一种光学设备及其激发光路的制作方法

本技术涉及光学测量，尤其是涉及一种光学设备及其激发光路。

背景技术：

1、随着科学研究的发展和光子产业的升级，对于能够在介观尺度精细表征材料光学特性，并且能够实时快速获取样品信息的强烈需求将促进相关检测技术的进步。通常用于光学测量的光学设备使用激光作为激发光源经激发光路后进入显微模块，然后照射样品表面。其中一种应用场景是需要控制激光扫描样品表面特定区域。如何实现激光扫描是一个重要的研究方向。

技术实现思路

1、为了解决背景技术中提到的问题，本实用新型提供了一种光学设备及其激发光路。

2、第一方面，本实用新型一种光学设备的激发光路采用如下的技术方案：

3、一种光学设备的激发光路， 包括：

4、一第一子光路，其能够接受来自第一光源的激光，所述第一子光路包括沿着光传播方向上依次设置的一偏振片，一二分之一波片和一第一振镜模块；

5、一第二子光路，其能够接受来自第二光源的激光，所述第一子光路包括一第二振镜模块；

6、一光学元件，其能够接受来自所述第一子光路和所述第二子光路的光并合成一束；

7、一反射元件，其能够反射来自所述光学元件的光；

8、一物镜，其能够透射来自所述反射元件的光。

9、可选的，所述第一子光路的光、所述第二子光路的光和所述光学元件输出的光位于同一平面，所述反射元件将来自所述光学元件输出的光反射后垂直于所述平面出射。

10、可选的，所述光学元件为分束器或二向色镜；所述反射元件为分束器或二向色镜或反射镜。

11、可选的，所述光学元件和所述反射元件为光学性能相同的分束器，或者所述光学元件和所述反射元件为光学性能相同的二向色镜。

12、可选的，所述第一子光路还包括沿着光传播方向上依次设置的一第一激光器、一第一反射镜和一第二反射镜，所述第二反射镜位于所述第一反射镜和所述偏振片之间。

13、可选的，所述第二子光路还包括沿着光传播方向上依次设置的一第二激光器、一第三反射镜、一第四反射镜和一第五反射镜，所述第五反射镜位于所述第四反射镜和所述第二振镜模块之间。

14、可选的，所述第一子光路还包括设置于所述二分之一波片和所述第一振镜模块之间的一四分之一波片。

15、可选的，所述第一子光路还包括一平移台，所述四分之一波片安装于所述平移台上，所述平移台能够将所述四分之一波片移入或移出所述第一子光路。

16、第二方面，本实用新型一种光学设备采用如下的技术方案：

17、本实用新型还提供了一种光学设备，包括上述任一项所述的光学设备的激发光路。

18、本实用新型的有益效果是：

19、本实用新型提供的光学设备及其激发光路，该激发光路具有两个子光路，一路为偏振光，另一路为非偏振光；两个子光路都能实现激光扫描。

技术特征：

1.一种光学设备的激发光路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第一子光路的光、所述第二子光路的光和所述光学元件输出的光位于同一平面，所述反射元件将来自所述光学元件输出的光反射后垂直于所述平面出射。

3.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述光学元件为分束器或二向色镜；所述反射元件为分束器或二向色镜或反射镜。

4.根据权利要求3所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述光学元件和所述反射元件为光学性能相同的分束器，或者所述光学元件和所述反射元件为光学性能相同的二向色镜。

5.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第一子光路还包括沿着光传播方向上依次设置的一第一激光器、一第一反射镜和一第二反射镜，所述第二反射镜位于所述第一反射镜和所述偏振片之间。

6.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第二子光路还包括沿着光传播方向上依次设置的一第二激光器、一第三反射镜、一第四反射镜和一第五反射镜，所述第五反射镜位于所述第四反射镜和所述第二振镜模块之间。

7.根据权利要求1所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第一子光路还包括设置于所述二分之一波片和所述第一振镜模块之间的一四分之一波片。

8.根据权利要求7所述的光学设备的激发光路，其特征在于，所述第一子光路还包括一平移台，所述四分之一波片安装于所述平移台上，所述平移台能够将所述四分之一波片移入或移出所述第一子光路。

9.一种光学设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的光学设备的激发光路。

技术总结
本技术提供了一种光学设备及其激发光路，该光学设备的激发光路包括：一第一子光路，其能够接受来自第一光源的激光，所述第一子光路包括沿着光传播方向上依次设置的一偏振片，一二分之一波片和一第一振镜模块；一第二子光路，其能够接受来自第二光源的激光，所述第一子光路包括一第二振镜模块；一光学元件，其能够接受来自所述第一子光路和所述第二子光路的光并合成一束；一反射元件，其能够反射来自所述光学元件的光；一物镜，其能够透射来自所述反射元件的光。本技术光学设备的激发光路具有两个子光路，一路为偏振光，另一路为非偏振光；两个子光路都能实现激光扫描。

技术研发人员：任祺君
受保护的技术使用者：苏州思萃声光微纳技术研究所有限公司
技术研发日：20230417
技术公布日：2024/1/12