偏振合束棱镜及半导体激光器的制作方法

1.本技术涉及激光技术领域，尤其涉及一种偏振合束棱镜及半导体激光器。


背景技术：

2.半导体激光器中常用偏振合束器将两束激光光束合束成一束，使得在保证激光光束质量不变的情况下，激光光束的功率密度得到加倍且激光光束的亮度得到提高。相关技术的偏振合束器，在对两束激光光束进行合束时，要求两束激光光束以相互垂直的状态入射偏折合束器。
3.半导体激光器中合束前的两束激光光束的传播方向很多时候为相向传播，为了使合束前的两束激光光束从相向传播状态转变为相互垂直状态，通常需要增设反射镜对合束前的两束激光光束中的一束进行转折。而增设反射镜需要占用半导体激光器的空间，并且反射镜的安装角度及安装位置的误差会影响激光光束的合束效果。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供一种偏振合束棱镜及半导体激光器，能够对两束以相向方向传播的激光光束进行合束。
5.本技术实施例提供一种偏振合束棱镜，其包括：
6.棱镜本体，包括第一棱镜、第二棱镜和偏振分光镀膜；偏振分光镀膜设置于第一棱镜与第二棱镜之间；第一棱镜包括垂直设置的第一面和第四面；第二棱镜包括垂直设置的第二面和第三面；第一面与第二面相对且平行设置；第三面与第四面相对且平行设置
7.第一波片，设置于第三面；第一波片为四分之一波片；和
8.高反膜，设置于四分之一波片背向第三面一侧；
9.其中，在第一激光光束沿第一方向入射第一面、第二激光光束沿第一方向的反向入射第二面后，第一激光光束与第二激光光束能够合束形成第三激光光束并从第四面出射；第一激光光束入射第一面时的偏振态为s光，第一激光光束从第四面出射时的偏振态为s光；第三激光光束中来源于第二激光光束的光束分量入射第二面的偏振态为s光，第三激光光束中来源于第二激光光束的分量部分从第四面出射时的偏振态为p光。
10.本技术实施例还提供一种半导体激光器，其包括：
11.第一光发射模块，用以发射第一激光光束；
12.第二光发射模块，用以发射第二激光光束；第一激光光束的传播方向与第二激光光束的传播方向为相向方向；
13.偏振合束棱镜；用以对第一激光光束和第二激光光束进行合束形成第三激光光束；和
14.光输出模块，用以对第三激光光束进行聚焦并输出。
15.本技术实施例提供一种半导体激光模组及半导体激光器，通过光发射模块得到第一偏振激光，通过旋光模块对第一偏振激光的偏振方向进行旋转得到第二偏振激光、通过
分光模块对第二偏振激光进行分光得到第三偏振激光和/或第四偏振激光，用以实现在不改变半导体激光芯片的工作电流的情况下对半导体激光模组的输出激光的功率进行调制。将半导体激光模组应用于半导体激光器，进而能够实现在不改变半导体激光芯片的工作电流的情况下对半导体激光器的输出激光的功率进行调制。
16.本技术实施例中，通过第一棱镜、第二棱镜、设置于第一棱镜和第二棱镜之间的偏振分光镀膜组合形成的棱镜本体，以及通过在棱镜本体的第三面设置第一波片，以及在第一波片背向第三面一侧设置高反膜，使得沿第一方向入射第一面的第一激光光束及沿第一方向的反向入射第二面的第二激光光束能够合束形成第三激光光束后从第四面出射。
附图说明
17.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本技术实施例提供的偏振合束棱镜的结构示意图。
19.图2为图1所示的偏振合束棱镜设置第二波片及第三波片的结构示意图。
20.图3为图1所示的偏振合束棱镜设置第二波片的结构示意图。
21.图4为图1所示的偏振合束棱镜设置第三波片的结构示意图。
22.图5为图1所示的偏振合束棱镜设置增透减反膜后的结构示意图。
23.图6为图2所示的偏振合束棱镜设置增透减反膜后的结构示意图。
24.图7为图3所示的偏振合束棱镜设置增透减反膜后的结构示意图。
25.图8为图4所示的偏振合束棱镜设置增透减反膜后的结构示意图。
26.图9为本技术实施例提供的半导体激光器的第一结构示意图。
