容器、基板处理装置以及基板处理方法与流程

1.本公开涉及一种容器、基板处理装置以及基板处理方法。


背景技术：

2.在半导体器件的制造工序中，利用基板处理装置向作为基板的半导体晶圆(以下，记载为晶圆)供给各种各样的处理液。在专利文献1中记载有一种基板处理装置(涂布装置)，其向基板供给抗蚀剂(光致抗蚀液)作为处理液并进行旋涂，从而形成抗蚀膜。在该涂布装置具备：贮存罐，其用于贮存抗蚀剂；供给喷嘴；以及供给配管，其连接贮存罐和供给喷嘴，并且设有波纹管泵。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开平11-354419号


技术实现要素：

6.发明要解决的问题
7.本公开提供如下这样的技术：在区分使用多个种类的处理液地对基板进行处理时，能够减轻处理的工夫以及伴随处理的作业的工夫。
8.用于解决问题的方案
9.本公开的容器具备：贮存空间形成部，其在内部形成有对用于处理基板的处理液进行贮存的贮存空间；所述处理液的喷出口，其设于所述贮存空间形成部；以及进入路径形成部，其设于所述贮存空间形成部，以形成能够使进入部进入该贮存空间形成部的内部的进入路径，该进入部位于所述贮存空间形成部的内部并对所述贮存空间进行加压，以使所述处理液从所述喷出口喷出。
10.发明的效果
11.根据本公开，在区分使用多个种类的处理液地对基板进行处理时，能够减轻处理的工夫以及伴随处理的作业的工夫。
附图说明
12.图1是作为本公开的基板处理装置的一实施方式的抗蚀剂涂布装置的概略立体图。
13.图2是所述抗蚀剂涂布装置的俯视图。
14.图3是所述抗蚀剂涂布装置的概略侧视图。
15.图4是设于所述抗蚀剂涂布装置的容器和输送部的立体图。
16.图5是设于所述抗蚀剂涂布装置的容器的立体图。
17.图6是所述容器的纵剖侧视图。
18.图7是所述输送部和容器的纵剖侧视图。
19.图8是所述输送部和容器的纵剖侧视图。
20.图9是构成所述输送部的爪部的横剖俯视图。
21.图10是设于所述抗蚀剂涂布装置的容器配置部的立体图。
22.图11是所述容器配置部的纵剖侧视图。
23.图12是所述容器配置部的俯视图。
24.图13是用于说明所述容器的配置的概略俯视图。
25.图14是表示所述容器向所述容器配置部的安装步骤的说明图。
26.图15是表示所述容器向所述容器配置部的安装步骤的说明图。
27.图16是由所述输送部输送的构成所述容器的容器喷嘴的侧视图。
28.图17是表示所述容器配置部的俯视图。
29.图18是表示所述容器配置部的俯视图。
30.图19是表示由所述抗蚀剂涂布装置进行的晶圆的处理步骤的说明图。
31.图20是表示由所述抗蚀剂涂布装置进行的晶圆的处理步骤的说明图。
32.图21是表示由所述抗蚀剂涂布装置进行的晶圆的处理步骤的说明图。
33.图22是表示由所述抗蚀剂涂布装置进行的晶圆的处理步骤的说明图。
34.图23是表示由所述抗蚀剂涂布装置进行的晶圆的处理步骤的说明图。
具体实施方式
35.参照分别作为概略立体图、俯视图、概略侧视图的图1、图2、图3，对作为本公开的基板处理装置的一实施方式的抗蚀剂涂布装置1进行说明。首先，叙述抗蚀剂涂布装置1的结构的概要，抗蚀剂涂布装置1向作为圆形的基板的晶圆w供给抗蚀剂作为处理液，并利用旋涂形成抗蚀膜。该抗蚀剂涂布装置1具备杯11、容器2、输送部6、容器配置部8以及基座19。杯11在处理时包围晶圆w。在容器配置部8配置有许多容器2，例如在每个容器2贮存有不同种类的抗蚀剂。构成该容器2的容器喷嘴20用作贮存抗蚀剂的罐、且用作喷嘴。
36.输送部6保持许多容器2中的所选择的一个容器2的容器喷嘴20并向晶圆w上的处理位置输送，使抗蚀剂从该容器喷嘴20向晶圆w喷出。输送部6构成为能够进行容器喷嘴20内的加压和减压，以切换该抗蚀剂的喷出和喷出的停止。此外，使用完的容器喷嘴20利用输送部6返回容器配置部8，能够依次使用与该晶圆w的批次相应的抗蚀剂对向抗蚀剂涂布装置1输送的晶圆w进行处理。
37.以下，更具体地说明抗蚀剂涂布装置1的结构。分别在基座19的右侧设有杯11，在左侧设有容器配置部8。在杯11内设有构成晶圆w的载置部的旋转卡盘12，因而，容器配置部8与旋转卡盘12左右排列地设置。作为基板的载置部的旋转卡盘12对所载置的晶圆w的背面侧中央部进行吸附，将该晶圆w设为水平的姿势。旋转卡盘12与旋转机构13连接，利用该旋转机构13使晶圆w与旋转卡盘12一起绕铅垂轴线旋转。
38.以后，将分别使杯11位于右侧、使容器配置部8位于左侧地观察时的近前侧设为前方，将里侧设为后方，而进行说明。在基座19的后方形成有由未图示的输送机构输送晶圆w的输送区域，利用该输送机构将晶圆w从输送区域向杯11上输送。然后，利用设于杯11内的未图示的升降销，在该杯11上的输送机构与旋转卡盘12之间交接晶圆w。
39.在该抗蚀剂涂布装置1中，在上述的抗蚀膜的形成后，利用溶剂将晶圆w的周缘部
的不需要的抗蚀膜去除。在杯11的右侧设有供进行该溶剂的供给的周缘部用喷嘴14待机的待机部15。周缘部用喷嘴14支承于前后延伸的臂16的顶端侧，该臂16的基端侧与移动部17连接。移动部17可在杯11的前方侧左右移动，并且能够使臂16升降，周缘部用喷嘴14可在杯状的待机部15内与进行溶剂的喷出的晶圆w的周缘部上之间移动。
