一种波段可调的照明装置的制作方法

本技术涉及半导体前制程、后制程或其他产业的缺陷高度精密量测和检出应用的照明，尤其涉及一种波段可调的照明装置。

背景技术：

1、现有tft lcd制程即液晶显示器(liquid crystal display，lcd)中薄膜晶体管(thin film transistor，tft)的制程中包含多图层结构叠加，图层结构相对位置高度不同。在进行缺陷检测中，受到图层介质厚度与折射率的影响，需要不同波段的光源进行照明，以得到高质量图像反馈。

2、现有缺陷检测照明中，常使用单色led灯、复金属灯或卤素灯搭配彩色滤波片进行颜色切换，例如使用红色滤波片、绿色滤波片、蓝色滤波片等。但是由于滤波片使用中不可避免其他频谱波段的光输出，在进行缺陷检测时，造成图案解析度较差。另外，现有技术中，进行线性扫描时，需要灯箱搭配额外的线性灯盒进行线性光线输出，整个照明装置使用时，架设较为繁琐。

技术实现思路

1、为了解决上文所述的现有技术存在的至少一个问题，本实用新型提出一种波段可调的照明装置，应用缺陷检测部分尤其是半导体面板芯片检测照明。

2、本实用新型公开了一种波段可调的照明装置，包括发光光源、导光部件和散热组件；所述发光光源、所述导光部件均设置在所述散热组件上；由所述发光光源发出的光线经所述导光部件输出；所述发光光源包括三色led灯珠和布线板；所述三色led灯珠内封装有红色芯片、绿色芯片和蓝色芯片，通过调节所述红色芯片、所述绿色芯片和/或所述蓝色芯片的电流，控制特定波段光线的输出；所述布线板用于设置所述三色led灯珠引出来的线路。

3、进一步地，所述布线板用于焊接固定所述三色led灯珠引出来的所述线路。

4、在一些实施方案中，所述导光部件包括光路架构组、石英导光棒和光纤导光组件；所述光纤导光组件内设置有光纤；所述石英导光棒的一端穿过所述光路架构组与所述三色led灯珠连接，另一端与光纤的第一端部连接；所述石英导光棒的数量与所述三色led灯珠数量相同且一一对应；所述发光光源还包括光源固定板；所述三色led灯珠在所述光源固定板上呈阵列排布。

5、进一步地，石英导光棒为六角石英导光棒(指横截面为等边等内角角度的六边形石英导光棒，其他以此类推)、三角石英导光棒、横截面为菱形的石英导光棒、五角石英导光棒、八角石英导光棒或圆柱形石英导光棒。

6、在一些实施方案中，所述光纤的第一端部呈阵列排布，与所述石英导光棒一一对应；所述光纤的第二端部按需排布，位于所述光纤导光组件的输出端，使得输出的光线形成所需形状光照明需求。