27.图10为本技术实施例提供的半导体激光器的第二结构示意图。
28.图11为图10所示结构的另一视图。
29.图12为本技术实施例提供的半导体激光器的第三结构示意图。
30.图13为本技术实施例提供的半导体激光器的第四结构示意图。
具体实施方式
31.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。
32.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”，仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
33.需要说明的是，为了清楚描述的目的，线性偏振光s光在附图中用字母s标示，线性偏振光p光在附图中用字母p标示。
34.请参阅图1-8，本技术实施例提供一种偏振合束棱镜20，偏振合束棱镜20有多种不同结构。
35.请参阅图1，本技术实施例提供第一种结构的偏振合束棱镜20。第一种结构的偏振合束棱镜20包括棱镜本体220、第一波片230和高反膜240。
36.棱镜本体220包括第一棱镜221、第二棱镜223和偏振分光镀膜225；偏振分光镀膜225设置于第一棱镜221与第二棱镜223之间；第一棱镜221包括垂直设置的第一面2212和第四面2214；第二棱镜223包括垂直设置的第二面2232和第三面2234；第一面2212与第二面2232相对且平行设置；第三面2234与第四面2214相对且平行设置。
37.第一波片230设置于第三面2234；第一波片230为四分之一波片。
38.高反膜240，设置于四分之一波片背向第三面2234一侧。
39.其中，在第一激光光束l1沿第一方向h1入射第一面2212、第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第二面2232后，第一激光光束l1与第二激光光束l2能够合束形成第三激光光束l3并从第四面2214出射。第一激光光束l1入射第一面2212时的偏振态为s光。第一激光光束l1从第四面2214出射时的偏振态为s光。第三激光光束l3中来源于第二激光光束l2的光束分量入射第二面2232的偏振态为s光。第三激光光束l3中来源于第二激光光束l2的分量部分从第四面2214出射时的偏振态为p光。
40.可以理解的是，反射镜的安装角度及安装位置的误差会影响激光光束的合束效果。具体而言，一般反射镜的反射表面需要镀有高反镀膜来对光束进行反射，若反射镜安装角度偏差过大，超过镀膜设计指标，反射率会降低，影响整体的系统效率。若反射镜安装位置偏差过大，则会导致待合束的两束激光光束的光斑中心错位，合束后的整体光束光斑直径过大，超过聚焦透镜接受口径，光束无法全部耦合进光纤中，带来系统效率损失。同时系统中的损失的激光能量照射到胶水、焊料、芯片等位置会造成胶水烧、焊料脱焊、芯片烧等一系列稳定性问题。
41.本技术实施例提供的偏振合束棱镜20，通过第一棱镜221、第二棱镜223、设置于第一棱镜221和第二棱镜223之间的偏振分光镀膜225组合形成的棱镜本体220，以及通过在棱镜本体220的第三面2234设置第一波片230，以及在第一波片230背向第三面2234一侧设置高反膜240，使得沿第一方向h1入射第一面2212的第一激光光束l1及沿第一方向h1的反向入射第二面2232的第二激光光束l2能够合束形成第三激光光束l3后从第四面2214出射。因此，本技术实施例提供的偏振合束棱镜20，能够实现将的传播方向为相向方向的两束激光光束进行合束。
42.可以理解的是，第一棱镜221、第二棱镜223均可以为直角棱镜。示例性的，第一棱镜221、第二棱镜223均为45度直角棱镜。
43.可以理解的是，偏振分光镀膜225是一种光学薄膜，用于透射p光、反射s光。也就是说，偏振分光镀膜225，允许入射的p光透射，而对入射的s光进行反射。偏振分光镀膜225可以由折射率的不同化合物材料周期性堆叠形成。所述化合物材料选自氟化镁、五氧化二钽、二氧化硅、氧化钛、氧化铪和氧化锆。