40.以下，参照图4、图5的立体图和图6的纵剖侧视图，对上述的容器2进行说明。容器2是大致纵长的圆筒形，由容器主体21、下盖31、上盖41以及分隔构件51构成，上述的容器喷嘴20由容器主体21、上盖41以及分隔构件51构成。下盖31、上盖41、分隔构件51分别相对于容器主体21拆装自如，分别在图4中表示安装有下盖31的状态，在图5中表示拆除了下盖31的状态。构成容器2的上述的各构件是俯视时同轴的圆形构件，例如由树脂构成。
41.以下，对每个构成容器2的构件进行说明。首先，对容器主体21进行说明，容器主体21具备圆筒部22。在使用容器2时，该圆筒部22的轴线设为垂直(铅垂)的状态。对于以下的容器2的各部的说明，像这样以圆筒部22的轴线为垂直的状态进行说明。容器主体21的比圆筒部22靠下方侧的部位构成为漏斗状。具体地说明，圆筒部22的下侧的周壁以随着朝向下方去而朝向该圆筒部22的中心轴线的方式延伸，从而形成为倾斜壁23。该倾斜壁23的下端部以稍微向铅垂下方伸出的方式延伸而构成顶端部24，由该顶端部24包围的区域构成朝向下方开口的喷出口25。
42.圆筒部22的外周面的高度中央部朝向圆筒部22的外侧鼓起，从而形成圆环状的把手26。在圆筒部22的外周面的比把手26靠上方的位置，形成有以圆筒部22的中心轴线为螺旋轴线并且沿着该外周面的螺旋状的突起，构成外螺纹27。另外，在圆筒部22的外周面的比把手26靠下方的位置，形成有分别向水平方向突出的第1突起28、第2突起29。这些第1突起28和第2突起29通过相对于圆筒部22的中心轴线而言该圆筒部22的外周面的呈180
°
不同的部位向彼此相反的方向突出而形成，在沿突出方向观察时各自呈圆形。第1突起28和第2突起29设于彼此相同的高度，第1突起28比第2突起29长。即，第1突起28自圆筒部22的外周面突出的突出量较大。
43.接下来，对下盖31进行说明。下盖31由垂直地立起的圆筒部32和封堵该圆筒部32的下部的底板33构成。底板33的上表面的中心部隆起，构成突起34。并且，圆筒部32的上端部的周向上的相互分离开的两个位置被朝向下方进行去除，形成为槽35。这些槽35形成于相对于圆筒部32的中心轴线而言呈180
°
不同的位置，以能够进行上述的圆筒部22的第1突起28和第2突起29的插入的方式形成。槽35形成为钥匙孔状。具体地叙述，槽35的上部侧随着朝向下方去而宽度稍微变窄，其下端的宽度比在沿突出方向观察第1突起28、第2突起29时的圆的直径稍小。并且，槽35的下部侧形成为圆形，其大小与在沿突出方向观察第1突起28和第2突起29时的圆的大小大致相同。因而，能够视作在槽35去向下方的中途设有使其宽度变窄的狭窄部。
44.另外，在圆筒部32的外周面形成有两个水平的板状的卡合用突起36。这些卡合用突起36是为了将下盖31向容器配置部8安装而设置的。该两个卡合用突起36通过从圆筒部32的中心轴线观察时向相反方向突出而形成，相对于槽35向相对于中心轴线而言呈90
°
不同的方向突出而形成。卡合用突起36形成于比槽35的下端靠下方的位置。
45.对下盖31向容器主体21的安装进行说明。在下盖31、容器主体21相互分离开的状态下，使各自的中心轴线对齐，并且，设为在沿轴向观察时第1突起28、第2突起29各自的位
置与槽35重叠的状态。然后，相对于下盖31使容器主体21相对地沿着轴向接近移动，从而使第1突起28、第2突起29进入各槽35。从该状态起将容器主体21朝向下盖31按压，从而第1突起28以及第2突起29越过槽35的狭窄部而向该槽35的里侧移动，第1突起28以及第2突起29与槽35相互嵌合(卡合)，使下盖31和容器主体21彼此的相对位置固定。在像这样固定着的状态下，突起34进入容器主体21的喷出口25，并且，顶端部24与下盖31的底板33接触，从而将喷出口25密封。也就是说，喷出口25被下盖31从下方封堵，容器主体21内的抗蚀剂不会从喷出口25泄漏。另外，在像这样固定着的状态下，第1突起28的顶端部贯穿槽35并自下盖31的圆筒部32的周面突出。
46.此外，以使容器主体21相对于下盖31相对地分离的方式施加沿着轴向的力，从而第1突起28、第2突起29越过狭窄部而向槽35的入口移动，解除上述的嵌合，将下盖31从容器主体21拆除。如后述那样，下盖31设为固定于容器配置部8的状态，在该状态下，对包含容器主体21的容器喷嘴20进行保持的输送部6相对于下盖31升降。由此，进行这样的嵌合和嵌合的解除。
47.接着，对上盖41进行说明，该上盖41具备垂直地立起的圆筒部42和以封堵该圆筒部42的上侧的方式设置的上壁43。在圆筒部42的内周面形成有以该圆筒部42的中心轴线为螺旋轴线并且沿着该内周面的螺旋状的槽部，构成内螺纹44。通过使内螺纹44与容器主体21的外螺纹27螺纹结合，从而将上盖41向容器主体21安装、固定。在上壁43的上表面设有圆形的凹部45。该凹部45利用于输送部6对容器喷嘴20的保持，由于随后详细叙述因而在此简单地说明，凹部45的底面、即后述的开口部46的外侧区域是平坦面，供构成输送部6的o形圈67密合。通过像这样密合，从而该平坦面构成用于将容器喷嘴20内相对于外部密封的密封面。像这样，凹部45的底面是密封面，因此，作为该密封面，在容器主体21上设于与该容器主体21重叠的位置。
48.在凹部45的中心部设有贯通上盖41而上方开口的圆形的开口部46。此外，凹部45、开口部46的中心位于容器2的中心轴线上。构成输送部6的后述的供气排气管68借助开口部46插入于容器喷嘴20内。上述的容器喷嘴20内的加压和减压的压力控制通过来自作为进入于容器喷嘴20内的进入部的供气排气管68的供气和排气而进行。因而，上盖41的上壁43构成为用于形成作为进入路径的开口部46的进入路径形成部，该进入路径用于像这样使供气排气管68进入容器喷嘴20内。
