>[0071]多个光罩进行组合后，相邻两个光罩的多个透光图案分别在各自对应的重叠区域相互重叠。
[0072]然后将组合后的多个光罩与整块基板I进行对位。
[0073]步骤2、如图11所示，使用遮光板遮住除所述多个透光图案中的第一透光图案21以外的其它透光图案，图11示意出了用遮光板遮住第二透光图案22，使组合后的多个光罩沿第一方向DY平移，同时对组合后的多个光罩照射线性偏振光，线性偏振光透过所述第一透光图案21对整块基板I上第一行的所有第一基板单元11进行曝光、配向。
[0074]优选的，所述线性偏振光为紫外(UV)光。
[0075]步骤3、如图12、图13所示，当组合后的多个光罩平移至使所述第一透光图案21接近整块基板I上第二行的所有第二基板单元12的位置时，使用遮光板遮住所述第一透光图案21。
[0076]该步骤3中，由于位于所述重叠区域BI内的第一透光图案21朝向第一方向DY即光罩的平移前进方向的一端与位于所述非重叠区域Al内的第一透光图案21朝向光罩的平移前进方向的一端对齐，在所述第一基板单元11靠近第二基板单元12的末端对应于重叠区域BI的区域也能够充分曝光，从而能够改善配向效果，避免MMG产品在配向时由于存在未曝光或者曝光不足的区域而导致的mura问题。
[0077]步骤4、如图14所示，当组合后的多个光罩平移至使所述多个透光图案中的第二透光图案22离开所述整块基板I上第一行的所有第一基板单元11的位置时，撤掉遮挡所述第二透光图案22的遮光板，组合后的多个光罩继续沿第一方向DY平移，线性偏振光透过所述第二透光图案22对整块基板I上第二行的所有第二基板单元12进行曝光、配向。
[0078]进一步的，当所述整块基板I上沿第一方向DY排列3行及3行以上不同尺寸的多个基板单元，相应的设于所述光罩本体2上的透光图案也为3个及3个以上时，本发明的光配向方法还包括:
[0079]步骤5、比照上述步骤3、步骤4依次类推，设i彡2，当组合后的多个光罩平移至使其中的第i透光图案接近整块基板I上第i+ι行的所有第i+ι基板单元的位置时，使用遮光板遮住所述第i透光图案；当组合后的多个光罩平移至使所述多个透光图案中的第i+ι透光图案离开所述整块基板I上第i行的所有第i基板单元的位置时，撤掉遮挡所述第i+ι透光图案的遮光板，组合后的多个光罩继续沿第一方向DY平移，线性偏振光透过所述第i+1透光图案22对整块基板I上第i+Ι行的所有第i+Ι基板单元进行曝光、配向；直至完成对整块基板I上所有行不同尺寸的多个基板单元的配向。
[0080]综上所述，本发明的用于光配向的光罩及光配向方法，通过设置位于重叠区域内的透光图案朝向第一方向即光罩的平移前进方向的一端与位于非重叠区域内的透光图案朝向第一方向的一端对齐，能够改善配向效果，避免MMG产品在配向时由于存在未曝光或者曝光不足的区域而导致的mura问题。
[0081]以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种用于光配向的光罩，其特征在于，包括光罩本体(2)、设于所述光罩本体(2)上的多个透光图案，所述多个透光图案沿第一方向(DY)逐行排列； 所述多个透光图案均沿垂直于第一方向(DY)的第二方向(DX)设置，每一透光图案均包括使用时与相邻光罩不重叠的非重叠区域、及分别位于所述非重叠区域左、右两侧的使用时与相邻光罩重叠的重叠区域； 所述第一方向(DY)为使用光罩进行曝光、配向时，光罩的平移前进方向；每一透光图案关于其在第一方向(DY)上的中线对称；位于所述非重叠区域内的透光图案在第一方向(DY)上的长度均相等，位于所述重叠区域内的透光图案在第一方向(DY)上的长度由靠近非重叠区域一侧向远离非重叠区域一侧线性递减，且位于所述重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端与位于所述非重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端对齐。2.如权利要求1所述的用于光配向的光罩，其特征在于，所述多个透光图案的数量为两个，包括第一透光图案(21)与第二透光图案(22)。3.如权利要求1所述的用于光配向的光罩，其特征在于，所述多个透光图案通过光刻沉积于石英玻璃上的金属层形成。4.如权利要求3所述的用于光配向的光罩，其特征在于，所述金属层的材料为铬。5.