44.可以理解的是，高反膜240是一种光学薄膜，用于增加反射。高反膜240可以由折射率的不同化合物材料周期性堆叠形成。所述化合物材料选自氟化镁、五氧化二钽、二氧化硅、氧化钛、氧化铪和氧化锆。
45.可以理解的是，请参阅图1，第一波片230用以将沿第二方向h2的反向传播的第二激光光束l2的偏振态从s光转变为圆偏振光；第一波片230还用以将沿第二方向h2传播的第
二激光光束l2的偏振态从圆偏振光转变为p光。高反膜240用以将第二激光光束l2的传播方向从沿第二方向h2的反向传播转变为沿第二方向h2传播。
46.可以理解的是，第一波片230及高反膜240，用以将沿第二方向h2的反向传播的s光转变为沿第二方向h2传播的p光。
47.可以理解的是，请参阅图1，偏振分光镀膜225设置于第一棱镜221与第二棱镜223之间。将第一棱镜221朝向偏振分光镀膜225的一面称为第五面。将第二棱镜223朝向偏振分光镀膜225的一面称为第六面。第五面与偏振分光镀膜225的一侧胶合连接。第六面与偏振分光镀膜225的另一侧胶合连接。
48.在其中一个实施例中，请参阅图5，第一面2212、第二面2232及第四面2214均设有增透减反膜260。
49.在另一个实施例中，第四面2214设有增透减反膜260。
50.在另一个实施例中，第一面2212设有增透减反膜260。
51.在另一个实施例中，第二面2232设有增透减反膜260。
52.在另一个实施例中，第一面2212、第二面2232及第四面2214中的任意两个面设有增透减反膜260。
53.可以理解的是，增透减反膜260是一种光学薄膜，还可以称为减反射膜或增透膜。增透减反膜260设置于第一面2212、第二面2232、第四面2214中的至少一个光学表面，用以减少或消除设置该增透减反膜260的光学表面的反射光，从而增加设置该增透减反膜260的光学表面的透光量，进而减少或消除系统的杂散光。增透减反膜260可以由折射率的不同化合物材料周期性堆叠形成。所述化合物材料选自氟化镁、五氧化二钽、二氧化硅、氧化钛、氧化铪和氧化锆。
54.可以理解的是，请参阅图1，第一激光光束l1与第二激光光束l2以相向方向入射第一种结构的偏振合束棱镜20。
55.第一激光光束l1的传播路径描述如下。
56.第一激光光束l1沿第一方向h1入射第一面2212。第一激光光束l1入射第一面2212时的偏振态为s光。偏振分光镀膜225对第一激光光束l1进行反射。第一激光光束l1经偏振分光镀膜225反射后沿第二方向h2从第四面2214出射。
57.第二激光光束l2的传播路径描述如下。
58.第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第二面2232。第二激光光束l2入射第二面2232时的偏振态为s光。偏振分光镀膜225对第二激光光束l2进行反射。第二激光光束l2经偏振分光镀膜225反射后沿第二方向h2的反向从第三面2234出射。第二激光光束l2从第三面2234出射时的偏振态为s光。第二激光光束l2从第三面2234出射后沿第二方向h2的反向入射第一波片230。第二激光光束l2从第一波片230沿第二方向h2的反向出射时的偏振态为圆偏振光。高反膜240用以对第二激光光束l2进行反射，使得第二激光光束l2的传播方向从沿第二方向h2的反向传播转变为沿第二方向h2传播。第二激光光束l2沿第二方向h2传播入射第一波片230。第二激光光束l2沿第二方向h2入射第三面2234。第二激光光束l2入射第三面2234时的偏振态为p光。第二激光光束l2经偏振分光镀膜225透射后沿第二方向h2从第四面2214出射。
59.第三激光光束l3的传播路径描述如下。
60.第一激光光束l1经偏振分光镀膜225反射后的光束与第二激光光束l2经偏振分光镀膜225透射后的光束合束形成第三激光光束l3，第三激光光束l3从第四面2214出射。
