所述的制作装置获得第二体全息光栅，对所述第二体全息光栅进行切割，得到转折光栅；提供一透明基底，所述透明基底包括第一区域、第二区域和第三区域；将一个所述耦入光栅贴合设置在所述第一区域，将一个所述耦出光栅贴合设置在所述第二区域，将一个所述转折光栅贴合设置在所述第三区域，或者，将多个所述耦入光栅依次层叠贴合设置在所述第一区域，将多个所述耦出光栅依
次层叠贴合设置在所述第二区域，将多个所述转折光栅依次层叠贴合设置在所述第三区域，从而得到所述体全息光波导。
17.第四方面，本发明实施例还提供一种体全息光波导，所述体全息光波导由第三方面所述的制作方法制成。
18.在一些实施例中，所述体全息光波导为角度复用和/或波长复用的体全息光波导。
19.第五方面，本发明实施例还提供一种近眼显示设备，包括如第四方面任意一项所述的体全息光波导。
20.与现有技术相比，本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明实施例提供体全息光栅制作装置、体全息光波导及其制作方法、近眼显示设备，该制作装置包括激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片，或者，该制作装置包括激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、第二棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；上述制作装置简单且良品率高，同时通过对曝光后的体全息膜进行切割，贴覆于波导基底相应区域，可制得体全息光波导，这种方式可实现大规模的量产，提高生产效率，且制成的体全息光波导应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。
附图说明
21.一个或多个实施例中通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件/模块和步骤表示为类似的元件/模块和步骤，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
22.图1是本发明实施例提供的一种体全息光栅的制作装置的结构示意图；图2是本发明实施例提供的另一种体全息光栅的制作装置的结构示意图；图3是本发明实施例提供的再一种体全息光栅的制作装置在第一视角下的结构示意图；图4是图3中的部分结构在第二视角下的示意图；图5是图3中的部分光路示意图；图6是本发明实施例提供的又一种体全息光栅的制作装置；图7是本发明实施例提供的一种第一体全息光栅的切割示意图；图8是本发明实施例提供的一种第二体全息光栅的切割示意图；图9是本发明实施例提供的一种体全息光波导的结构示意图；图10是本发明实施例提供的另一种体全息光波导的结构示意图。
23.附图标记说明：10-激光光源，11-红光激光器，12-蓝光激光器，13-绿光激光器，14-合束器，15-空间滤波器，16-傅里叶准直透镜，20-分光单元，31-第一反射单元，32-第二反射单元，321-第二反射镜，322-第三反射镜，41-第二棱镜，42-第一棱镜，50-体全息膜，61-第一渐变衰减片，62-第二渐变衰减片，71-第一光阑，72-第二光阑，80-偏振分光棱镜，l1-第一光束，l2-第二光束，51-第一体全息光栅，511-耦入光栅，512-耦出光栅，52-第二体全息光栅，521-转折光栅，200-透明基底。
具体实施方式
24.下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。
25.为了便于理解本技术，下面结合附图和具体实施例，对本技术进行更详细的说明。除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是用于限制本技术。本说明书所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
26.需要说明的是，如果不冲突，本发明实施例中的各个特征可以相互结合，均在本技术的保护范围之内。另外，虽然在装置示意图中进行了功能模块划分，但是在某些情况下，可以以不同于装置中的模块划分。此外，本文所采用的“第一”、“第二”等字样并不对数据和执行次序进行限定，仅是对功能和作用基本相同的相同项或相似项进行区分。
27.第一方面，本发明实施例提供一种体全息光栅的制作装置，请参阅图1，该制作装置包括：激光光源10、分光单元20、第一反射单元31、第二反射单元32、第一棱镜42、体全息膜50和至少一片渐变衰减片。
28.其中，分光单元20的入光侧设于激光光源10的出光侧，分光单元20用于将激光光源10的光线分成从分光单元20的第一出光侧出射的第一光束l1、以及从分光单元20的第二出光侧出射的第二光束l2。第一反射单元31设于分光单元20的第一出光侧，体全息膜50的第一侧设于第一反射单元31的出光侧，第一反射单元31用于将第一光束l1出射至体全息膜50。第二反射单元32设于分光单元20的第二出光侧，第一棱镜42的第一侧设于第二反射单元32的出光侧，体全息膜50的第二侧设于第一棱镜42的第二侧，第二反射单元32用于将第二光束l2出射至第一棱镜42的第一侧，第一棱镜42用于通过第一棱镜42的第一侧接收第二光束l2，并将第二光束l2通过第一棱镜42的第二侧出射至体全息膜50。所述渐变衰减片设于第一光束l1的光路中、用于对第一光束l1的透射率进行调制，和/或，所述渐变衰减片设于第二光束l2的光路中、用于对第二光束l2的透射率进行调制。体全息膜50用于被第一光束l1和第二光束l2干涉曝光，形成体全息光栅。
