光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器的制造方法_4

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4X的未用于光反射的无用区域变多。这样的无用区域不仅造成光反射面114X的无用面积,还造成光反射板113X的无用的面积以及体积,增大了使光反射板113X摆动时的空气阻力,其结果,导致消耗电力的增大。另外,因为光反射板113X的质量不必要地增大,所以即使该点,也会导致耗电力的增大。
[0132]因此,如图7的(b)所示,使光反射板113成为未用于光反射的无用区域变少的俯视形状。这里,俯视中,成为光反射板113的几何学中心g与基部111的几何学中心P相分离的位置(参照图6的(b))。
[0133]在本实施方式中,光反射板113在俯视中,沿光反射板113的几何学中心g成为与基部111的几何学中心P排列的方向(在本实施方式中Y轴方向)的椭圆形或者鸡蛋形。由此,在使光从相对于光反射板113的光反射面114倾斜的方向入射的情况下,能够减少光反射板113的未用于光反射的无用区域。
[0134]这样的2轴型光扫描仪I中,若假设光反射板113的绕摆动轴(X轴或者Y轴)的惯性力矩的平衡差,则光反射板113的摆动角的平衡会变差,并且会产生轴部12a、12b或者轴部14a、14b、14c、14d的不必要的弯曲形变。
[0135]若更具体的说明,则在本实施方式中,光反射板113的几何学中心g相对于Y轴偏移。因此,若假设不设置重心调整部115,则光反射板113的绕X轴的惯性力矩的平衡变差,光反射板113的绕X轴的摆动角的平衡变差。即,若不进行光反射部的重心调整,则俯视中光反射部的重心G相对于X轴偏移,在使光反射板113绕X轴摆动时,相对于光反射板113的X轴,在几何学中心g侧的部分和其相反的一侧的部分摆动角不同。
[0136]另外,如上述那样,光反射板113相对于轴部12a、12b在光反射板113的板厚方向分离,所以光反射部的重心G相对于Y轴在光反射板113的厚度方向分离。因此,若不进行光反射部的重心调整,则伴随光反射板113绕Y轴的摆动,会产生轴部14a、14b、14c、14d的不必要的弯曲形变。即,若俯视中光反射部的重心G相对于X轴偏移,则在使光反射板113绕Y轴摆动时,使基部111绕对于X轴以及Y轴正交的轴的力作用于基部111。其结果,轴部12a、12b或者轴部14a、14b、14c、14d会产生不必要的弯曲形变。
[0137]根据这样的情况,在2轴型光扫描仪I中,进行光反射部的重心调整特别有用。即,通过重心调整部115调整光反射部的重心G,能够防止或者抑制上述问题的产生。
[0138]在本实施方式中,如图6所示,重心调整部115是配置于光反射板113的与光反射面114相反侧的面的重锤。由此,光反射板113的加工变得简单。另外,重心调整部115也不阻碍光反射面114的光反射。另外,光反射部的重心调整的自由度变高。这样的重心调整部115通过适当地选择其形成位置、范围、形状、厚度、构成材料等,能够进行光反射部的重心调整。
[0139]该重心调整部115相对于X轴设置在与光反射板113的几何学中心g相反侧。由此,能够使光反射部的重心G接近基部111的几何学中心P。此外,图6中,重心调整部115相对于X轴形成在与光反射板113的几何学中心g相反侧的整个区域,但重心调整部115的形成区域如果具有相对于X轴设置在与光反射板113的几何学中心g相反侧的部分即可,不局限于图6所示,例如,重心调整部115既可以相对于X轴形成在与光反射板113的几何学中心g相反侧的区域的一部分,也可以具有相对于X轴形成在光反射板113的几何学中心g侧的区域的部分。
[0140]另外,重心调整部115呈薄膜状或者层状。由此,能够使用成膜法来高精度地形成重心调整部115。
[0141]另外,作为重心调整部115的构成材料并不特别限定,例如能够使用金属材料、玻璃材料、硅材料、树脂材料等,但优选使用与光反射板113不同的材料。通过重心调整部115由与光反射板113不同的材料构成,能够使构成重心调整部的材料的比重与构成光反射板113的材料的比重不同。其结果,能够提高光反射部的重心调整的自由度。
[0142]特别是,优选重心调整部115由金属材料构成。一般而言,光反射板113使用硅材料或玻璃材料来构成,但金属材料的多数与硅材料、玻璃材料相比,比重大。因此,通过由金属材料构成重心调整部115,能够高效地进行光反射部的重心调整。作为这样的金属材料,如果是可成膜的材料即可,并不特别限定,能够使用各种金属材料,但优选使用比重比硅大并且化学稳定性比较高的金属,例如金、银、白金、镍、销、钛、钨、铬等。
[0143]根据以上说明的光扫描仪1,通过将重心调整部115设置在光反射板113,能够使光反射部的绕摆动轴的惯性力矩的平衡优异,实现光反射板113的稳定的摆动,并且使光反射板113成为光反射的利用效率高的俯视形状。
[0144]<第2实施方式>
[0145]接下来,对本发明的第2实施方式进行说明。
[0146]图8是用于说明本发明的第2实施方式的光扫描仪所具备的光反射板的图,图8的(a)是沿Y轴的剖视图,图8的(b)是光反射板的背面图。