7、在一些实施方案中，所述光纤的第二端部呈线性排布位于所述光纤导光组件的输出端，使得输出的光线形成线性光光路。

8、在一些实施方案中，所述三色led灯珠在所述光源固定板上呈15×1的阵列排布、14×1的阵列排布、13×1的阵列排布、12×1的阵列排布、11×1的阵列排布、10×1的阵列排布、9×1的阵列排布、8×1的阵列排布、7×1的阵列排布、6×1的阵列排布、5×1的阵列排布、4×1的阵列排布、3×1的阵列排布、2×1的阵列排布、15×2的阵列排布、14×2的阵列排布、13×2的阵列排布、12×2的阵列排布、11×2的阵列排布、10×2的阵列排布、9×2的阵列排布、8×2的阵列排布、7×2的阵列排布、6×2的阵列排布、5×2的阵列排布、4×2的阵列排布、3×2的阵列排布、2×2的阵列排布、15×3的阵列排布、14×3的阵列排布、13×3的阵列排布、12×3的阵列排布、11×3的阵列排布、10×3的阵列排布、9×3的阵列排布、8×3的阵列排布、7×3的阵列排布、6×3的阵列排布、5×3的阵列排布、4×3的阵列排布、3×3的阵列排布、2×3的阵列排布、15×4的阵列排布、14×4的阵列排布、13×4的阵列排布、12×4的阵列排布、11×4的阵列排布、10×4的阵列排布、9×4的阵列排布、8×4的阵列排布、7×4的阵列排布、6×4的阵列排布、5×4的阵列排布、4×4的阵列排布、3×4的阵列排布、3×4的阵列排布、15×5的阵列排布、14×5的阵列排布、13×5的阵列排布、12×5的阵列排布、11×5的阵列排布、10×5的阵列排布、9×5的阵列排布、8×5的阵列排布、7×5的阵列排布、6×5的阵列排布、5×5的阵列排布、4×5的阵列排布、3×5的阵列排布、2×5的阵列排布、15×6的阵列排布、14×6的阵列排布、13×6的阵列排布、12×6的阵列排布、11×3的阵列排布、10×6的阵列排布、9×6的阵列排布、8×6的阵列排布、7×6的阵列排布、6×6的阵列排布、5×6的阵列排布、4×6的阵列排布、3×6的阵列排布、2×6的阵列排布、15×7的阵列排布、14×7的阵列排布、13×7的阵列排布、12×7的阵列排布、11×7的阵列排布、10×7的阵列排布、9×7的阵列排布、8×7的阵列排布、7×7的阵列排布、6×7的阵列排布、5×7的阵列排布、4×7的阵列排布、3×7的阵列排布、2×7的阵列排布、15×8的阵列排布、14×8的阵列排布、13×8的阵列排布、12×8的阵列排布、11×8的阵列排布、10×8的阵列排布、9×8的阵列排布、8×8的阵列排布、7×8的阵列排布、6×8的阵列排布、5×8的阵列排布、4×8的阵列排布、3×8的阵列排布、2×8的阵列排布、15×9的阵列排布、14×9的阵列排布、13×9的阵列排布、12×9的阵列排布、11×9的阵列排布、10×9的阵列排布、9×9的阵列排布、8×9的阵列排布、7×9的阵列排布、6×9的阵列排布、5×9的阵列排布、4×9的阵列排布、3×9的阵列排布、2×9的阵列排布、15×10的阵列排布、14×10的阵列排布、13×10的阵列排布、12×10的阵列排布、11×10的阵列排布、10×10的阵列排布、9×10的阵列排布、8×10的阵列排布、7×10的阵列排布、6×10的阵列排布、5×10的阵列排布、4×10的阵列排布、3×10的阵列排布、2×10的阵列排布、15×11的阵列排布、14×11的阵列排布、13×11的阵列排布、12×11的阵列排布、11×11的阵列排布、10×11的阵列排布、9×11的阵列排布、8×11的阵列排布、7×11的阵列排布、6×11的阵列排布、5×11的阵列排布、4×11的阵列排布、3×11的阵列排布、2×11的阵列排布、15×12的阵列排布、14×12的阵列排布、13×12的阵列排布、12×12的阵列排布、11×12的阵列排布、10×12的阵列排布、9×12的阵列排布、8×12的阵列排布、7×12的阵列排布、6×12的阵列排布、5×12的阵列排布、4×12的阵列排布、3×12的阵列排布、2×12的阵列排布、15×13的阵列排布、14×13的阵列排布、13×13的阵列排布、12×13的阵列排布、11×13的阵列排布、10×13的阵列排布、9×13的阵列排布、8×13的阵列排布、7×13的阵列排布、6×13的阵列排布、5×13的阵列排布、4×13的阵列排布、3×13的阵列排布、2×13的阵列排布、15×14的阵列排布、14×14的阵列排布、13×14的阵列排布、12×14的阵列排布、11×14的阵列排布、10×14的阵列排布、9×14的阵列排布、8×14的阵列排布、7×14的阵列排布、6×14的阵列排布、5×14的阵列排布、4×14的阵列排布、3×14的阵列排布、2×14的阵列排布、15×15的阵列排布、14×15的阵列排布、13×15的阵列排布、12×15的阵列排布、11×15的阵列排布、10×15的阵列排布、9×15的阵列排布、8×15的阵列排布、7×15的阵列排布、6×15的阵列排布、5×15的阵列排布、4×15的阵列排布、3×15的阵列排布、2×15的阵列排布、1×15的阵列排布、1×14的阵列排布、1×13的阵列排布、1×12的阵列排布、1×11的阵列排布、1×10的阵列排布、1×9的阵列排布、1×8的阵列排布、1×7的阵列排布、1×6的阵列排布、1×5的阵列排布、1×4的阵列排布、1×3的阵列排布或1×2的阵列排布。