29.具体的，体全息膜50包括pet（polyester，聚酯）膜和涂敷在pet膜上的体全息材料，其中，体全息材料可以是银盐、光致聚合物、重铬酸盐明胶、光折变材料、光致各向异性材料，或者是其他一切可用于曝光后记录干涉条纹的光敏材料；示例性的，银盐可为卤化银乳胶。同时，体全息膜50的第二侧通过折射率匹配液贴合设置在第一棱镜42的第二侧。
30.示例性的，请继续参阅图1，所述至少一片渐变衰减片包括第一渐变衰减片61和第二渐变衰减片62，第一渐变衰减片61设于第一反射单元31和体全息膜50的第一侧之间，第二渐变衰减片62设于第二反射单元32和第一棱镜42的第一侧之间。其中，渐变衰减片的衰减比例随位移渐变，这样，通过渐变衰减片调制不同区域的光线透射率，通过不同曝光区域不同曝光量来控制衍射效率，最终制得的体全息光栅在不同区域的衍射效率不同，可呈现一定规律性变化，保证每次耦出的能量相同。
31.在该制作装置中，首先，激光光源10的光线通过分光单元20后，分成第一光束l1和
第二光束l2；然后，第一光束l1经过第一反射单元31、第一渐变衰减片61后出射至体全息膜50的第一侧，第二光束l2经过第二反射单元32、第二渐变衰减片62和第一棱镜42出射至体全息膜50的第二侧；最后，第一光束l1和第二光束l2在体全息膜50上进行干涉，形成体全息光栅。实际应用中，第一渐变衰减片61也可放置在分光单元20的第一出光侧和第一反射单元31之间，第二渐变衰减片62也可放置在分光单元20的第二出光侧和第二反射单元32之间，其中，渐变衰减片的数量及位置均可根据实际需要进行设置，在此不需拘泥于本实施例中的限定。
32.首先，该制作装置通过采用体全息膜50进行曝光，相比于采用全息干板，由于体全息膜50具有更强的柔韧性和极为轻薄的厚度，使得在制作体全息光栅过程中更加简单灵活。其次，通过设置第一渐变衰减片61和/或第二渐变衰减片62的不同区域的衰减比例，可以改变第一光束l1和/或第二光束l2的光线透过率，通过控制曝光量控制衍射效率，从而在体全息膜50上制得不同区域的衍射效率呈现一定规律，保证最终耦出光栅中每次都出的能量相同，从而保证均匀的显示亮度。另外，在该制作装置中，制作光路简易且良品率高。同时，制得的体全息光栅可用做体全息光波导中的耦入光栅和耦出光栅，后续通过对制得的光栅进行切割，并将其贴合设置在透明基底（如玻璃基底、树脂基底等）上，可制得体全息光波导，这种制作体全息光波导方式简单、且可实现大规模的量产，能提高体全息光波导的生产效率，最终制成的体全息光波导应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。
33.在另外一些实施例中，也可用移动式挡板代替渐变衰减片，同样也可以在体全息膜上制得不同区域的衍射效率呈现一定规律变化的光栅结构。然而采用移动式挡板进行制作时，在移动式挡板的边缘处光线会发生衍射，从而使曝光过程中会产生杂光，降低良品率。为了保证良品率，通常采用渐变衰减片进行制作。
34.在制作过程中，通过改变曝光参数可以制得各种体全息光栅，其中，曝光参数包括曝光光线的波长个数、曝光角度。曝光角度包括第一光束l1入射至体全息膜50的第一侧的入射角度和第二光束l2入射至体全息膜50的第二侧的入射角度，可以理解的是，只要存在某一光束的入射角度不同，则可认为曝光角度不同。
35.可选的，在制作过程中，如果仅采用一种波长的光线在某一组曝光角度下对体全息膜50曝光一次，那么在体全息膜50上会形成一种对应曝光光线波长及曝光角度的全息干涉条纹，即体全息光栅上具有一种对应曝光光线波长及曝光角度的周期性折射率调制结构。通过这种方式制得的体全息光栅，能对与曝光光线波长对应的入射光线实现衍射。
36.可选的，如果仅采用n个不同波长的光线合束后对一块体全息膜同时曝光，那么在体全息膜上会形成n种对应n个不同波长的全息干涉条纹，即在制得的体全息光栅上具有n种对应n个不同波长的折射率调制结构，从而得到波长复用的体全息光栅，其中，n为大于或等于2的整数。在该波长复用的体全息光栅中，对于n个不同波长的光线在同一组曝光角度下形成的不同体全息干涉条纹，这些全息干涉条纹对应的光栅矢量方向相同，即这些全息干涉条纹之间具有相同的条纹倾角。即在体全息光栅中，分别具有n种条纹周期的折射率调制结构，并且，n种折射率调制结构的条纹倾角相同，且这些全息干涉条纹的条纹周期与波长相关。
37.具体的，当采用红光、绿光和蓝光的光线合束后同时曝光，在体全息膜50上将形成对应红光曝光得到的全息干涉条纹、对应绿光曝光得到的全息干涉条纹、以及对应蓝光曝