[0147]以下,以与上述的第I实施方式的不同点为中心对第2实施方式进行说明,相同的事项省略其说明。此外,在图8中,对与上述的实施方式相同的构成标注相同附图标记。
[0148]本实施方式除了重心调整部以及光反射板的构成不同以外,与上述的第I实施方式相同。
[0149]如图8所不,第2实施方式的光扫描仪所具备的可动镜部IlA具备光反射板113A (光反射部)。
[0150]该光反射板113A具有薄壁部1131以及比薄壁部1131厚的厚壁部1132作为厚度不同的多个部分。薄壁部1131在俯视中相对于X轴设置于光反射板113A的几何学中心g侦牝厚壁部1132在俯视中相对于X轴设置于与光反射板113A的几何学中心g相反侧。通过这样地将薄壁部1131以及厚壁部1132设置在光反射板113A,来调整光反射部的重心G。这里,厚壁部1132构成调整光反射部的重心G的重心调整部115A。这样的重心调整部115A能够与光反射板113A的形成一并形成。因此,能够有效地生产光扫描仪。此外,既可以说薄壁部1131构成“重心调整部”,也可以说薄壁部1131以及厚壁部1132构成“重心调整部”。
[0151]通过以上说明的第2实施方式,能够使光反射部的绕摆动轴的惯性力矩的平衡优异,实现光反射部的稳定的摆动,并且使光反射部成为光反射的利用效率高的俯视形状。
[0152]<第3实施方式>
[0153]接下来,对本发明的第3实施方式进行说明。
[0154]图9是用于说明本发明的第3实施方式的光扫描仪所具备的光反射板的图,图9的(a)是沿Y轴的剖视图,图9的(b)是光反射板的背面图。
[0155]以下,以与上述的第I实施方式的不同点为中心对第3实施方式进行说明,相同的事项省略其说明。此外,在图9中,对与上述的实施方式相同的构成标注相同附图标记。
[0156]本实施方式除了重心调整部的形成位置不同以外,与上述的第I实施方式相同。
[0157]如图9所示,第3实施方式的光扫描仪所具备的可动镜部IlB具备重心调整部115B。
[0158]该重心调整部115B相对于光反射板113的X轴设置于与几何学中心g相反侧的端部。光反射部的绕摆动轴的惯性力矩也与距离摆动轴的距离的平方成比例,所以通过在这样的光反射板113的端部设置重心调整部115B,能够高效地进行光反射部的重心调整,减小构成重心调整部115B的重锤。
[0159]通过以上说明那样的第3实施方式,也能够使光反射部的绕摆动轴的惯性力矩的平衡优异,实现光反射部的稳定的摆动,并且使光反射部成为光反射的利用效率高的俯视形状。
[0160]〈第4实施方式〉
[0161]接下来,对本发明的第4实施方式进行说明。
[0162]图10是用于说明本发明的第4实施方式的光扫描仪所具备的光反射板的俯视图。
[0163]以下,以与上述的第I实施方式的不同点为中心对第4实施方式说明,相同的事项省略其说明。此外,在图10中,对与上述的实施方式相同的构成标注相同附图标记。
[0164]本实施方式除了光反射板的安装方向不同以外,与上述的第I实施方式相同。
[0165]如图10所不,第4实施方式的光扫描仪IC在俯视中,光反射板113的几何学中心g相对于Y轴偏移。
[0166]该情况下,若假设不设置重心调整部,则光反射部的绕Y轴的惯性力矩的平衡变差,会产生光反射部的绕Y轴的摆动角的平衡变差、或者伴随光反射部绕X轴的摆动而轴部12a、12b产生不必要的弯曲形变这样的问题。
[0167]因此,虽然未图不,但与上述第I实施方式相同,在光反射板113的下表面设置有重心调整部,由此,调整光反射部的重心,防止或者抑制这样问题的产生。
[0168]通过以上说明的第4实施方式,也能够使光反射部的绕摆动轴的惯性力矩的平衡优异,实现光反射部的稳定的摆动,并且使光反射部成为光反射的利用效率高的俯视形状。
[0169]<图像显示装置的实施方式>
[0170]图11是示意性地表示本发明的图像显示装置的实施方式的图。
[0171]在本实施方式中,作为图像显示装置的一个例子,对使用光扫描仪I作为成像用显示器的光扫描仪的情况进行说明。此外,将屏幕S的长边方向作为“横向”,与长边方向呈直角的方向作为“纵向”。另外,X轴与屏幕S的横向平行,Y轴与屏幕S的纵向平行。
[0172]图像显示装置(投影仪)9具有照出激光等光的光源装置(光源)91、多个分色镜92A、92B、92C、以及光扫描仪I。
[0173]光源装置91具备照出红色光的红色光源装置911、照出蓝色光的蓝色光源装置912、以及照出绿色光的绿色光源装置913。
[0174]各分色镜92A、92B、92C是合成从红色光源装置911、蓝色光源装置912、绿色光源装置913分别照出的光的光学元件。
[0175]这样的图像显示装置9构成为,基于来自未图示的主计算机的图像信息,将从光源装置91 (红色光源装置911、蓝色光源装置912、绿色光源装置913)照出的光分别在分色镜92A、92B、92C合成,该合成的光被光扫描仪I 二维扫描,在屏幕S上形成彩色图像。
[0176]二维扫描时,通过光扫描仪I的可动镜部11绕Y轴的
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