49.作业人员将上盖41相对于容器主体21绕容器2的轴线拧转，从而能够解除上述的螺纹结合，因而，如上述这样，上盖41可相对于容器主体21拆装。此外，设于容器主体21的上述的第1突起28和第2突起29除了具有使下盖31固定于容器主体21的作用之外，还具有如下这样的作用：在进行上盖41与容器主体21之间的拆装时，防止作业人员的手相对于容器主体21的外周面滑动。也就是说，在用一只手以抓握的方式把持容器主体21的侧面、用另一只手抓握上盖41的侧面而拧转该上盖41时，第1突起28和第2突起29勾挂于作业人员的手指，从而容易将容器主体21保持为不旋转，因此，能够容易地进行上盖41的拆装。此外，第1突起28也利用于容器配置部8中的容器喷嘴20的有无的判断，详细内容随后叙述。
50.接下来，对分隔构件51进行说明，该分隔构件51配置于容器主体21的圆筒部22内，具备在该圆筒部22内沿横向扩展的板状的主体部52。主体部52在俯视时呈圆形，该主体部52的周缘朝向上方沿着圆筒部22的内周面向上方延伸，其上端向外方扩展，从而构成凸缘
部53。该凸缘部53被上盖41的上壁43的下表面和容器主体21的圆筒部22的上端夹着，从而分隔构件51固定于该上盖41和容器主体21。容器主体21内的空间由主体部52上下分隔，比该主体部52靠下方侧的部分设为贮存抗蚀剂的贮存空间54。抗蚀剂以其液面成为不与分隔构件51接触的高度的方式进行贮存。另外，上述的上盖41的开口部46向由该分隔构件51分隔而成的上方侧空间开口，在上述的供气排气管68借助开口部46向容器2内进入时，该供气排气管68的顶端(下端)位于比该分隔构件51的主体部52靠上方的位置。在主体部52的靠周缘的位置，在该主体部52的周向上空开间隔地设有多个贯通孔，形成为使分隔构件51的上侧和下侧相互连通的连通孔55。该连通孔55设于在俯视时不与上述的开口部46重叠的位置。
51.对分隔构件51的作用进行叙述。如上述那样，进行进入于容器喷嘴20内的供气排气管68的供气排气。假设，由于该供气排气或者容器喷嘴20的输送时的振动，导致抗蚀剂从液面溅起而附着于供气排气管68内。如上述那样，在各容器2贮存有不同种类的抗蚀剂，供气排气管68共用于各容器2，因此，考虑到像这样在一个容器2内附着的抗蚀剂混入于其他容器2的抗蚀剂。但是，通过设置如上述那样在俯视时自开口部46偏离了的位置具备连通孔55的分隔构件51，从而防止上述的抗蚀剂向供气排气管68的附着，并且能够利用供气排气使贮存空间54的压力变化。此外，如上述那样，分隔构件51的材料与构成容器2的其他构件的材料同样地例如是树脂，但也可以由其他材料构成，例如能够由橡胶等构成。
52.返回图1～图3，对输送部6进行说明。输送部6由移动部61、升降部62、臂63、供气排气部64以及把持部7构成。移动部61在杯11的前方沿左右移动自如。升降部62与移动部61的左方连接，并且朝向后方延伸，构成为利用该移动部61垂直地升降自如。臂63的基端部设于升降部62的顶端部(后端部)上，并可绕设于该升降部62的顶端部的沿着垂直方向(铅垂方向)的轴线r1转动。臂63的顶端侧在水平方向上延伸。因而，作为臂63的顶端侧，左右移动自如、升降自如，并且绕构成回转轴线的轴线r1回转自如。在该臂63的顶端设有溶剂供给喷嘴60，该溶剂供给喷嘴60朝向铅垂下方喷出溶剂。该溶剂用于抗蚀剂涂布前的晶圆w的表面改性(预湿)，利用旋涂向晶圆w的表面整体供给。
53.在臂63的顶端部设有供气排气部64和把持部7，参照图4的立体图和图7、图8的纵剖侧视图，对它们进行说明。供气排气部64由容器连接部66、o形圈67、供气排气管68、分支路径69a、69b、阀v1、v2、气体供给源60a以及排气源60b构成。
54.容器连接部66是从臂63的顶端部向下方突出的圆形构件，该容器连接部66的下端部扩径。对于该容器连接部66的下端部，例如其直径的大小形成为与该凹部45的直径的大小大致相同，以能够如后述那样相对于容器2的上盖41的凹部45陷入和后退。
55.在容器连接部66的下表面设有沿着该容器连接部66的周向的环状槽，在该环状槽埋设有作为密封部的o形圈67。并且，以在垂直方向上贯通容器连接部66的中心的方式设有上述的供气排气管68，供气排气管68的顶端部从容器连接部66的下表面突出。因而，o形圈67位于比供气排气管68的下端靠上方的位置，设为在俯视时包围该供气排气管68。对于该供气排气管68，例如其直径的大小形成为与该开口部46的直径的大小大致相同，以能够借助上盖41的开口部46相对于容器喷嘴20内进退。
56.在供气排气管68的上方侧连接有流路的一端，该流路的另一端分支成两个而构成分支路径69a、69b。分支路径69a借助阀v1连接于气体供给源60a，分支路径69b借助阀v2连
接于例如由喷射器构成的排气源60b。阀v1、v2设为两者关闭、或者任一者打开的状态。利用阀v1的开放从供气排气管68的顶端供给例如作为非活性气体的氮气作为气体，利用阀v2的开放进行来自供气排气管68的顶端的排气。
57.把持部7由3个爪部71和设于臂63的顶端部的未图示的驱动机构构成。以下，也参照表示3个爪部71的作为俯视图的图9进行说明。这些爪部71设于在俯视时以供气排气管68为中心而分离开120
°