光得到的全息干涉条纹，即在制得的体全息光栅上，分别形成三种对应红光、绿光和蓝光的折射率调制结构，从而得到波长复用的体全息光栅，能对红光、绿光和蓝光这三种波长的光线实现波长复用。例如，当入射光为rgb激光光源时，即当入射光同时包括红光、绿光和蓝光时，该波长复用的体全息光栅能同时对红光、绿光和蓝光发生衍射。另外，在曝光过程中，可以通过调节红光、绿光和蓝光的激光能量比例，使体全息光栅对红光、绿光和蓝光这三色光束的衍射效率大致相同，从而抑制彩虹效应。
38.在该波长复用的体全息光栅中，在同一组曝光角度下，红光对应的全息干涉条纹、绿光对应的全息干涉条纹和蓝光对应的全息干涉条纹对应的光栅矢量方向相同，即具有相同的条纹倾角，但其相应的条纹周期分别与波长相关，即不同波长的光线曝光形成的全息干涉条纹之间的条纹周期并不相等。
39.可选的，在制作过程中，如果采用同一波长的光线以m组不同的曝光角度对一块体全息膜进行m次曝光时，得到的在体全息膜上会形成m种对应m组曝光角度的全息干涉条纹。即在制得的体全息光栅中将具有m种对应m组曝光角度的全息干涉条纹，从而得到角度复用的体全息光栅，其中，m为大于或等于2的整数。
40.其中，在该角度复用的体全息光栅中，对于同一波长的光线在m组不同曝光角度下形成的m种不同的全息干涉条纹，这些全息干涉条纹具有相同的条纹周期、不同的条纹倾角。例如，采用同一波长的光线以三组曝光角度对体全息膜进行三次曝光，得到的体全息光栅中，分别具有三种对应三组曝光角度的全息干涉条纹，这三组全息干涉条纹中条纹周期相同，但条纹倾角不同。
41.可以理解的是，对于制得的角度复用的体全息光栅，当采用对应曝光时所用的波长的光线入射至该角度复用的体全息光栅中，即使以大角度入射至该角度复用的体全息光栅，该角度复用的体全息光栅仍然具有较高的衍射效率，后续应用于光波导中，可实现角度复用以及良好的大视场显示。
42.可选的，在制作过程中，如果采用不同波长的光线分别以不同的曝光角度对体全息膜进行曝光，这样可以得到兼具角度复用和波长复用功能的体全息光栅。可以理解的是，当采用由n个不同波长的光线合束成的光束以m组不同的曝光角度对一块体全息膜曝光m次时，在体全息膜上会形成n*m种全息干涉条纹，即在制得的体全息光栅中，将具有n*m种周期性折射率调制结构，通过这种方式制作体全息光栅，可以得到兼具角度复用和波长复用的体全息光栅。
43.在其中一些实施例中，分光单元20包括分光镜，该分光镜的入光侧设于激光光源10的出光侧，第一反射单元31的入光侧设于分光镜的透射侧，第二反射单元32的入光侧设于分光镜的反射侧。该分光镜用于将激光光源10的光线分成具有一定光强比的透射光与反射光。具体的，分光镜可以是一种镀膜玻璃，通过在光学玻璃表面镀上一层或多层薄膜，当一束光投射到镀膜玻璃上后，通过反射和透射，光束可被分为多束光。实际应用中，可以选用固定分束比分光镜和可变分束比分光镜，在此不做限定。
44.在其中一些实施例中，第一反射单元31包括第一反射镜；第一反射镜设于分光单元20的第一出光侧，体全息膜50的第一侧设于第一反射镜的反射方向上。第一反射镜用于将第一光束反射至体全息膜50的第一侧。实际应用中，第一反射单元31包括的反射镜数量可根据实际需要进行设置，在此不需拘泥于本实施例中的限定。
45.在其中一些实施例中，请参阅图1，第二反射单元32包括第二反射镜321和第三反射镜322；第二反射镜321设于分光单元20的第二出光侧，第三反射镜322设于第二反射镜321的反射方向上，第一棱镜42的第一侧设于第三反射镜322的反射方向上。其中，第二反射镜321用于将第二光束l2反射至第三反射镜322，第三反射镜322用于将第二光束l2反射至第一棱镜42的第一侧。实际应用中，第二反射单元32包括的反射镜数量及具体位置可根据实际需要进行设置，在此不需拘泥于本实施例中的限定。
46.在其中一些实施例中，请参阅图2，第三反射镜322设于滑轨旋转台上。该滑轨旋转台可带动第三反射镜322平移和旋转。具体的，该滑轨旋转台可带动第三反射镜322在滑轨旋转台所在平面、沿平行于体全息膜50的第一侧的方向进行移动，另外，该滑轨旋转台可带动第三反射镜322绕着第三反射镜322的中心进行旋转，通过滑轨旋转台带动第三反射镜322进行平移和旋转，可以改变第二光束l2在体全息膜50的第二侧的入射角度（即改变第二光束l2从体全息膜50的第二侧入射的角度），从而可以让体全息膜50被第二光束l2以不同入射角度曝光，实现改变曝光角度的目的。
47.在其中一些实施例中，第一反射镜也可以设于滑轨旋转台上。该滑轨旋转台可带动第一反射镜平移和旋转。具体的，该滑轨旋转台可带动第一反射镜在滑轨旋转台所在平面、沿平行于体全息膜50的第一侧的方向进行移动，另外，该滑轨旋转台可带动第一反射镜绕着第一反射镜的中心进行旋转，通过滑轨旋转台带动第一反射镜进行平移和旋转，可以改变第一光束在体全息膜50的第一侧的入射角度（即改变第一光束l1从体全息膜50的第一侧入射的角度），从而可以让体全息膜50被第一光束l1以不同入射角度曝光。
48.实际应用中，固定在滑轨旋转台的平面镜可以自由设置，在此不需拘泥于上述实施例中的限定。通过将所需平移或旋转的平面镜固定在滑轨旋转台中，可以改变曝光位置和曝光角度，从而制得各种样式的体全息光栅。
