载台装置、转印装置以及物品制造方法与流程

本发明涉及载台装置、转印装置以及物品制造方法。

背景技术：

1、将原版的图形向基板转印的转印装置可包括：由粗动促动器驱动的粗动载台；以及配置在粗动载台之上并保持基板的微动载台。在粗动载台与微动载台之间，可配置用于对微动载台相对于粗动载台的位置以及姿势进行调整的微动促动器。另外，在粗动载台与微动载台之间，也可配置用于以非接触方式将由粗动促动器提供给粗动载台的推力向微动载台传递的电磁促动器。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2005－109522号公报

5、专利文献2：日本特开平8－130179号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、当使微动载台加速时，会对微动载台作用力矩。若为了抵消这样的力矩而使微动促动器动作，则来自微动促动器的发热会增大。该发热会导致微动载台的变形，该变形会导致套刻精度的降低。

3、本发明的目的在于提供有利于减小作用于微动载台的力矩的技术。

4、用于解决课题的方案

5、本发明的第1方面涉及一种保持基板的载台装置，上述载台装置包括：粗动载台；沿规定的平面驱动上述粗动载台的粗动促动器；保持上述基板的微动载台；用于调整上述微动载台相对于上述粗动载台的位置以及姿势的微动促动器；以及用于以非接触方式将由上述粗动促动器提供给上述粗动载台的推力向上述微动载台传递的电磁促动器，上述电磁促动器包括：固定于上述微动载台的可动铁芯；固定于上述粗动载台的固定铁芯；以及缠绕在上述固定铁芯上的线圈，由上述微动载台保持的上述基板与上述线圈的最短距离大于上述基板与上述固定铁芯的最短距离。

6、本发明的第2方面涉及一种将原版的图形向基板转印的转印装置，上述转印装置具有第1方面所涉及的载台装置。

7、本发明的第3方面涉及一种物品制造方法，上述物品制造方法包括：通过第2方面所涉及的转印装置将原版的图形向基板转印的转印工序；以及从进行过上述转印工序的上述基板获得物品的工序。

8、发明的效果

9、根据本发明，可提供有利于减小作用于微动载台的力矩的技术。

技术特征：

1.一种载台装置，该载台装置保持基板，其特征在于，

2.如权利要求1所述的载台装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的载台装置，其特征在于，

4.如权利要求1所述的载台装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的载台装置，其特征在于，

6.如权利要求1所述的载台装置，其特征在于，

7.如权利要求6所述的载台装置，其特征在于，

8.如权利要求7所述的载台装置，其特征在于，

9.如权利要求1所述的载台装置，其特征在于，

10.如权利要求1～9中任一项所述的载台装置，其特征在于，

11.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

12.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

13.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

14.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

15.如权利要求14所述的载台装置，其特征在于，

16.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

17.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

18.如权利要求17所述的载台装置，其特征在于，

19.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

20.如权利要求11所述的载台装置，其特征在于，

21.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

22.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

23.如权利要求10所述的载台装置，其特征在于，

24.如权利要求23所述的载台装置，其特征在于，

25.一种转印装置，该转印装置将原版的图形向基板转印，其特征在于，

26.一种物品制造方法，其特征在于，

技术总结
本发明提供载台装置、转印装置以及物品制造方法。保持基板的载台装置包括：粗动载台；沿规定平面驱动上述粗动载台的粗动促动器；保持上述基板的微动载台；用于调整上述微动载台相对于上述粗动载台的位置以及姿势的微动促动器；以及用于以非接触方式将由上述粗动促动器提供给上述粗动载台的推力向上述微动载台传递的电磁促动器。上述电磁促动器包括：固定于上述微动载台的可动铁芯；固定于上述粗动载台的固定铁芯；以及缠绕在上述固定铁芯上的线圈。由上述微动载台保持的上述基板与上述线圈的最短距离大于上述基板与上述固定铁芯的最短距离。

技术研发人员：佐藤健,神谷重雄,是永伸茂
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15