的位置，相对于供气排气管68位于等距离的位置，相互旋转对称地配置。此外，在图7、图8中，为了方便图示，将相对于供气排气管68而言呈120
°
不同的方向上的截面表示为同一平面，因此，两个爪部71以隔着供气排气管68的方式对称地示出。
58.爪部71形成为纵长、且侧视时呈倒l字状。详细地叙述，爪部71设为在以远离供气排气管68的方式水平地延伸了之后向下方弯曲而成的形状。并且，爪部71的下端部在俯视时朝向供气排气管68稍微突出而形成支承部72。该支承部72具有在爪部71的把持时从下方支承容器主体21的把手26的作用。各爪部71的上端与上述的驱动机构连接，该驱动机构使各爪部71在俯视时较大程度地远离供气排气管68的开放位置(在图7以实线表示)与较靠近供气排气管68的把持位置(在图7中以点划线表示)之间水平移动。此外，图9表示开放位置处的爪部71。
59.对输送部6安装并输送构成容器2的容器喷嘴20的步骤进行说明。成为在容器喷嘴20安装有下盖31的状态，如上述那样，下盖31固定于容器配置部8。在供气排气管68位于容器2的上盖41的开口部46的上方、且爪部71位于开放位置的状态下，使臂63下降。此外，上述的图4表示该下降时的臂63。然后，容器连接部66的下端部向容器2的上盖41的凹部45陷入，o形圈67成为与凹部45的底面的、开口部46的外周部密合着的状态，并且，供气排气管68的顶端部(下端部)进入容器主体21内，成为位于分隔构件51上的状态。将成为这样的状态时的容器喷嘴20相对于臂63的位置设为安装位置。图7表示该安装位置处的容器喷嘴20。
60.在上述的安装位置处，利用容器连接部66的o形圈67将该容器连接部66的下表面与上盖41的凹部45的底面之间的间隙密闭。由此，防止容器喷嘴20内的贮存空间54与该容器喷嘴20的外部的空间借助该间隙和供气排气管68与开口部46的内周缘之间的间隙连通。因而，即使进行供气排气管68的供气和排气，也可防止气体向该外侧的空间的流出、气体从该外部的空间的流入。像这样利用o形圈67，成为能够更可靠地进行贮存空间54的加压和减压的结构。
61.在容器喷嘴20位于以上所述的安装位置的状态下，爪部71从开放位置向把持位置移动。在该把持位置处，各爪部71的侧面朝向容器喷嘴20的中心轴线对容器喷嘴20的把手26的侧面进行按压，从而把持该容器喷嘴20，并将其固定在安装位置处。另外，把持位置处的爪部71的下端的支承部72与把手26的下表面接触。若在像这样进行容器喷嘴20的把持(保持)的状态下使臂63上升，则把手26被爪部71的支承部72提起，解除在图5、图6中所述的下盖31与容器喷嘴20之间的嵌合，从而将下盖31从容器喷嘴20拆除。图8表示像这样拆除了下盖31的状态的容器喷嘴20。在向容器喷嘴20安装下盖31的情况下，进行与上述的步骤相反的步骤的动作。补充说明，在该动作时，由于臂63的下降而容器喷嘴20被容器连接部66向下方按压，从而容器喷嘴20再次与下盖31嵌合。
62.在如上述那样从容器喷嘴20拆除下盖31的期间中，除了从容器喷嘴20喷出抗蚀剂的期间之外，自供气排气管68进行排气，使贮存空间54减压。利用该减压，即使在拆除了下
盖31的状态下，也可防止抗蚀剂从容器喷嘴20的喷出口25的不需要的流下。
63.另外，如图4、图9所示，在臂63的顶端部的下侧设有激光的照射部73和受光部74，这些照射部73和受光部74构成第2检测机构。如图中由虚线的箭头所示，照射部73沿水平方向朝向受光部74照射激光。受光部74向后述的控制部100发送与激光的受光的有无相应的检测信号。在容器喷嘴20位于上述的安装位置的情况下，该激光的光路被该容器喷嘴20的上盖41遮挡，在容器喷嘴20不位于安装位置的情况下，不发生该光路的遮挡。因而，在输送部6输送容器喷嘴20的期间，控制部100能够进行是否正常地保持着(未从安装位置落下)的判断。
64.接下来，除了参照上述的图1、图2之外，也参照作为从前方侧观察的立体图的图10、作为从后方观察的侧视图的图11、作为俯视图的图12，对容器配置部8进行说明。在本例中，在容器配置部8配置有26个容器2。容器配置部8由水平板状的配置部主体81和设于配置部主体81的下方的水平板状的检测机构载置部82构成，这些配置部主体81和检测机构载置部82由连接部83在上下空开间隔地相互连接。配置部主体81具备圆形的开口部84。该开口部84设有26个，与配置于容器配置部8的容器2的数量相同，构成分别对下盖31的底部进行收纳的容器2的配置区域。在检测机构载置部82设有用于对是否在开口部84安装有容器2的下盖31进行检测的检测机构9。构成第1检测机构的检测机构9针对每个开口部84进行设置。
65.在本例中，开口部84在左右方向上成列地设置，该列在前后方向上设有5个，左右相邻的开口部84彼此之间的间隔设为相互相同。对于列，从前方侧的列朝向后方侧的列依次标注序号，将最前方的列设为第1列。第1列～第4列由6个开口部84构成，第5列由两个开口部84构成。并且，对于第1列～第4列，越是后方侧的列越位于靠右、即靠杯11的位置。第5列的右侧的开口部84位于比第4列的右侧的开口部84稍微靠左的位置。
66.通过如上述那样形成各开口部84，从而作为配置于该开口部84内的各容器2，如图13所示，配置于在俯视时构成绕轴线r1的圆弧的带状区域r2内，设为能够由上述的可左右移动且可回转的输送部6的爪部71进行把持的配置。此外，将俯视时的轴线r1与供气排气管68之间的距离设为r3，对容器2的用于进行上述把持的配置进行补充。在俯视时，各容器2的中心在轴线r1能够利用输送部6的移动部61而左右移动的范围内位于当该轴线r1位于最左端时的以轴线r1为中心且以r3为半径的圆弧与当轴线r1位于最右端时的以轴线r1为中心且以r3为半径的圆弧之间的区域。