61.请参阅图1和图2，本技术实施例提供第二种结构的偏振合束棱镜20。第二种结构的偏振合束棱镜20包括第一种结构的偏振合束棱镜20的结构，还包括第二波片250和第三波片270。
62.第二波片250设置于第一面2212。第二波片250为二分之一波片。
63.第三波片270设置于第二面2232。第三波片270为二分之一波片。
64.第一激光光束l1沿第一方向h1入射第二波片250时的偏振态为p光；第一激光光束l1沿第一方向h1从第二波片250出射时的偏振态为s光。
65.第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第三波片270时的偏振态为p光；第二激光光束l2沿第一方向h1的反向从第三波片270出射时的偏振态为s光。
66.在其中一个实施例中，请参阅图6，第二波片250背向棱镜本体220的一面、第三波片270背向棱镜本体220的一面及第四面2214均设有增透减反膜260。
67.在另一个实施例中，第四面2214设有增透减反膜260。
68.在另一个实施例中，第二波片250背向棱镜本体220的一面设有增透减反膜260。
69.在另一个实施例中，第三波片270背向棱镜本体220的一面设有增透减反膜260。
70.在另一个实施例中，第二波片250背向棱镜本体220的一面、第三波片270背向棱镜本体220的一面及第四面2214中的任意两个面设有增透减反膜260。
71.可以理解的是，请参阅图2，第一激光光束l1与第二激光光束l2以相向方向入射第二种结构的偏振合束棱镜20。
72.第一激光光束l1的传播路径描述如下。
73.第一激光光束l1沿第一方向h1入射第二波片250。第一激光光束l1入射第二波片250时的偏振态为p光。第一激光光束l1沿第一方向h1从第二波片250出射。第一激光光束l1沿第一方向h1从第二波片250出射时的偏振态为s光。
74.第一激光光束l1沿第一方向h1入射第一面2212。第一激光光束l1入射第一面2212时的偏振态为s光。偏振分光镀膜225对第一激光光束l1进行反射。第一激光光束l1经偏振分光镀膜225反射后沿第二方向h2从第四面2214出射。
75.第二激光光束l2的传播路径描述如下。
76.第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第三波片270。第二激光光束l2入射第三波片270时的偏振态为p光。第二激光光束l2沿第一方向h1的反向从第三波片270出射。第二激光光束l2沿第一方向h1的反向从第三波片270出射时的偏振态为s光。
77.第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第二面2232。第二激光光束l2入射第二面2232时的偏振态为s光。偏振分光镀膜225对第二激光光束l2进行反射。第二激光光束l2经偏振分光镀膜225反射后沿第二方向h2的反向从第三面2234出射。第二激光光束l2从第三面2234出射时的偏振态为s光。第二激光光束l2从第三面2234出射后沿第二方向h2的反向入射第一波片230。第二激光光束l2从第一波片230沿第二方向h2的反向出射时的偏振态为圆偏振光。高反膜240用以对第二激光光束l2进行反射，使得第二激光光束l2的传播方向从沿第二方向h2的反向传播转变为沿第二方向h2传播。第二激光光束l2沿第二方向h2传播入射第一波片230。第二激光光束l2沿第二方向h2入射第三面2234。第二激光光束l2入射第
三面2234时的偏振态为p光。第二激光光束l2经偏振分光镀膜225透射后沿第二方向h2从第四面2214出射。
78.第三激光光束l3的传播路径描述如下。
79.第一激光光束l1经偏振分光镀膜225反射后的光束与第二激光光束l2经偏振分光镀膜225透射后的光束合束形成第三激光光束l3，第三激光光束l3从第四面2214出射。