一种光配向方法，其特征在于，包括如下步骤: 步骤1、提供涂覆有配向膜的整块基板(I)、及多个用于光配向的光罩，并将所述多个用于光配向的光罩进行组合； 所述整块基板(I)上沿第一方向(DY)排列多行不同尺寸的多个基板单元，每一行内多个基板单元的尺寸相同； 每一用于光配向的光罩包括光罩本体(2)、设于所述光罩本体(2)上的多个透光图案，所述多个透光图案沿第一方向(DY)逐行排列；所述多个透光图案的数量等于所述整块基板(I)上不同尺寸的多个基板单元所排列的行数； 所述多个透光图案均沿垂直于第一方向(DY)的第二方向(DX)设置，每一透光图案均包括与相邻光罩不重叠的非重叠区域、及分别位于所述非重叠区域左、右两侧的与相邻光罩重叠的重叠区域； 所述第一方向(DY)为使用光罩进行曝光、配向时，光罩的平移前进方向；每一透光图案关于其在第一方向(DY)上的中线对称；位于所述非重叠区域内的透光图案在第一方向(DY)上的长度均相等，位于所述重叠区域内的透光图案在第一方向(DY)上的长度由靠近非重叠区域一侧向远离非重叠区域一侧线性递减，且位于所述重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端与位于所述非重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端对齐； 多个光罩进行组合后，相邻两个光罩的多个透光图案分别在各自对应的重叠区域相互重叠； 然后将组合后的多个光罩与整块基板(I)进行对位； 步骤2、使用遮光板遮住除所述多个透光图案中的第一透光图案(21)以外的其它透光图案，使组合后的多个光罩沿第一方向(DY)平移，同时对组合后的多个光罩照射线性偏振光，线性偏振光透过所述第一透光图案(21)对整块基板(I)上第一行的所有第一基板单元(11)进行曝光、配向； 步骤3、当组合后的多个光罩平移至使所述第一透光图案(21)接近整块基板(I)上第二行的所有第二基板单元(12)的位置时，使用遮光板遮住所述第一透光图案(21); 步骤4、当组合后的多个光罩平移至使所述多个透光图案中的第二透光图案(22)离开所述整块基板(I)上第一行的所有第一基板单元(11)的位置时，撤掉遮挡所述第二透光图案(22)的遮光板，组合后的多个光罩继续沿第一方向(DY)平移，线性偏振光透过所述第二透光图案(22)对整块基板(I)上第二行的所有第二基板单元(12)进行曝光、配向。6.如权利要求5所述的光配向方法，其特征在于，还包括步骤5、比照步骤3、步骤4依次类推，设i多2，当组合后的多个光罩平移至使其中的第i透光图案接近整块基板(I)上第i+Ι行的所有第i+Ι基板单元的位置时，使用遮光板遮住所述第i透光图案；当组合后的多个光罩平移至使所述多个透光图案中的第i+Ι透光图案离开所述整块基板(I)上第i行的所有第i基板单元的位置时，撤掉遮挡所述第i+Ι透光图案的遮光板，组合后的多个光罩继续沿第一方向(DY)平移，线性偏振光透过所述第i+Ι透光图案(22)对整块基板(I)上第i+Ι行的所有第i+Ι基板单元进行曝光、配向；直至完成对整块基板(I)上所有行不同尺寸的多个基板单元的配向。7.如权利要求5所述的光配向方法，其特征在于，所述线性偏振光为紫外光。8.如权利要求5所述的光配向方法，其特征在于，所述多个透光图案通过光刻沉积于石英玻璃上的金属层形成。9.如权利要求8所述的光配向方法，其特征在于，所述金属层的材料为铬。10.如权利要求5所述的光配向方法，其特征在于，所述基板(I)为玻璃基板。
【专利摘要】本发明提供一种用于光配向的光罩及光配向方法。该用于光配向的光罩包括光罩本体(2)、设于光罩本体(2)上的多个透光图案，多个透光图案沿第一方向(DY)逐行排列；多个透光图案均沿垂直于第一方向(DY)的第二方向(DX)设置，每一透光图案均包括使用时与相邻光罩不重叠的非重叠区域、及分别位于所述非重叠区域左、右两侧的使用时与相邻光罩重叠的重叠区域；所述第一方向(DY)为使用光罩进行曝光、配向时，光罩的平移前进方向；位于所述重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端与位于所述非重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端对齐，能够改善配向效果，避免MMG产品在配向时由于存在未曝光或者曝光不足的区域而导致的mura问题。
【IPC分类】G03F1/54, G02F1/1337, G03F7/20
【公开号】CN104965388
【申请号】CN201510392245
【发明人】韩丙
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年7月6日