一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件

文档序号:37558257发布日期:2024-04-09 17:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,其特征在于,包括:自上而下依次设置的超构表面和布拉格反射器;

2.根据权利要求1所述的一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,其特征在于,所述超构表面形成有水平线偏振消色差超透镜、垂直线偏振消色差超透镜、45°线偏振消色差超透镜和左旋圆偏振消色差超透镜;

3.根据权利要求2所述的一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,其特征在于,所述超构表面的尺寸为35μm×35μm;

4.根据权利要求1所述的一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,其特征在于,所述纳米介质柱为富硅氮化硅纳米介质柱;

5.根据权利要求1所述的一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,其特征在于,所述介质层包含有富硅氮化硅介质层和二氧化硅介质层。

6.根据权利要求6所述的一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,其特征在于,所述布拉格反射器包含有上层区域和下层区域;

7.根据权利要求3所述的一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,其特征在于,所述纳米介质柱的高度为600nm,最大深宽比为6:1;

8.根据权利要求7所述的一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,其特征在于,所述水平线偏振消色差超透镜、垂直线偏振消色差超透镜、45°线偏振消色差超透镜和左旋圆偏振消色差超透镜的工作带宽均为517nm–562nm。


技术总结
本发明涉及偏振探测技术领域,具体公开一种基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件,包括自上而下依次设置的超构表面和布拉格反射器;所述超构表面组件包括衬底和纳米介质柱,所述纳米介质柱排列在所述衬底上;所述纳米介质柱的横截面为椭圆形状的各向异性结构,以对不同波长及偏振态具有不同振幅与相位响应;所述布拉格反射器由介质层在空间上交替排列构成,且不同区域的所述介质层的厚度不同,以形成不同的禁带从而起到带通滤波器的作用;该基于空间复用消色差超透镜的偏振探测器件集成了布拉格反射器以过滤出器件对应的工作波长带宽,减小器件对于光源的需求依赖。

技术研发人员:陈钰杰,王博,朱照祥,顾欣,李嘉麒,梁洲鑫
受保护的技术使用者:中山大学
技术研发日:
技术公布日:2024/4/8
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