80.请参阅图1和图3，本技术实施例提供第三种结构的偏振合束棱镜20。第三种结构的偏振合束棱镜20包括第一种结构的偏振合束棱镜20的结构，还包括第二波片250。
81.第二波片250设置于第一面2212。第二波片250为二分之一波片。
82.第一激光光束l1沿第一方向h1入射第二波片250时的偏振态为p光；第一激光光束l1沿第一方向h1从第二波片250出射时的偏振态为s光。
83.在其中一个实施例中，请参阅图7，第二波片250背向棱镜本体220的一面、第二面2232及第四面2214均设有增透减反膜260。
84.在另一个实施例中，第四面2214设有增透减反膜260。
85.在另一个实施例中，第二波片250背向棱镜本体220的一面设有增透减反膜260。
86.在另一个实施例中，第二面2232设有增透减反膜260。
87.在另一个实施例中，第二波片250背向棱镜本体220的一面、第二面2232及第四面2214中的任意两个面设有增透减反膜260。
88.可以理解的是，请参阅图3，第一激光光束l1与第二激光光束l2以相向方向入射第二种结构的偏振合束棱镜20。
89.第一激光光束l1的传播路径描述如下。
90.第一激光光束l1沿第一方向h1入射第二波片250。第一激光光束l1入射第二波片250时的偏振态为p光。第一激光光束l1沿第一方向h1从第二波片250出射。第一激光光束l1沿第一方向h1从第二波片250出射时的偏振态为s光。
91.第一激光光束l1沿第一方向h1入射第一面2212。第一激光光束l1入射第一面2212时的偏振态为s光。偏振分光镀膜225对第一激光光束l1进行反射。第一激光光束l1经偏振分光镀膜225反射后沿第二方向h2从第四面2214出射。
92.第二激光光束l2的传播路径描述如下。
93.第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第二面2232。第二激光光束l2入射第二面2232时的偏振态为s光。偏振分光镀膜225对第二激光光束l2进行反射。第二激光光束l2经偏振分光镀膜225反射后沿第二方向h2的反向从第三面2234出射。第二激光光束l2从第三面2234出射时的偏振态为s光。第二激光光束l2从第三面2234出射后沿第二方向h2的反向入射第一波片230。第二激光光束l2从第一波片230沿第二方向h2的反向出射时的偏振态为圆偏振光。高反膜240用以对第二激光光束l2进行反射，使得第二激光光束l2的传播方向从沿第二方向h2的反向传播转变为沿第二方向h2传播。第二激光光束l2沿第二方向h2传播入射第一波片230。第二激光光束l2沿第二方向h2入射第三面2234。第二激光光束l2入射第三面2234时的偏振态为p光。第二激光光束l2经偏振分光镀膜225透射后沿第二方向h2从第四面2214出射。
94.第三激光光束l3的传播路径描述如下。
95.第一激光光束l1经偏振分光镀膜225反射后的光束与第二激光光束l2经偏振分光
镀膜225透射后的光束合束形成第三激光光束l3，第三激光光束l3从第四面2214出射。
96.请参阅图1和图4，本技术实施例提供第三种结构的偏振合束棱镜20。第三种结构的偏振合束棱镜20包括第一种结构的偏振合束棱镜20的结构，还包括第三波片270。
97.第三波片270，设置于第二面2232。第三波片270为二分支一波片。
98.第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第三波片270时的偏振态为p光；第二激光光束l2沿第一方向h1的反向从第三波片270出射时的偏振态为s光。
99.在其中一个实施例中，请参阅图8，第一面2212、第三波片270背向棱镜本体220的一面及第四面2214均设有增透减反膜260。
100.在另一个实施例中，第四面2214设有增透减反膜260。
101.在另一个实施例中，第一面2212设有增透减反膜260。