49.在其中一些实施例中，激光光源10包括合束器14和至少一个激光器；每一激光器分别设于合束器14的每一输入端，分光单元20的入光侧设于合束器14的输出端。
50.具体的，在其中一些实施例中，请一并参阅图2，激光光源10可包括红光激光器11、蓝光激光器12、绿光激光器13及合束器14，红光激光器11设于合束器14的第一输入端，蓝光激光器12设于合束器14的第二输入端，绿光激光器13设于合束器14的第三输入端，分光单元20的入光侧设于合束器14的输出端，这样，合束器14可将红光激光器11发射的红光、绿光激光器13发射的绿光以及蓝光激光器12发射的蓝光合为一束激光输出至分光单元20。实际应用中，各激光器的排布和合束器14的结构可根据实际需要进行设置，在此不需拘泥于本实施例中的限定。
51.这样，在该制作装置中，当采用红光、绿光和蓝光的光线合束后同时曝光，在体全息膜50上分别具有对应红光曝光得到的全息干涉条纹、对应绿光曝光得到的全息干涉条纹、以及对应蓝光曝光得到的全息干涉条纹，即在制得的体全息光栅上，分别形成三种对应红光、绿光和蓝光的折射率调制结构，从而得到波长复用的体全息光栅，能对红光、绿光和蓝光这三种波长的光线实现波长复用。例如，当入射光为rgb激光光源时，即当入射光同时包括红光、绿光和蓝光时，该波长复用的体全息光栅能同时对红光、绿光和蓝光发生衍射，实现全彩显示。另外，在曝光过程中，可以通过调节红光、绿光和蓝光的激光能量比例，使体全息光栅对红光、绿光和蓝光这三色光束的衍射效率大致相同，从而抑制彩虹效应。实际应
用中，可以根据实际需要选定所需波长的光线进行合束曝光，从而得到对对应波长的光线实现波长复用的体全息光栅。
52.在其中一些实施例中，合束器14可为x棱镜，由四个直角棱镜胶合而成，x棱镜的对角面上分别有相互正交的第一分色膜和第二分色膜，其中，第一分色膜是反射红光、透射绿光和蓝光的分色膜，第二分色膜是反射蓝光、透射红光和绿光的分色膜。合束器14也可以为其他合适的光谱合束器件，在此不做限定。
53.在其中一些实施例中，请继续参阅图2，制作装置还可包括偏振分光棱镜80。其中，偏振分光棱镜80的入光侧设于合束器14的输出端，分光单元20的入光侧设于偏振分光棱镜80的出光侧。该偏振分光棱镜80用于将激光光源10发射的光线以第一偏振态（例如s偏振态）的形式出射。具体的，该偏振分光棱镜80的入光侧和出光侧相邻设置，当激光光源10的光线经过偏振分光棱镜80的入光侧入射后，s偏振态的光线将经过偏振分光棱镜80的出光侧出射，而p偏振态的光线将经过偏振分光棱镜80透射。后续用于曝光的光线只有s偏振态的光线，这样能够过滤p偏振态的光线。
54.在其中一些实施例中，该制作装置还包括扩束准直单元，该扩束准直单元设于合束器14的输出端和分光单元20的入光侧之间。具体的，请参阅图2，该扩束准直单元包括空间滤波器15和傅里叶准直透镜16，空间滤波器15和傅里叶准直透镜16依次设于偏振分光棱镜80的出光侧和分光单元20的入光侧之间。这样，合束后的光线通过偏振分光棱镜80后先经过空间滤波器15进行发散后，再经过傅里叶准直透镜16对发散后的光线进行准直，保证发散后的光束的准直性，最终可得到大直径的、平行的光束。
55.在其中一些实施例中，该制作装置还包括至少一个光阑，所述光阑设于第一反射单元31和体全息膜50之间，和/或，设于第二反射单元32和体全息膜50之间。具体的，请参阅图2，该制作装置还可包括第一光阑71和第二光阑72，第一光阑71设于第一反射单元31和第一渐变衰减片61之间，第二光阑72设于第二反射单元32和第二渐变衰减片62之间，通过设置第一光阑71和第二光阑72的孔径，可对第一光束l1和第二光束l2的大小进行设定。
56.第二方面，本发明实施例还提供另一种体全息光栅的制作装置，请参阅图3，该制作装置包括：激光光源10、分光单元20、第一反射单元31，第二反射单元32、第一棱镜42、第二棱镜41、体全息膜50和至少一片渐变衰减片。
57.分光单元20的入光侧设于激光光源10的出光侧，分光单元20用于将激光光源10的光线分成从分光单元20的第一出光侧出射的第一光束l1、以及从分光单元20的第二出光侧出射的第二光束l2。第一反射单元31设于分光单元20的第一出光侧，第二棱镜41的第一侧设于第一反射单元31的出光侧，体全息膜50的第一侧设于第二棱镜41的第二侧，第一反射单元31用于将第一光束l1出射至第二棱镜41的第一侧，第二棱镜41用于通过第二棱镜41的第一侧接收第一光束l1，并将第一光束l1通过第二棱镜41的第二侧出射至体全息膜50。第二反射单元32设于分光单元20的第二出光侧，第一棱镜42的第一侧设于第二反射单元32的出光侧，体全息膜50的第二侧设于第一棱镜42的第二侧，第二反射单元32用于将第二光束l2出射至第一棱镜42的第一侧，第一棱镜42用于通过第一棱镜42的第一侧接收第二光束l2，并将第二光束l2通过第一棱镜42的第二侧出射至体全息膜50。渐变衰减片设于第一光束l1的光路中、用于对第一光束l1的透射率进行调制，和/或，设于第二光束l2的光路中、用于对第二光束l2的透射率进行调制。体全息膜50用于被第一光束l1和第二光束l2干涉曝
