一种动态偏转的静电式环形梳齿式MEMS微镜结构

本技术涉及微镜结构，具体为一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构。

背景技术：

1、使用绿色能源，现如今正成为时代发展的主题。近年来，mems领域发展迅速，mems微镜在微机电领域更是大放异彩，其在通讯电子、照明、清洁能源以及汽车领域都有广泛的应用。

2、现有技术中，mems微镜技术就是微光学系统与微系统的结合，经过几十年的发展被普遍应用于激光雷达、智能投影、虚拟现实以及智能医疗等相关领域。

3、但是现有的mems微镜一般为电磁式或者静电式，难以实现大角度偏转或位移。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，所述动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构包括：镜片相关部件，包括基板和镜面；静电驱动相关部件，包括位于基板上的外梳齿以及位于镜面外侧的内梳齿，镜面和基板通过悬臂梁连接。

3、优选的，所述基板包括基底材料以及设于基底材料表面的导电金属层。

4、优选的，所述基底材料采用sio或sin；所述导电金属层采用铂或者钛导电金属薄膜。

5、优选的，所述基底材料的表面蚀刻有引线，引线与导电金属层物理连接形成整体并电连接。

6、优选的，所述镜面包括相连接的镜片金属层、镜片承载层、镜片补偿层,所述镜片金属层图形化沉积与消除后连接镜片承载层。

7、优选的，所述镜片金属层采用聚酰亚胺。

8、优选的，所述镜片承载层采用陶瓷材料。

9、一种光调配器件，包括所述的动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构。

10、一种智能百叶窗系统，包括所述的动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构。

11、一种车载自适应转向头灯照明系统，包括所述的动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、本实用新型提出的动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构基底材料采用二氧化硅，然后在基底材料上采用沉积法，分别在镜片的位置沉积镜片金属，在梳齿的部位沉积导电层，导电层有引线与外界相连，用于输入电流。当输入电压的时候，会使得的梳齿的表面带有静电，电荷之间的库仑力会使得悬臂梁发生扭转，从而带动微镜发生偏转。通过控制输入电压的大小来改变梳齿表面的电荷量，从而控制库仑力的大小，以此来改变镜片的偏转角度。

技术特征：

1.一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，其特征在于：所述动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构包括：

2.根据权利要求1所述的一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，其特征在于：所述基板包括基底材料（1）以及设于基底材料（1）表面的导电金属层（2）。

3.根据权利要求2所述的一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，其特征在于：所述基底材料（1）采用sio（2）或si（3）n（4）；所述导电金属层（2）采用铂或者钛导电金属薄膜。

4.根据权利要求2所述的一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，其特征在于：所述基底材料（1）的表面蚀刻有引线，引线与导电金属层（2）物理连接形成整体并电连接。

5.根据权利要求1所述的一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，其特征在于：所述镜面包括相连接的镜片金属层（5）、镜片承载层（6）、镜片补偿层（7）,所述镜片金属层（5）图形化沉积与消除后连接镜片承载层（6）。

6.根据权利要求5所述的一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，其特征在于：所述镜片金属层（5）采用聚酰亚胺。

7.根据权利要求5所述的一种动态偏转的静电式环形梳齿式mems微镜结构，其特征在于：所述镜片承载层（6）采用陶瓷材料。

技术总结
本技术涉及微镜结构技术领域，具体为一种动态偏转的静电式环形梳齿式MEMS微镜结构，包括：镜片相关部件，包括基板和镜面；静电驱动相关部件，包括位于基板上的外梳齿以及位于镜面外侧的内梳齿，镜面和基板通过悬臂梁连接；有益效果为：本技术提出的动态偏转的静电式环形梳齿式MEMS微镜结构基底材料采用二氧化硅，然后在基底材料上采用沉积法，分别在镜片的位置沉积镜片金属，在梳齿的部位沉积导电层，导电层有引线与外界相连，用于输入电流。当输入电压的时候，会使得的梳齿的表面带有静电，电荷之间的库仑力会使得悬臂梁发生扭转，从而带动微镜发生偏。

技术研发人员：龚星宇,王雨,张博伦,陈奕帆,李庆党
受保护的技术使用者：青岛科技大学
技术研发日：20221021
技术公布日：2024/3/4