67.返回图10～图12，进一步对形成开口部84的配置部主体81进行说明。如图11所示，该配置部主体81由相互层叠着的下板85、上板86构成，在这些下板85、上板86分别形成有构成上述的开口部84的贯通孔。并且，下板85的贯通孔的外周缘部的上表面的两个部位被进行去除。将该下板85的上表面的缺口在图11中表示为附图标记87a，该缺口87a分别形成于开口部84的前方侧、后方侧。
68.上板86以覆盖上述的缺口87中的一部分的部位、且未覆盖另一部分的部位而使其开放的方式设置，从而形成沿着开口部84的外周的槽88和以与该槽88连通的方式向上方开口的进入口89。详细地叙述，上板86的贯通孔设为将圆的局部朝向其外侧稍微进行去除而成的形状。该上板86的缺口也分别形成于前方侧、后方侧，表示为缺口87b。并且，在该上板86的贯通孔的孔缘，在俯视时沿着贯通孔的周向相对于缺口87b向顺时针方向偏离了的部位以在沿逆时针方向观察时其高度逐渐上升的方式弯曲，构成倾斜部80。
69.在上板86，相对于该倾斜部80向顺时针方向偏离了的部位如上述那样覆盖缺口87a，形成槽88。并且，上板86的缺口87b与下板85的缺口87a重叠，从而在相对于倾斜部80向逆时针方向偏离了的位置形成有上述的进入口89。如以上这样构成下板85和上板86，因此，针对一个开口部84形成有两个进入口89、两个倾斜部80以及两个槽88。该两个进入口89以隔着开口部84的中心的方式设置，以能够使容器2的下盖31的两个卡合用突起36从上方进入并载置于下板85上的构成缺口87a的部位。
70.接下来，对检测机构9进行说明。该检测机构9由检测体91和检测机构主体92构成。上述的配置部主体81的各开口部84的周缘的右侧的部位以朝向该开口部84的外侧的方式进行去除。将该缺口设为附图标记93，在缺口93内设有检测体91。该检测体91构成为向上方延伸的粗棒状，其上端部的后方侧的侧面构成为随着从后方朝向前方去而上升的倾斜面94。检测体91的下部侧向下方延伸，与设于检测机构载置部82的检测机构主体92连接。
71.检测体91可相对于检测机构主体92升降，设为如下这样的结构：检测体91借助缺口93向配置部主体81的上方突出的突出量能够变化。检测机构主体92以对检测体91向上方施力的方式构成，将未施加克服施力的力的情况下的检测体91的高度位置设为上方位置。另外，虽省略图示，但检测机构主体92具备激光的照射部和对该激光进行受光的受光部。该激光的光路沿横向延伸，与检测体91的下端的升降区域重叠。在检测体91位于上升位置时，光路开放，因而激光向受光部供给。
72.克服来自检测机构主体92的施力而将检测体91以朝向下方的方式按压，若该检测体91下降到预定的高度的位置(设为下方位置)，则光路被遮挡而停止激光向受光部的供给。检测机构主体92的受光部向后述的控制部100发送与该激光的受光的有无相应的检测信号。
73.接下来，使用图14、图15，对容器2向容器配置部8的安装进行说明。图14表示在容器2的下盖31与容器配置部8之间形成卡合的情形，从前方观察容器配置部8。图15表示检测体91的高度与该卡合的形成并行地变化的情形，从右方观察容器配置部8。在图14、图15中，在上层、中层、下层分别示出了容器2，在相同的层表示同一时刻的容器2的状态。
74.使容器2位于容器配置部8的开口部84上，使下盖31的卡合用突起36的位置与进入口89对齐。此时，容器喷嘴20的第1突起28位于右侧(相对于开口部84而言设有检测体91的一侧)(图14、图15各自的上层)。使容器2相对于开口部84下降，将容器2的下端向开口部84插入，并且，使卡合用突起36借助进入口89向构成容器配置部8的配置部主体81的下板85上载置。此时，位于上方位置的检测体91的倾斜面94的高度与下盖31的第1突起28的高度一致(图14、图15各自的中层)。然后，沿俯视时的顺时针方向旋转容器2。利用该旋转，作为卡合部的卡合用突起36进入作为被卡合部的槽88而相互卡合，容器2固定于容器配置部8(图14下层)。上述的倾斜部80构成用于容易使卡合用突起36利用容器2的旋转进入槽88的引导件。
75.在形成上述的卡合的过程的容器2的旋转过程中，第1突起28与检测体91的倾斜面94抵接，由于容器2的进一步旋转，该倾斜面94被第1突起28按压。像这样，沿横向按压倾斜面94，从而以第1突起28在倾斜面94上升的方式使检测体91下降。然后，形成上述的卡合，并且，检测体91位于下方位置，如上述那样遮挡检测机构主体92的光路(图15下层)。此外，以上的容器2向容器配置部8的安装由作业人员进行。在将容器2从容器配置部8拆除时，作业
人员进行与安装时相反的步骤。
76.对于构成如以上这样安装于容器配置部8的容器2的容器喷嘴20，如图7、图8中所述那样臂63利用爪部71把持并上升，从而将其从下盖31拆除。像这样拆除容器喷嘴20，解除第1突起28的干涉，从而检测体91在自检测机构主体92接受的施力的作用下向上升位置移动(参照图16)。在将容器喷嘴20向下盖31安装时，利用臂63使容器喷嘴20下降，此时，第1突起28与倾斜面94抵接并向下方下压，检测体91返回下降位置，从而遮挡检测机构主体92的光路。