光，形成体全息光栅。
58.具体的，体全息膜50的构成同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。体全息膜50的第一侧通过折射率匹配液贴合设置在第一棱镜42的第二侧，体全息膜50的第二侧通过折射率匹配也贴合设置在第二棱镜41的第二侧。
59.示例性的，请继续参阅图3，所述至少一片渐变衰减片包括第一渐变衰减片61和第二渐变衰减片62，第一渐变衰减片61设于第一反射单元31和第二棱镜41的第一侧之间，第二渐变衰减片62设于第二反射单元32和第一棱镜42的第一侧之间。渐变衰减片的衰减比例的设置及其使制作装置具有的优势同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
60.在该制作装置中，首先，激光光源10的光线通过分光单元20后，分成第一光束l1和第二光束l2；然后，第一光束l1经过第一反射单元31、第一渐变衰减片61和第二棱镜41后出射至体全息膜50的第一侧，第二光束l2经过第二反射单元32、第二渐变衰减片62和第一棱镜42后出射至体全息膜50的第二侧；最后，第一光束l1和第二光束l2在体全息膜50上进行干涉，形成体全息光栅。实际应用中，渐变衰减片的数量和位置、以及渐变衰减片的替代方式的具体设置同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
61.首先，该制作装置通过采用体全息膜50进行曝光，相比于采用全息干板，由于体全息膜50具有更强的柔韧性和极为轻薄的厚度，使得在制作体全息光栅过程中更加简单灵活。其次，通过设置第一渐变衰减片61和/或第二渐变衰减片62在衰减片不同区域的衰减比例，可以改变第一光束l1和/或第二光束l2的光线透过率，通过控制曝光量控制衍射效率，从而在体全息膜50上制得在体全息膜50不同区域的衍射效率呈现一定规律变化的光栅结构。另外，在该制作装置中，制作光路简易且良品率高。同时，该制作装置通过两个棱镜使两束光线在体全息膜上进行干涉，制得的体全息光栅可用作体全息光波导中的转折光栅，后续通过对制得的光栅进行切割，并将其贴合设置在透明基底（如玻璃基底、树脂基底等）上，可用于制作二维扩瞳体全息光波导，这种制作体全息光波导的方式简单、且可实现大规模的量产，能提高体全息光波导的生产效率，最终制成的体全息光波导应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。
62.具体的，在其中一些实施例中，请参阅图4，第一棱镜42和第二棱镜41均为直角三角棱镜，体全息膜50的第二侧与第一棱镜42的第二侧通过折射率匹配液贴合设置，体全息膜50的第一侧与第二棱镜41的第二侧贴合设置，通过设置反射单元的位置，最终在体全息膜50处的曝光角度的正视图如图5中的（a）所示，在体全息膜50处的曝光角度的左视图如图5中的（b）所示，这样，通过各棱镜和反射单元的配合设置，可以改变第一光束l1入射至体全息膜50的入射角度、以及改变第二光束l2入射至体全息膜50的入射角度，从而在体全息膜50上制得不同样式的干涉条纹，最终曝光后可得到不同样式的体全息光栅。
63.在制作过程中，通过改变曝光参数可以制得各种体全息光栅，其中，曝光参数包括曝光光线的波长个数、曝光角度。曝光角度包括第一光束l1入射至体全息膜50的第一侧的入射角度和第二光束l2入射至体全息膜50的第二侧的入射角度，可以理解的是，只要存在某一光束的入射角度不同，则可认为曝光角度不同。应当理解的是，该制作装置制作波长复用和/或角度复用的全息光栅的过程及适应性情况同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
64.在其中一些实施例中，分光单元20包括分光镜，该分光镜的入光侧设于激光光源
10的出光侧，第一反射单元31的入光侧设于分光镜的透射侧，第二反射单元32的入光侧设于分光镜的反射侧。该分光镜的具体设置同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
65.在其中一些实施例中，第一反射单元31包括第一反射镜；第一反射镜设于分光单元20的第一出光侧，第二棱镜41的第一侧设于第一反射镜的反射方向上。第一反射镜用于将第一光束反射至第二棱镜41的第一侧。实际应用中，第一反射单元31包括的反射镜数量可根据实际需要进行设置，在此不需拘泥于本实施例中的限定。
66.在其中一些实施例中，请参阅图3，第二反射单元32包括第二反射镜321和第三反射镜322；第二反射镜321和第三反射镜322的具体设置同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
67.在其中一些实施例中，第一反射镜设于第一滑轨旋转台，和/或，第三反射镜设于第二滑轨旋转台。
68.在其中一些实施例中，请参阅图6，第一反射镜设于第一滑轨旋转台上。该第一滑轨旋转台可带动第一反射镜平移和旋转。具体的，该第一滑轨旋转台可带动第一反射镜在滑轨旋转台所在平面、沿平行于体全息膜50的第一侧的方向进行移动，另外，该第一滑轨旋转台可带动第一反射镜绕着第一反射镜的中心进行旋转，通过第一滑轨旋转台带动第一反射镜进行平移和旋转，可以改变第一光束l1在体全息膜50的第一侧的入射角度，从而可以让体全息膜50被第一光束l1以不同入射角度曝光。