102.在另一个实施例中，第三波片270背向棱镜本体220的一面设有增透减反膜260。
103.在另一个实施例中，第一面2212、第三波片270背向棱镜本体220的一面及第四面2214中的任意两个面设有增透减反膜260。
104.可以理解的是，请参阅图4，第一激光光束l1与第二激光光束l2以相向方向入射第四种结构的偏振合束棱镜20。
105.第一激光光束l1的传播路径描述如下。
106.第一激光光束l1沿第一方向h1入射第一面2212。第一激光光束l1入射第一面2212时的偏振态为s光。偏振分光镀膜225对第一激光光束l1进行反射。第一激光光束l1经偏振分光镀膜225反射后沿第二方向h2从第四面2214出射。
107.第二激光光束l2的传播路径描述如下。
108.第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第三波片270。第二激光光束l2入射第三波片270时的偏振态为p光。第二激光光束l2沿第一方向h1的反向从第三波片270出射。第二激光光束l2沿第一方向h1的反向从第三波片270出射时的偏振态为s光。
109.第二激光光束l2沿第一方向h1的反向入射第二面2232。第二激光光束l2入射第二面2232时的偏振态为s光。偏振分光镀膜225对第二激光光束l2进行反射。第二激光光束l2经偏振分光镀膜225反射后沿第二方向h2的反向从第三面2234出射。第二激光光束l2从第三面2234出射时的偏振态为s光。第二激光光束l2从第三面2234出射后沿第二方向h2的反向入射第一波片230。第二激光光束l2从第一波片230沿第二方向h2的反向出射时的偏振态为圆偏振光。高反膜240用以对第二激光光束l2进行反射，使得第二激光光束l2的传播方向从沿第二方向h2的反向传播转变为沿第二方向h2传播。第二激光光束l2沿第二方向h2传播入射第一波片230。第二激光光束l2沿第二方向h2入射第三面2234。第二激光光束l2入射第三面2234时的偏振态为p光。第二激光光束l2经偏振分光镀膜225透射后沿第二方向h2从第四面2214出射。
110.第三激光光束l3的传播路径描述如下。
111.第一激光光束l1经偏振分光镀膜225反射后的光束与第二激光光束l2经偏振分光镀膜225透射后的光束合束形成第三激光光束l3，第三激光光束l3从第四面2214出射。
112.示例性的，请参阅图9，本技术实施例还提供一种半导体激光器2，包括：第一光发射模块40、第二光发射模块60和偏振合束棱镜20。第一光发射模块40用以发射第一激光光束l1。
113.第二光发射模块60用以发射第二激光光束l2。第一激光光束l1的传播方向与第二激光光束l2的传播方向为相向方向。
114.偏振合束棱镜20用以对第一激光光束l1和第二激光光束l2进行合束形成第三激光光束l3。
115.光输出模块80用以对第三激光光束l3进行聚焦并输出。
116.可以理解的是，请参阅图9，第一光发射模块40出射p光，第二光发射模块60出射p光，偏振合束棱镜20为图2所示结构。图9中采用图2或图6所示的偏振合束棱镜20。
117.示例性的，请参阅图10-图11，第一光发射模块40出射s光，第二光发射模块60出射s光，偏振合束棱镜20为图1或图5所示结构。可以理解的是，图10-图11所示的半导体激光器2的获得方式可以为：将图9中所示的第一光发射模块40相对于偏振合束棱镜20绕第一方向h1旋转90
°
的方式设置、第二光发射模块60相对于偏振合束棱镜20绕第一方向h1旋转90
°
的方式设置，同时将图9中所示的偏振合束棱镜20替换为图1或图5所示结构。
118.示例性的，请参阅图12，第一光发射模块40出射p光，第二光发射模块60出射s光，偏振合束棱镜20为图3或图7所示结构。可以理解的是，图12所示的半导体激光器2的获得方式可以为：将图9中所示的第二光发射模块60相对于偏振合束棱镜20绕第一方向h1旋转90
°
的方式设置，同时将图9中所示的偏振合束棱镜20替换为图3或图7所示结构。