77.像这样，利用容器喷嘴20相对于下盖31的拆装，使检测体91的高度在上方位置与下方位置之间切换，从而切换从检测机构主体92的受光部向控制部100输出的检测信号。因此，控制部100能够检测容器喷嘴20相对于该各下盖31的拆装状态。如上所述，在容器喷嘴20位于安装下盖31的位置时，利用检测机构9(第1检测机构)检测第1突起28的有无，从而检测进行了该安装的位置处的容器喷嘴20的有无。
78.如上述那样，检测机构9针对分别构成容器2的配置区域的每个开口部84进行设置，因此，控制部100能够针对每个该配置区域检测容器喷嘴20的有无。因而，能够监视用于处理的容器喷嘴20是否正常地由臂63从下盖31拆除。另外，能够防止发生如下这样的不良情况：输送部6以使由输送部6保持过程中的容器喷嘴20向容器配置部8中安装有容器喷嘴20的下盖31返回的方式动作。
79.对于容器配置部8，也参照图17、图18进一步说明。在抗蚀剂涂布装置1的基座19上左右分离地设有在前后方向上延伸的引导件101，在引导件101设有连接有左右的缘部的滑动件102。滑动件102的概略的形状是在俯视时后方侧开放的凹状的水平的板状体，将像这样以成为凹状的方式从后端朝向前方侧形成的缺口表示为附图标记103。对于容器配置部8，配置部主体81的左右的各个缘部支承于滑动件102上，检测机构载置部82配置于缺口103。
80.滑动件102能够由作业人员沿着引导件101在后方位置与前方位置之间滑动移动。容器配置部8也与滑动件102一起移动，因此，滑动件102是变更容器配置部8相对于杯11以及旋转卡盘12的相对的前后的位置的滑动构件。此外，到此为止在图13等中说明了的容器配置部8的各容器2的配置是滑动件102位于后方位置的状态下的配置，在该状态下，各容器2与杯11左右排列。例如，如图17所示，使滑动件102向前方位置移动，从而容器配置部8的容器2的前方侧的列位于比杯11的前端靠前方的位置。
81.配置部主体81与滑动件102借助未图示的固定机构拆装自如。在相对于容器配置部8进行容器2的更换等维护时，从如上述那样移动到前方位置的滑动件102拆除容器配置部8(参照图18)。像这样，能够进行容器配置部8的移动以及从滑动件102的拆除，从而在图14、图15中所述的由作业人员进行的容器2相对于容器配置部8的拆装能够容易地进行。此外，在以后的说明中，只要没有特别记载，滑动件102就位于后方位置，因而，容器2配置于在图13等中说明了的位置。
82.另外，如图1、图2所示，在被容器配置部8和杯11自左右夹着的位置设有排液口111。更详细而言，在俯视时，排液口111配置于容器配置部8的第5列的容器2与杯11的比中心靠后方侧的位置之间。排液口111是圆形的杯状，其内部与未图示的排液路径连接，供给到该排液口111的液体向该排液路径流入而去除。
83.该排液口111的上方是供臂63所保持的容器喷嘴20以及溶剂供给喷嘴60待机的待机区域，根据需要，从位于该待机区域的容器喷嘴20、溶剂供给喷嘴60向该排液口111分别喷出抗蚀剂、溶剂。抗蚀剂、溶剂朝向该排液口111的供给不以对晶圆w进行处理为目的，即所谓的虚拟分配。
84.像这样形成待机区域的排液口111设为位于容器配置部8与杯11之间的配置，从而在输送部6把持容器喷嘴20之后，该容器喷嘴20在去向杯11之前的期间位于待机区域。因此，所保持的容器喷嘴20能够在进行了虚拟分配之后迅速地向晶圆w上输送并进行处理。另外，在晶圆w的处理后，在使容器喷嘴20暂时向待机区域移动并待机之后，在对后续的晶圆w进行处理时，由于待机区域与晶圆w之间的距离比较小，因此能够迅速地使容器喷嘴20向晶圆w上移动并进行处理。因而，能够利用这样的排液口111的配置来谋求装置的生产率的提高。
85.抗蚀剂涂布装置1具备由计算机构成的控制部100。控制部100具备程序，利用该程序从控制部100向抗蚀剂涂布装置1的各部发送控制信号。利用该控制信号控制输送部6对容器喷嘴20的把持和把持的解除、容器喷嘴20的输送、容器喷嘴20内的加压和减压、旋转卡盘12的旋转等各动作，进行装置的后述的一系列处理。上述的程序以像这样控制各部的动作而进行后述的晶圆w的处理的方式编入有命令(各步骤)。该程序存储于存储介质、例如光盘、硬盘、存储卡、dvd等存储介质并加载于控制部100。
86.另外，控制部100如上述那样监视从输送部6的受光部74输出的检测信号和从各检测机构9输出的检测信号。另外，控制部100具备警报输出部，在发生了异常的情况下，该警报输出部利用声音输出、画面显示输出表示该情况的警报。例如，在应该进行输送部6对容器喷嘴20的保持的期间，当输出了表示未保持容器喷嘴20的检测信号时，输出警报。另外，例如，在输送部6对容器喷嘴20的保持过程中，当从该容器喷嘴20所返回的位置的检测机构9输出了表示在该位置存在容器喷嘴20的检测信号时，输出警报。
87.接下来，参照图19～图23，说明抗蚀剂涂布装置1中的晶圆w的处理步骤。臂63未保持容器喷嘴20，溶剂供给喷嘴60位于排液口111上的待机区域，成为来自构成臂63的供气排气部64的供气排气管68的供气排气停止了的状态(图19)。臂63的爪部71位于开放位置，执行来自溶剂供给喷嘴60的虚拟分配。