69.在其中一些实施例中，请参阅图6，第三反射镜322设于第二滑轨旋转台上。该第二滑轨旋转台可带动第三反射镜322平移和旋转。第二滑轨旋转台带动第三反射镜322平移和旋转的具体过程及作用同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
70.在其中一些实施例中，激光光源10包括合束器14和至少一个激光器；每一激光器分别设于合束器14的每一输入端，分光单元20的入光侧设于合束器14的输出端。
71.在其中一些实施例中，请参阅图6，激光光源10可包括红光激光器11、蓝光激光器12、绿光激光器13及合束器14；红光激光器11、蓝光激光器12、绿光激光器13及合束器14的进一步设置同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
72.在其中一些实施例中，请继续参阅图6，制作装置还可包括偏振分光棱镜80。偏振分光棱镜80的具体设置及作用同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
73.在其中一些实施例中，该制作装置还包括扩束准直单元，该扩束准直单元设于合束器14的输出端和分光单元20的入光侧之间。具体的，请参阅图6，该扩束准直单元包括空间滤波器15和傅里叶准直透镜16；空间滤波器15和傅里叶准直透镜16的具体设置及作用同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
74.在其中一些实施例中，该制作装置还包括至少一个光阑，所述光阑设于第一反射单元31和体全息膜50之间，和/或，所述光阑设于第二反射单元32和体全息膜50之间。具体的，请参阅图6，该制作装置还包括第一光阑71和第二光阑72，第一光阑71和第二光阑72的具体设置同本发明第一方面的实施例所述，在此不再赘述。
75.第三方面，本发明实施例还提供一种体全息光波导的制作方法，该制作方法包括如下步骤s110至步骤s130。
76.步骤s110：通过如第一方面任意一项实施例所述的制作装置获得第一体全息光栅，对所述第一体全息光栅进行切割，得到耦入光栅和/或耦出光栅；和/或，通过如第二方
面任意一项实施例所述的制作装置获得第二体全息光栅，对所述第二体全息光栅进行切割，得到转折光栅。
77.步骤s120：提供一透明基底，透明基底包括第一区域、第二区域和第三区域。示例性的，透明基底可为玻璃基底、树脂基底等。
78.步骤s130：将一个所述耦入光栅贴合设置在所述第一区域，将一个所述耦出光栅贴合设置在所述第二区域，将一个所述转折光栅贴合设置在所述第三区域，或者，将多个所述耦入光栅依次层叠贴合设置在所述第一区域，将多个所述耦出光栅依次层叠贴合设置在所述第二区域，将多个所述转折光栅依次层叠贴合设置在所述第三区域，从而得到所述体全息光波导。
79.具体的，在该制作方法中，首先，通过如第一方面任意一项实施例所述的制作装置获得第一体全息光栅，如图7中的（a）所示，假设该第一体全息光栅51的衍射效率沿第一方向x逐渐递增。然后，对第一体全息光栅51进行切割，得到至少一块耦入光栅511和至少一块耦出光栅512，如图7中的（b）所示。在进行切割时，为了提高体全息光波导的衍射效率，通常在该第一体全息光栅51内衍射效率较大的位置选取耦入光栅511，如在图7中的（a），通常选取第一体全息光栅51右侧的光栅结构进行切割得到耦入光栅511。
80.接着，通过如第二方面任意一项实施例所述的制作装置获得第二体全息光栅52，如图8中的（a）所示，该第二体全息光栅52的衍射效率同样假设沿第一方向x逐渐递增。然后，对第二体全息光栅52进行切割，得到至少一块转折光栅521，如图8中的（b）所示。
81.最后，在透明基底（如玻璃基底、树脂基底等）200上将一个耦入光栅511、一个耦出光栅512和一个转折光栅521分别贴设在对应的区域，得到体全息光波导，如图9所示。
82.应当注意的时，在贴设过程中，通常按照有利于光线在整个波导区域的均匀分布的规律进行贴设。例如，如图9所示，可以使转折光栅521从靠近耦入光栅511的一侧到远离耦入光栅511的一侧的衍射效率呈现递增的趋势，即保证转折光栅521沿第一方向x的衍射效率递增，耦出光栅512从靠近转折光栅521的一侧到远离转折光栅521的一侧的衍射效率呈现递增的趋势，即保证耦出光栅512沿第二方向y递增，这样，可以保证光线在整个波导区域均匀分布。
83.另外，在贴设过程中，通常保证耦入光栅511能耦入带有图像信息的图像光线至透明基底200、并使图像光线沿朝转折光栅521的第一方向x进行全反射传播，转折光栅521能接收经耦入光栅511耦入的图像光线、并使图像光线沿第一方向x继续全反射传播、以及使图像光线沿朝耦出光栅512的第二方向y进行全反射传播，耦出光栅512最后能将图像光线从透明基底200中耦出。通常，第一方向x与第二方向y垂直。
