列为100X100阵列时,光强度为55W,相较于以DMD作为光学处理系统的光强度，本发明的实施例的光学处理系统相较于现有技术在光强度的表现上具有2.8倍的倍数成长的技术效果。因此相较于DMD，利用本发明的光学处理系统(以100X 100LED阵列晶片为例)在处理速度的表现上也可发挥处理速度快约3倍的功效。
[0061]然而，在其他实施例中，发光单元114可以是有机发光二极管(Organic LightEmitting D1de,简称0LED)、激光二极管、超发光二极管或其他适当的发光的元件。在其他实施例中，发光单元模块中的发光单元也可以以例如是以蜂巢状、同心圆状、放射状排列或其他交错或非线性的方式排列。
[0062]在此必须说明的是，下述实施例沿用前述实施例的元件标号与部分内容，其中采用相同的标号来表示相同或近似的元件，并且省略了相同技术内容的说明。关于省略部分的说明可参考前述实施例，下述实施例不再重复赘述。
[0063]图2A是本发明的另一实施例中光学处理系统的示意图，图2B至图2D是图2A中像平面被图像光束投射时的俯视图。请参照图2A至图2D，本实施例中的光学处理系统100B与图1A所示的实施例中的光学处理系统100A类似，不同之处在于本实施例中的光学处理系统100B还包括一载台150，用于承载待处理物160，且本实施例中的光学扫描单元130可以让图像光束111沿着第一方向dl对像平面140扫描。
[0064]更具体来说，请参照图2B，本实施例中的光学处理系统100B例如可以于第一时间利用一次光学处理在像平面140的区域119A形成区域图像，而光学扫描单元130可以让图像光束111在像平面140形成区域图像的位置沿着第一方向dl移动。请参照图2B及图2C，在本实施例中，光学扫描单元130使图像光束111沿着第一方向dl移动的同时，图像产生单元110也同时根据位置的变化来使区域图像改变，因此可以在第二时间利用一次光学处理或扫描像平面140中区域119B的同时，同步对部分或全部的区域119A继续地进行光学处理并叠合成图像图案，换言之，在第一时间已形成图像图案的区域119A可在第二时间进行二度光学处理时增强部分或全部图案的照光量，借以加强光学处理程度。请参照图2B至图2D，在本实施例中，光学处理系统100B依序通过上述的方式沿着第一方向dl扫描来完成位于像平面140的待处理物160上的图像图案，因此可以提供较高的处理效率及较好的处理品质，并可以根据图案、线宽等设计而于像平面140上控制不同的照光量。在本实施例中，上述光学处理例如是对待处理物160中的一光阻层进行曝光，但不限于此。在其他实施例中，上述光学处理例如是对待处理物中的一金属层或待蚀刻层作光学蚀刻。
[0065]图3A是本发明的另一实施例中光学处理系统的示意图，图3B至图3C是图3A中像平面被图像光束投射时的俯视图。请参照图3A，本实施例的光学处理系统100C与图1A所示的实施例中的光学处理系统100A类似，不同之处在于本实施例中具有多个图像产生单元110(例如图中所示三个)，而光学处理系统100C具有多个发光单元模块112及多个成像镜头116，而各发光单元模块112各自通过成像镜头116来经过光学扫描单元130在像平面140上产生区域图像，其中本实施例的光学扫描单元130使多个图像光束111沿着第一方向dl扫描。请参照图3B及图3C，在本实施例中光学处理系统100C在第一时间可以同时对像平面140的区域119D、区域119E、区域119F产生区域图像，再通过光学扫描单元130的扫描使像平面140上的照射区域可以沿着第一方向dl移动，当照射区域沿着第一方向dl到达像平面140的边界后再通过载台150的移动，使照射区域可以往回扫描至区域119G、区域119H、区域1191再到达区域119D、区域119E、区域119F之间的区域来叠合完成图像图案。因此，本实施例中的光学处理系统100C可以通过多个图像产生单元110来对像平面140上的多个区域同时产生区域图像，这样更加提升处理效率。在其他实施例中，光学处理系统还可以具有七个或是其他数量的多个图像产生单元，这些图像产生单元同时在像平面上例如是以错开的区域位置对像平面做扫描来产生图像图案。
[0066]图4是本发明的另一实施例中光学处理系统的不意图。请参照图4,本实施例的光学处理系统100D相似于图2A所示的实施例中的光学处理系统100B，不同之处在于本实施例的光学处理系统100D中，还包括一致动器170，其连接至载台150，而致动器170驱使载台150沿着第一方向dl或前述第二方向移动，但不限于此。在其他实施例中，致动器170还可以连接载台150并驱使其沿着其他方向移动，还可以使载台150作沿厚度方向作上下移动。在其他实施例中，光学处理系统还可以包括多个致动器，而这些致动器使载台可以沿着多个方向移动。请参照图4，在本实施例中，通过载台150的移动可以使产生在像平面140的区域图像也一并有相对的位置移动，并借此完成图像图案。在另一实施例中，光学处理系统还可以同时通过光学扫描单元130沿着第一方向dl扫描，而载台通过致动器170沿着与第一方向dl不同的第二方向移动，借此来改变图像光束111在像平面140上的照射位置。此外，光学扫描单元130也可以是以多旋转(rotating polygon)的方式来改变图像光束111的方向。
[0067]图5A是本发明的另一实施例中光学处理系统的示意图。图5B至图5E是图5A中像平面被图像光束投射时的俯视图。请参照图5A，本实施例的光学处理系统100E相似于图1A所不的实施例中的光学处理系统100A,不同之处在于本实施例中光学扫描单兀130包括第一振镜132及第二振镜134,其中第一振镜132及第二振镜134配置于图像光束111的传递路径上，而第一振镜132适于绕着第一轴线LI摆动，第二振镜134配置于来自第一振镜132的图像光束111的传递路径上，并适于绕着第二轴线L2摆动。通过第一振镜132及第二振镜134的摆动及配置，可以使图像光束111在像平面上成像的位置可以沿着第一方向dl及第二方向d2移动。更具体来说，请参照图5A至图5E，通过上述第一振镜132及第二振镜134的配置，可以在像平面140上的区域119J产生区域图像，并通过第一振镜132及第二振镜134的摆动可以使图像光束111在像平面140上产生区域图像的位置从区域119J移动到区域119K，再继续移动到区域119L，最后移动到区域119M来完成图像图案，其中在移动的同时图像产生单元110也对应改变其所能投影出的区域图像，借以使各区域图像叠合成图像图案并加强光处理效果。在其他实施例中，光学处理系统100E还可以是通过其他方向及路线对像平面140做扫描来叠合成图像图案。
[0068]请参照图5A，在本实施例中光学处理系统100E可以使图像光束111在像平面上成像的位置可以沿着第一方向dl及第二方向d2移动,且第一方向dl实质上垂直于第二方向d2，但不限于此。在其他实施例中，光学处理系统中的光学扫描单元还可以通过其他多个方向来移动图像光束111在像平面的照射位置。
[0069]图6是本发明的另一实施例中光学处理系统的立体图。请参照图6，本实施例的光学处理系统100F相似于图2A所示的实施例中的光学处理系统100B，不同之处在于本实施例中的光学处理系统100F还包括控制单元180，其电性连接至图像产生单元110及光学扫描单元130，其中当控制单元180命令光学扫描单元130将图像光束111移动至像平面140的一位置时，图像光束111在像平面140上的一区域