在变化参数下具有稳定的性能的阵列波导光栅的制作方法

文档序号:37151074发布日期:2024-02-26 17:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种阵列波导光栅器件,包括:

2.根据权利要求1所述的阵列波导光栅器件,其中,与光学阵列波导光栅的操作关联的参数是i)环境温度、ii)波导有源层厚度、iii)波导色散、iv)波导应力、v)相移线性和vi)侧壁刻蚀断面中的一个。

3.根据权利要求1所述的阵列波导光栅器件,其中,

4.根据权利要求1所述的阵列波导光栅器件,其中,

5.根据权利要求4所述的阵列波导光栅器件,其中,

6.根据权利要求1所述的阵列波导光栅器件,其中,在所述多个波导之中的每个波导还包括一个或多个互连的波导部分,其中,在所述多个波导之中的各个波导中的所述一个或多个互连的波导部分的组合长度至少基本彼此相等。

7.根据权利要求1所述的阵列波导光栅器件,其中,

8.根据权利要求1所述的阵列波导光栅器件,其中,

9.一种阵列波导光栅器件,包括:

10.根据权利要求9所述的阵列波导光栅器件,其中,与光学阵列波导光栅器件的操作关联的所述一个或多个参数包括i)环境温度、ii)波导有源层厚度、iii)波导色散、iv)波导应力、v)相移线性和vi)侧壁刻蚀断面中的一个或者多个。

11.根据权利要求9所述的阵列波导光栅器件,其中,在所述多个波导之中的特定的波导的所述多个波导部分具有各自的不同的宽度。

12.根据权利要求9所述的阵列波导光栅器件,其中,在所述多个波导之中的特定的波导的所述多个波导部分具有各自的不同的波导类型。

13.根据权利要求12所述的阵列波导光栅器件,其中,从在i)肋状波导、ii)条状波导和iii)负载波导之中选择所述各自的不同的波导类型。

14.根据权利要求9所述的阵列波导光栅器件,其中,在所述多个波导之中的每个波导还包括一个或多个互连的波导部分,其中,在所述多个波导之中的各个波导中的所述一个或多个互连的波导部分的组合长度至少基本彼此相等。

15.根据权利要求9所述的光学阵列波导光栅器件,其中,

16.一种解复用光学信号的方法,包括:

17.根据权利要求16所述的方法,其中,与光学阵列波导光栅的操作关联的参数包括i)环境温度、ii)波导有源层厚度、iii)波导色散、iv)波导应力、v)相移线性和vi)侧壁刻蚀断面中的一个。

18.根据权利要求16所述的方法,其中,在所述多个波导之中的特定的波导的所述多个波导部分具有各自的不同的宽度。

19.根据权利要求16所述的方法,其中,在所述多个波导之中的特定的波导的所述多个波导部分具有各自的不同的波导类型。

20.根据权利要求19所述的方法,其中,从在i)肋状波导、ii)条状波导和iii)负载波导之中选择所述各自的不同的波导类型。


技术总结
阵列波导光栅器件(200)包括输入耦合器(202),输入耦合器(202)被配置为接收光信号并将光信号分割成多个输出光信号。器件还包括多个波导多个波导被光学地连接到输入耦合器,每个波导具有多个波导部分多个波导部分具有对与光学阵列光栅器件的操作关联的一个或多个参数的变化的各自的灵敏度。各个部分的长度被确定为使得每个波导将相应的相移施加到通过该波导传播的输出光信号,并且随着与器件的操作关联的一个或多个参数的各自的改变,多个波导具有至少基本相同的相移的改变。输出耦合器(204)被光学地连接到多个波导,以将从多个波导输出的各个光信号映射到相应的焦点位置。

技术研发人员:S·P·安德森
受保护的技术使用者:麦克姆技术解决方案控股有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/25
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