84.可以理解的是，在同一块体全息光波导上的耦入光栅和耦出光栅的光栅周期应一致，因此，通常在制作时，常选用同一块第一体全息光栅进行切割得到耦入光栅和耦出光栅，实际应用中，也可以分别曝光得到曝光参数一致的第一体全息光栅，然后，对其分别切割得到耦入光栅和耦出光栅。
85.通过该制作方法制作的体全息光波导，制作方式简单、且可实现大规模的量产，能提高体全息光波导的生产效率，最终制成的体全息光波导应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。
86.可选的，在制作第一体全息光栅的过程中，采用n个不同波长的光线合束后以一组
曝光角度对一块体全息膜同时曝光，制得波长复用的第一体全息光栅；然后，对第一体全息光栅进行切割后，得到波长复用的耦入光栅、波长复用的耦出光栅。在制作第二体全息光栅的过程中，采用上述在制作第一体全息光栅时所用的n个光线进行制作，即将上述n个不同波长的光线合束后以一组曝光角度对一块体全息膜同时曝光，制得波长复用的第二体全息光栅；然后，对第二体全息光栅进行切割，得到波长复用的转折光栅。最后，将一个波长复用的耦入光栅、一个波长复用的耦出光栅、以及一个波长复用的转折光栅对应贴设在透明基底上的对应区域，可制得对n个不同波长的光线实现波长复用的体全息光波导。其中，n为大于或等于2的整数。
87.可选的，在制作第一体全息光栅的过程中，采用同一波长的光线以m组不同的曝光角度对一块体全息膜进行m次曝光时，制得角度复用的第一体全息光栅；然后，对第一体全息光栅进行切割后，得到角度复用的耦入光栅、角度复用的耦出光栅。在制作第二体全息光栅的过程中，采用上述在制作第一体全息光栅时所用的波长的光线进行制作，即将上述波长的光线后以m组不同的曝光角度对一块体全息膜进行m次曝光，制得角度复用的第二体全息光栅；然后，对第二体全息光栅进行切割，得到角度复用的转折光栅。最后，将一个角度复用的耦入光栅、一个角度复用的耦出光栅、以及一个角度复用的转折光栅对应贴设在透明基底上的对应区域，可制得角度复用的体全息光波导。其中，m为大于或等于2的整数。
88.可选的，在制作第一体全息光栅的过程中，采用由n个不同波长的光线合束成的光束以m组不同的曝光角度对一块体全息膜曝光m次，制得波长复用和角度复用的第一体全息光栅；然后，对第一体全息光栅进行切割后，得到波长复用和角度复用的耦入光栅、波长复用和角度复用的耦出光栅。在制作第二体全息光栅的过程中，采用上述n个不同波长的光线合束成的光束以m组不同的曝光角度对一块体全息膜曝光m次，制得波长复用和角度复用的第二体全息光栅；然后，对其进行切割后，得到波长复用和角度复用的转折光栅。最后，将一个波长复用和角度复用的耦入光栅、一个波长复用和角度复用的耦出光栅、以及一个波长复用和角度复用的转折光栅贴设在透明基底的对应区域上，可制得波长复用和角度复用的体全息光波导。
89.具体的，在制作第一体全息光栅的过程中，可以采用红光、蓝光和绿光合束后的光线以m组不同的曝光角度对体全息膜进行曝光，得到波长复用和角度复用的第一体全息光栅；然后，对第一体全息光栅进行切割，可得到波长复用和角度复用的耦入光栅、以及波长复用和角度复用的耦出光栅。同样的，在制作第二体全息光栅的过程中，同样采用红光、蓝光和绿光合束后的光线以m组不同的曝光角度对体全息膜进行曝光，得到波长复用和角度复用的第二体全息光栅；然后，对第二体全息光栅进行切割，可得到波长复用和角度复用的转折光栅。最后，将一个波长复用和角度复用的耦入光栅、一个波长复用和角度复用的耦出光栅、以及一个波长复用和角度复用的转折光栅贴设在透明基底的对应区域上，可制得波长复用和角度复用的体全息光波导。
90.那么，当红光、绿光和蓝光波长的光线入射至该波长复用和角度复用的体全息光波导时，该体全息光波导能同时对红光、绿光和蓝光进行耦入、转折和耦出，从而实现全彩显示；另外，当红光、绿光和蓝光的光线以大角度入射时，由于该体全息光波导具备角度复用功能，因此，该体全息光波导仍然能对这些光线具有较高的衍射效率，从而实现大视场显示。
91.为了保证衍射效率，可选的，在制作波长复用和角度复用的体全息光波导时，在制作第一体全息光栅过程中，先采用n个不同波长光线合束后的光线分别以m组不同的曝光角度对m块体全息膜进行曝光，使制得的m块第一体全息光栅均为波长复用的体全息光栅、且分别对应m组不同的曝光角度；然后，对m块第一体全息光栅切割后，得到对应m组不同曝光角度的m个波长复用的耦入光栅和m个波长复用的耦出光栅；接着，在制作第二体全息光栅过程中，同样采用上述n个不同波长光线合束后分别以m组不同的曝光角度对m块体全息膜进行曝光，使制得的m块第二体全息光栅均为波长复用的体全息光栅、且分别对应m组不同的曝光角度；然后，对m块第二体全息光栅切割后，得到对应m组不同曝光角度的m个波长复用的转折光栅；最后，将m个耦入光栅依次层叠贴设在第一区域，将m个耦出光栅依次层叠贴设在第二区域，将m个转折光栅依次层叠贴设在第三区域，同样也可得到波长复用和角度复用的体全息光波导。