119.示例性的，请参阅图13，第一光发射模块40出射s光，第二光发射模块60出射p光，偏振合束棱镜20为图4或图8所示结构。可以理解的是，图13所示的半导体激光器2的获得方式可以为：将图9中所示的第一光发射模块40相对于偏振合束棱镜20绕第一方向h1旋转90
°
的方式设置，同时将图9中所示的偏振合束棱镜20替换为图4或图8所示结构。
120.在一些实施例中，请参阅图9-图13，第一光发射模块40包括至少一个第一半导体激光芯片42和第一准直合束单元44；第一光发射模块40用以发射第一激光光束；至少一个第一半导体激光芯片42用以在通电状态受激发射激光；第一准直合束单元44用以对至少一个第一半导体激光芯片42发射的激光进行准直后进行空间合束形成第一激光光束。
121.第二光发射模块60包括至少一个第二半导体激光芯片62和第二准直合束单元64；第二光发射模块60用以发射第二激光光束；至少一个第二半导体激光芯片62用以在通电状态受激发射激光；第二准直合束单元64用以对至少一个第二半导体激光芯片62发射的激光进行准直后进行空间合束形成第二激光光束。
122.在一些实施例中，请参阅图9-图13，第一准直合束单元44包括至少一个第一快轴准直器441、至少一个第一慢轴准直器443和至少一个第一反射器445。
123.至少一个第一快轴准直器441与至少一个第一半导体激光芯片42一一对应，第一快轴准直器441用以对对应的第一半导体激光芯片42发射的激光在快轴方向进行准直。
124.至少一个第一慢轴准直器443与至少一个第一快轴准直器441一一对应；第一慢轴准直器443用以对由对应的第一快轴准直器441准直后的激光在慢轴方向进行准直。
125.至少一个第一反射器445与第一慢轴准直器443一一对应；第一反射器445用以对由对应的第一慢轴准直器443准直后的激光以朝同一方向反射的方式进行空间合束形成第一激光光束l1。
126.第二准直合束单元64包括至少一个第二快轴准直器641、至少一个第二慢轴准直器643和至少一个第二反射器645。
127.至少一个第二快轴准直器641与至少一个第二半导体激光芯片62一一对应，第二快轴准直器641用以对对应的第二半导体激光芯片62发射的激光在快轴方向进行准直。
128.至少一个第二慢轴准直器643与至少一个第二快轴准直器641一一对应；第二慢轴准直器643用以对由对应的第二快轴准直器641准直后的激光在慢轴方向进行准直。
129.至少一个第二反射器645与第二慢轴准直器643一一对应；第二反射器645用以对由对应的第二慢轴准直器643准直后的激光以朝同一方向反射的方式进行空间合束形成第二激光光束l2。
130.可以理解的是，第一快轴准直器441、第二快轴准直器641均可以为快轴准直镜。第一慢轴准直器443、第二慢轴准直器643均可以为慢轴准直镜。第一反射器445、第二反射器645均可以为反射镜。
131.在一些实施例中，请参阅图9-图13，光输出模块80包括聚焦透镜82和光纤84。
132.聚焦透镜82用以对第三激光光束l3进行聚焦形成第四激光光束，第四激光光束进入光纤84后经光纤84输出。
133.可以理解的是，本技术实施例提供的偏振合束棱镜20，通过第一棱镜221、第二棱镜223、设置于第一棱镜221和第二棱镜223之间的偏振分光镀膜225组合形成的棱镜本体220，以及通过在棱镜本体220的第三面2234设置第一波片230，以及在第一波片230背向第三面2234一侧设置高反膜240，使得沿第一方向h1入射第一面2212的第一激光光束l1及沿第一方向h1的反向入射第二面2232的第二激光光束l2能够合束形成第三激光光束l3后从第四面2214出射。因此，本技术实施例能够对两束以相向方向传播的激光光束进行合束。
134.以上对本技术实施例所提供的半导体激光模组及半导体激光器进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。