9、在一些实施方案中，所述散热组件包括散热片。

10、在一些实施方案中，所述散热组件包括电风扇。

11、在一些实施方案中，还包括温度传感器；所述温度传感器设置在所述散热组件上。

12、在一些实施方案中，所述散热组件包括第一散热件和第二散热件；所述第一散热件设置在所述发光光源的顶面和所述导光部件的顶面；所述第二散热件设置在所述发光光源的底面和所述导光部件的底面。

13、在一些实施方案中，还包括固定组件，用于固定所述发光光源、所述导光部件和所述散热组件；所述固定组件包括第一固定座、第二固定座、第三固定座和束带座；所述第一固定座、所述第二固定座、所述第三固定座、所述第一散热件和所述第二散热件围合成第一腔体；所述发光光源和所述导光部件设置在所述第一腔体内；所述束带座设置在所述第二固定座背离所述第一腔体侧。

14、在一些实施方案中，所述红色芯片、所述绿色芯片和所述蓝色芯片并联，通过开关控制电路通断的方式来实现白光、红光、绿光和蓝光的切换，具体被设置为：在所述红色芯片、所述绿色芯片和所述蓝色芯片所在的电路均连通的情形下，所述三色led灯珠发出白光；在所述红色芯片所在的电路连通而所述绿色芯片和所述蓝色芯片所在的电路均断开的情形下，所述三色led灯珠发出红光；在所述绿色芯片所在的电路连通，而所述红色芯片和所述蓝色芯片所在的电路均断开的情形下，所述三色led灯珠发出绿光；在所述蓝色芯片所在的电路连通，而所述红色芯片和所述绿色芯片所在的电路均断开的情形下，所述三色led灯珠发出蓝光。

15、在一些实施方案中，所述三色led灯珠内封装有红色芯片、绿色芯片和蓝色芯片，通过调节所述红色芯片、所述绿色芯片和/或所述蓝色芯片的电流，控制特定波段光线的输出，具体为cn 201911139957.3所述的方法进行混色调节波段，即不限于输出白光、红光、绿光和蓝光，而是可通过调控红色芯片、绿色芯片和蓝色芯片的电流比例，混合出在红光和蓝光波段范围内的所有光线。

16、本实用新型采用三色led灯珠作为发光光源，经石英导光棒汇聚光线传输至光纤导光组件中，光纤导光组件为矩形阵列排布光纤丝束，由输出端口发出光线，呈线性光照明，配合ccd相机实现图层检测。本实用新型可同过调整led灯珠内rgb的发光比实现多波段照明。

17、有益效果有：

18、1、通过控制三色led灯珠中的rgb芯片(即同时包含红色芯片、绿色芯片和蓝色芯片)，为缺陷检测提供多波段光线照明(甚至混色多波段光线照明)，提高检测精度；

19、2、搭配阵列化光纤束实现线性照明，简化照明系统；

20、3、整个照明装置装载散射片进行散热，减少因风扇散热带动空气震动对检测速度与精度造成的不利影响；

21、4、使用三色led灯珠为阵列排布，整体发光面为矩形面光，能够为后续线性光照明提供高强高亮的光源；

22、5、使用(六角)石英导光棒/导光柱与三色led灯珠一一对应，用于将三色led灯珠发射的光线进行汇聚与收敛发散角度，便于光线进入光纤内传播，减少光线逸散。

23、6、使用光纤进行光束整形，利用光在光纤内全反射的原理将光线整合输出，光纤束出光端口为线阵排列固定，光线输出即实现线性光照明，应用于线扫描模式，增加图像检测效率。

24、7、在本装置中改变光纤束的排列同样可以实现多形状光照明需求；

25、以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。