92.具体的，在制作全彩大视场显示的体全息光波导中，可在制作第一体全息光栅的过程中，先采用红光、绿光和蓝光合束后的光线分别以m组不同的曝光角度对m块体全息膜进行曝光，使制得的m块第一体全息光栅均为波长复用的体全息光栅、且分别对应m组不同的曝光角度；然后，对m块第一体全息光栅切割后，得到对应m组不同曝光角度的m个波长复用的耦入光栅和m个波长复用的耦出光栅；接着，在制作第二体全息光栅过程中，同样采用红光、绿光和蓝光合束后的光线分别以m组不同的曝光角度对m块体全息膜进行曝光，使制得的m块第二体全息光栅均为波长复用的体全息光栅、且分别对应m组不同的曝光角度；然后，对m块第二体全息光栅切割后，得到对应m组不同曝光角度的m个波长复用的转折光栅；最后，将m个耦入光栅依次层叠贴设在第一区域，将m个耦出光栅依次层叠贴设在第二区域，将m个转折光栅依次层叠贴设在第三区域，同样也可得到波长复用和角度复用的体全息光波导，实现全彩大视场显示。
93.为了保证衍射效率，可选的，在制作波长复用和角度复用的体全息光波导时，在制作第一体全息光栅过程中，采用n个不同波长的光线分别对n块体全息膜进行曝光，并在同一块体全息膜曝光时，分别采用m组不同的曝光角度进行曝光，使制得的n块第一体全息光栅均为角度复用的体全息光栅、且分别对应n个不同波长的曝光光线；然后，对n块第一体全息光栅切割后，得到对应n个不同波长曝光光线的n个角度复用的耦入光栅和n个角度复用的耦出光栅；接着，在制作第二体全息光栅过程中，同样采用采用n个不同波长的光线分别对n块体全息膜进行曝光，并在同一块体全息膜曝光时，分别采用m组不同的曝光角度进行曝光，使制得的n块第二体全息光栅均为角度复用的体全息光栅、且分别对应n个不同波长的曝光光线；然后，对n块第二体全息光栅切割后，得到对应n个不同波长的曝光光线的n个角度复用的转折光栅；最后，将n个耦入光栅依次层叠贴设在第一区域，将n个耦出光栅依次层叠贴设在第二区域，将n个转折光栅依次层叠贴设在第三区域，同样也可得到角度复用和角度复用的体全息光波导。
94.具体的，在制作第一体全息光栅过程中，采用红光、蓝光和绿光分别对3块体全息膜进行曝光，并在同一块体全息膜曝光时，分别采用m组不同的曝光角度进行曝光，使制得的3块第一体全息光栅均为角度复用的体全息光栅、且分别对应3个不同波长的曝光光线；然后，对3块第一体全息光栅切割后，得到分别对应红光、蓝光和绿光的3个角度复用的耦入光栅和3个角度复用的耦出光栅；接着，在制作第二体全息光栅过程中，同样采用采用红光、
蓝光和绿光分别对3块体全息膜进行曝光，并在同一块体全息膜曝光时，分别采用m组不同的曝光角度进行曝光，使制得的3块第二体全息光栅均为角度复用的体全息光栅、且分别对应3个不同波长的曝光光线；然后，对3块第二体全息光栅切割后，得到分别对应红光、蓝光和绿光的3个角度复用的转折光栅；最后，将3个耦入光栅依次层叠贴设在第一区域，将3个耦出光栅依次层叠贴设在第二区域，将3个转折光栅依次层叠贴设在第三区域，如图10所示，同样也可得到角度复用和角度复用的体全息光波导，实现全彩大视场显示。
95.第四方面，本发明实施例还提供一种体全息光波导，所述体全息光波导由第三方面所述的制作方法制成。该体全息光波导制作方式简单、且可实现大规模的量产，体全息光波导的生产效率高，且该体全息光波导应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。
96.在其中一些实施例中，所述体全息光波导为角度复用和/或波长复用的体全息光波导。
97.第五方面，本发明实施例还提供一种近眼显示设备，该近眼显示设备包括如第四方面所述的体全息光波导。通过上述制作装置制作的体全息光波导，不仅生产效率高，且应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。
98.本发明实施例提供体光栅制作装置、体全息光波导及其制作方法、近眼显示设备，该制作装置包括激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片，或者，该制作装置包括激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、第二棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；上述制作装置简单且良品率高，同时通过对曝光后的体全息膜进行切割，贴覆于波导基底的对应位置，可制得体全息光波导，这种方式可实现大规模的量产，提高生产效率，且制成的体全息光波导应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。
99.需要说明的是，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
100.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；在本发明的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本发明的不同方面的许多其它变化，为了简明，它们没有在细节中提供；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。