88.然后，从未图示的上级计算机向控制部100发送与向抗蚀剂涂布装置1输送的晶圆w的批次有关的信息。对于构成输送部6的臂63，利用升降、左右方向上的移动以及转动的协作动作，使该臂63的供气排气部64在容器配置部8位于贮存有用于处理上述的批次的抗蚀剂的容器2的上方的预定的高度。在开始来自构成供气排气部64的供气排气管68的排气时，臂63下降，如图7中所述那样在臂63的下方的安装位置连接构成该容器2的容器喷嘴20，容器喷嘴20内的贮存空间54成为相对于外部密封着的状态。由于容器喷嘴20位于安装位置，因而在图4、图9中说明了的设于臂63的照射部73与受光部74之间的光路被遮挡。另外，利用来自供气排气管68的排气，使贮存空间54减压。然后，爪部71向把持位置移动，把持该容器喷嘴20(图20)。
89.接下来，臂63上升，如图16中所述那样容器喷嘴20与臂63一起上升，从而使下盖31脱离，并且，与该容器喷嘴20相对应的检测机构9的检测体91从下方位置向上方位置移动。然后，对于臂63，在利用升降、左右方向上的移动以及转动的协作动作而使所把持的容器喷
嘴20位于排液口111上的待机区域时，停止来自供气排气管68的排气，并且开始供气，而对贮存空间54进行加压。由此，进行来自容器喷嘴20的虚拟分配。也就是说，向排液口111喷出抗蚀剂(图21)。
90.在向排液口111喷出预定量的抗蚀剂时，停止来自供气排气管68的供气，并且开始排气，而对贮存空间54进行减压，停止该抗蚀剂的喷出。也就是说，停止虚拟分配。然后，利用输送机构向抗蚀剂涂布装置1输送晶圆w，利用旋转卡盘12对该晶圆w的背面中央部进行吸附保持。进行臂63的升降、左右方向上的移动以及转动，使溶剂供给喷嘴60位于晶圆w的中心部上。然后，向该晶圆w的中心部喷出溶剂并使晶圆w旋转，利用旋涂向晶圆w的表面整体涂布溶剂。
91.接下来，利用臂63的转动和左右方向上的移动，使容器喷嘴20代替溶剂供给喷嘴60位于晶圆w的中心部上的处理位置。与执行虚拟分配时同样地，停止来自供气排气管68的排气，并且开始供气，从而对贮存空间54进行加压，向旋转的晶圆w的中心部喷出抗蚀剂r，该抗蚀剂r利用旋涂向晶圆w的表面整体涂布(图22)。在喷出预定量的抗蚀剂时，与虚拟分配的停止时同样地，停止来自供气排气管68的供气，并且开始排气，而对贮存空间54进行减压，停止来自容器喷嘴20的抗蚀剂r的喷出。涂布于晶圆w的抗蚀剂r干燥而形成抗蚀膜。利用臂63的移动，使容器喷嘴20向排液口111上的待机区域返回(图23)。从移动到晶圆w的周缘部上的周缘部用喷嘴14向旋转过程中的晶圆w的周缘部供给溶剂，在从该周缘部去除了抗蚀膜之后，停止晶圆w的旋转。之后，利用输送机构将晶圆w从抗蚀剂涂布装置1送出。
92.接下来，向抗蚀剂涂布装置1输送属于与先前处理了的晶圆w相同的批次的晶圆w，并保持于旋转卡盘12上。利用臂63的移动，使溶剂供给喷嘴60和容器喷嘴20再次向晶圆w上移动，进行与对先前的晶圆w进行了的处理同样的处理。像这样，溶剂供给喷嘴60和容器喷嘴20在待机区域与晶圆w上之间移动，依次对所输送的相同的批次的晶圆w重复进行处理。
93.然后，在批次的最后的晶圆w的处理结束时，使容器喷嘴20位于安装于该容器喷嘴20的下盖31上。接下来，输送部6进行与下盖31的拆除时相反的动作，依次进行下盖31向容器喷嘴20的安装、容器喷嘴20的把持的解除、容器喷嘴20从臂63的安装位置的解放、来自供气排气管68的排气的停止，臂63以使溶剂供给喷嘴60位于待机位置的方式移动。即，返回图19所示的状态。在处理后续的批次的晶圆w时，除了使与该批次相应的容器2的容器喷嘴20由臂63把持之外，进行与先前的批次的处理同样的动作。
94.另外，在向晶圆w涂布抗蚀剂时，如专利文献1所记载那样，考虑到设为如下这样的装置结构：利用配管将喷嘴和抗蚀剂的供给源(罐)连接，利用设于配管的泵将抗蚀剂从喷嘴喷出。但是，若在这样的装置结构中使用多个种类的抗蚀剂进行处理，则在切换所使用的抗蚀剂时，将罐更换成贮存有所需的抗蚀剂的罐，因此，需要该罐向配管的连接的工夫。另外，在像这样更换罐的情况下，需要进行清洗液对配管的清洗、清洗液从配管的去除、抗蚀剂向配管的填充等作业，以防止向晶圆w供给的抗蚀剂被其他抗蚀剂污染、或者混入气泡。因而，到进行处理为止的准备(伴随处理的作业)有可能需要很大的工夫。
95.另外，除了更换上述的罐之外，考虑到：设置多个喷嘴、罐以及将这些喷嘴和罐连接并且设有阀、泵的配管系统，通过切换所使用的配管系统，从而向晶圆w供给各种抗蚀剂。但是，这样的配管系统需要比较大的空间，因此，能够设置于装置的数量有限。因此，能够在装置使用的抗蚀剂的种类被该配管系统的数量所限制，有可能无法使用足够的种类的抗蚀
剂。除此之外，考虑到作业人员利用手工作业向晶圆w供给抗蚀剂。也就是说，考虑到作业人员针对每次处理将含有期望的抗蚀剂的瓶在晶圆w上倾斜而供给。但是，这样一来，在连续处理多张晶圆w时，作业人员始终待命于装置附近，因此，作业人员的工夫和负担较大。
96.如上述那样，构成容器2的容器喷嘴20设有喷出口25、抗蚀剂的贮存空间54以及开口部46。并且，根据抗蚀剂涂布装置1，构成输送部6的供气排气管68能够借助该开口部46相对于容器喷嘴20内进退，并且在容器喷嘴20内能够利用供气排气来切换贮存空间54的加压、减压。因此，仅在需要时进行抗蚀剂从喷出口25的喷出，在除此之外的情况下，防止抗蚀剂从喷出口25的泄漏。并且，利用设于输送部6的把持部7自如地进行容器喷嘴20向输送部6的保持与保持的解除的切换。另外，如上述那样利用供气排气管68将容器喷嘴20内的处理液(在本例中是抗蚀剂)加压而进行供给，因此，只要在输送部6设置用于加压和减压用的气体用配管即可，无需设置供处理液流通的配管。因此，对于抗蚀剂涂布装置1，如上述那样，能够选择任意的容器2，将构成该容器2的容器喷嘴20向晶圆w上输送并进行抗蚀剂涂布。因而，与进行上述的手工作业的情况相比，削减作业人员的工夫，也削减伴随上述的配管的清洗等处理而进行的作业的工夫。而且，根据抗蚀剂涂布装置1，无需设置抗蚀剂的每个种类的配管系统，仅通过增加所设置的容器2的数量，就能够增加可使用的抗蚀剂的种类的数量。因而，具有如下这样的优点：如例示的那样，能够在容器配置部8设置许多容器2，并从许多种类的抗蚀剂中选择地进行处理。
