技术特征：
1.一种体全息光栅的制作装置，其特征在于，所述制作装置包括：激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；所述分光单元的入光侧设于所述激光光源的出光侧，所述分光单元用于将所述激光光源的光线分成从所述分光单元的第一出光侧出射的第一光束、以及从所述分光单元的第二出光侧出射的第二光束；所述第一反射单元设于所述第一出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第一反射单元的出光侧，所述第一反射单元用于将所述第一光束出射至所述体全息膜；所述第二反射单元设于所述第二出光侧，所述第一棱镜的第一侧设于所述第二反射单元的出光侧，所述体全息膜的第二侧设于所述第一棱镜的第二侧，所述第二反射单元用于将所述第二光束出射至所述第一棱镜的第一侧，所述第一棱镜用于通过所述第一棱镜的第一侧接收所述第二光束，并将所述第二光束通过所述第一棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；所述渐变衰减片设于所述第一光束的光路中、用于对所述第一光束的透射率进行调制，和/或，设于所述第二光束的光路中、用于对所述第二光束的透射率进行调制；所述体全息膜用于被所述第一光束和所述第二光束干涉形成的条纹曝光，形成所述体全息光栅。2.根据权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述第一反射单元包括第一反射镜；所述第一反射镜设于所述第一出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第一反射镜的反射方向上。3.根据权利要求2所述的制作装置，其特征在于，所述第二反射单元包括第二反射镜和第三反射镜；所述第二反射镜设于所述第二出光侧，所述第三反射镜设于所述第二反射镜的反射方向上，所述第一棱镜的第一侧设于所述第三反射镜的反射方向上。4.根据权利要求3所述的制作装置，其特征在于，所述第三反射镜设于滑轨旋转台上。5.根据权利要求3或4所述的制作装置，其特征在于，所述激光光源包括合束器和至少一个激光器；每一所述激光器分别设于所述合束器的每一输入端，所述分光单元的入光侧设于所述合束器的输出端。6.一种体全息光栅的制作装置，其特征在于，所述制作装置包括：激光光源、分光单元、第一反射单元，第二反射单元、第一棱镜、第二棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；所述分光单元的入光侧设于所述激光光源的出光侧，所述分光单元用于将所述激光光源的光线分成从所述分光单元的第一出光侧出射的第一光束、以及从所述分光单元的第二出光侧出射的第二光束；所述第一反射单元设于所述第一出光侧，所述第二棱镜的第一侧设于所述第一反射单元的出光侧，所述体全息膜的第一侧设于所述第二棱镜的第二侧，所述第一反射单元用于将所述第一光束出射至所述第二棱镜的第一侧，所述第二棱镜用于通过所述第二棱镜的第一侧接收所述第一光束，并将所述第一光束通过所述第二棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；所述第二反射单元设于所述第二出光侧，所述第一棱镜的第一侧设于所述第二反射单
元的出光侧，所述体全息膜的第二侧设于所述第一棱镜的第二侧，所述第二反射单元用于将所述第二光束出射至所述第一棱镜的第一侧，所述第一棱镜用于通过所述第一棱镜的第一侧接收所述第二光束，并将所述第二光束通过所述第一棱镜的第二侧出射至所述体全息膜；所述渐变衰减片设于所述第一光束的光路中、用于对所述第一光束的透射率进行调制，和/或，设于所述第二光束的光路中、用于对所述第二光束的透射率进行调制；所述体全息膜用于被所述第一光束和所述第二光束干涉形成的条纹曝光，形成所述体全息光栅。7.根据权利要求6所述的制作装置，其特征在于，所述第一反射单元包括第一反射镜；所述第一反射镜设于所述第一出光侧，所述第二棱镜的第一侧设于所述第一反射镜的反射方向上。8.根据权利要求7所述的制作装置，其特征在于，所述第二反射单元包括第二反射镜和第三反射镜；所述第二反射镜设于所述第二出光侧，所述第三反射镜设于所述第二反射镜的反射方向上，所述第一棱镜的第一侧设于所述第三反射镜的反射方向上。9.根据权利要求8所述的制作装置，其特征在于，所述第一反射镜设于第一滑轨旋转台，和/或，所述第三反射镜设于第二滑轨旋转台。10.根据权利要求8或9所述的制作装置，其特征在于，所述激光光源包括合束器和至少一个激光器；每一所述激光器分别设于所述合束器的每一输入端，所述分光单元的入光侧设于所述合束器的输出端。11.一种体全息光波导的制作方法，其特征在于，包括：通过如权利要求1-5任意一项所述的制作装置获得第一体全息光栅，对所述第一体全息光栅进行切割，得到耦入光栅和/或耦出光栅；和/或，通过如权利要求6-10任意一项所述的制作装置获得第二体全息光栅，对所述第二体全息光栅进行切割，得到转折光栅；提供一透明基底，所述透明基底包括第一区域、第二区域和第三区域；将一个所述耦入光栅贴合设置在所述第一区域，将一个所述耦出光栅贴合设置在所述第二区域，将一个所述转折光栅贴合设置在所述第三区域，或者，将多个所述耦入光栅依次层叠贴合设置在所述第一区域，将多个所述耦出光栅依次层叠贴合设置在所述第二区域，将多个所述转折光栅依次层叠贴合设置在所述第三区域，从而得到所述体全息光波导。12.一种体全息光波导，其特征在于，采用如权利要求11所述的制作方法制成。13.根据权利要求12所述的体全息光波导，其特征在于，所述体全息光波导为角度复用和/或波长复用的体全息光波导。14.一种近眼显示设备，其特征在于，包括如权利要求12或13所述的体全息光波导。
技术总结
本发明实施例提供体全息光栅制作装置、体全息光波导及其制作方法与应用，该制作装置包括激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片，或者，该制作装置包括激光光源、分光单元、第一反射单元、第二反射单元、第一棱镜、第二棱镜、体全息膜和至少一片渐变衰减片；上述制作装置简单且良品率高，同时通过对曝光后的体全息膜进行切割，可制得体全息光波导，这种方式可实现大规模的量产，提高生产效率，且制成的体全息光波导应用于近眼显示设备中，可实现大视场角和大眼动范围。视场角和大眼动范围。视场角和大眼动范围。
技术研发人员：罗润秋 杨鑫 宋强 马国斌
受保护的技术使用者：深圳珑璟光电科技有限公司
技术研发日：2022.01.20
技术公布日：2022/2/24