97.另外，容器2具备通过容器喷嘴20升降而进行拆装的下盖31，在下盖31的安装时封堵容器喷嘴20的喷出口25，从而防止抗蚀剂从喷出口25的流出。通过设置该下盖31，从而除了输送部6的输送时之外，容器喷嘴20内无需进行减压。也就是说，也可以不在供容器2配置的容器配置部8设置对容器喷嘴20内进行减压的机构，因此，能够简化装置结构，因而有利。并且，由于设为该下盖31相对于容器配置部8拆装自如的结构，因此，能够维持着不发生抗蚀剂从喷出口25的流出的状态地相对于容器配置部8容易地进行容器2的更换。因而，与如上述那样可移动且可相对于装置拆装的容器配置部8的结构相配合地，使抗蚀剂涂布装置1中的容器2的更换较容易。此外，容器配置部8如上述那样能够利用滑动件102前后移动、且能够在位于前方位置的状态下从装置拆除，但例如即使是仅能够进行前后移动和拆除中的移动的结构，也能够减轻对容器2的拆装而言的作业人员的负荷，因而有利。
98.另外，在容器喷嘴20设有用于使该容器喷嘴20与下盖31嵌合的第1突起28，该第1突起28也利用于相对于下盖31的卡合的形成。像这样，第1突起28是兼具各作用的结构，因此，在容器喷嘴20的外周部防止结构的复杂化。作为结果，防止该外周部的大型化，能够在容器配置部8密集地配置许多容器喷嘴20，有助于提高可使用的抗蚀剂的选择性。另外，容器喷嘴20设有沿着其周向的把手26，在该把手26的上侧设有上盖41，该上盖41的上表面构成为与输送部6的o形圈67密合的密封面，以使容器喷嘴20内密封。因此，把手26由爪部71把持，在构成爪部71的支承部72从下方支承该把手26时，上盖41被作为弹性体的o形圈67以相对地朝向容器主体21的方式按压。因此，具有如下这样的优点：上盖41不易相对于容器主体21松动，在输送过程中可得到针对容器喷嘴20内的较高的密闭性。此外，容器喷嘴2的把手26只要是能够对容器喷嘴20进行把持的结构即可，并不限于环状，例如，也可以是在容器主体21的外周面的周向上空开间隔地形成的突起。在该情况下也是，如上述那样，能够利用o形圈64以朝向容器主体21相对地按压上盖41的方式把持容器喷嘴20。
99.另外，容器2也可以设为一次性的，但也可以在使用后对抗蚀剂进行再填充而再利用。在像这样进行再利用时，如上述那样，上盖41是相对于容器主体21拆装自如的结构，因此，能够容易地进行该再填充，因而有利。另外，在容器2内如上述那样设有分隔构件51，如上述那样防止由于容器2内的压力变化、输送时的振动而引起的抗蚀剂向供气排气管68的附着。不过，通过调整供气排气量、或者利用输送时的速度的调整来抑制振动，从而能够防止该污染。因而，也可以设为在容器2中未设置分隔构件51的结构。
100.抗蚀剂涂布装置1的输送部6并不限于设置上述的把持部7来保持容器喷嘴20，例如，也可以设置对容器2的上盖41进行抽吸来保持容器喷嘴20的机构，设为相对于上述的安装位置拆装自如的结构。除此之外，设为如下这样的结构：在容器2的上盖41的凹部45的内周侧面形成槽，在输送部6的容器连接部66的侧周面设置突没自如的突起。也可以是如下这样的结构：在容器连接部66陷入于凹部45内时，该突起从容器连接部66的侧周面突出而与上述的凹部45的槽卡合，从而输送部6保持容器喷嘴20。像这样，设于输送部6的对容器喷嘴20进行拆装的拆装机构并不限于由把持部7构成。
101.另外，构成输送部6的臂63除了通过左右移动之外还通过转动，从而使该臂63的顶端侧的把持部7除了能够左右移动之外还能够前后移动。但是，也可以是如下这样的结构：臂63不进行转动，容器2与臂63的左右的移动区域相应地在左右方向上排成一列地设置。但是，如上述那样，把持部7能够前后移动，从而能够设置许多容器2，因而有利。此外，作为容器配置部8中的容器2的布局，只要臂63能够接收各容器2即可，并不限于上述的例子，能够与把持部7和供气排气部64的移动范围相应地任意地设定。另外，并不限于在容器配置部8配置多个容器2，也可以是仅配置一个的结构。此外，例如，也可以在容器配置部8设置以在容器2的上方封堵开口部46的位置与容器2的外侧之间移动自如的方式与驱动机构连接着的盖。因而，作为容器喷嘴20的开口部46，并不限于始终开口，只要作为构成容器2的进入路径形成部而构成为能够使以供气排气管48为例示的进入部进入内部即可。
102.作为本公开的基板处理装置，并不限于设为涂布抗蚀剂而形成抗蚀膜的结构。例如，能够将防反射膜形成用的涂布用的处理液、绝缘膜形成用的涂布用的处理液、显影液、晶圆w的清洗液、用于粘合晶圆w的粘接材料等各种处理液收纳于容器2而进行处理。
103.此外，应该认为，此次公开了的实施方式在所有方面均为例示，并非限制性的。上述的实施方式也可以在不脱离添附的权利要求书及其主旨的范围内以各种各样的形态进行省略、置换、变更以及组合。