波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备的制造方法
【专利说明】波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备
[0001]本申请是申请日为2012年2月15日、申请号为201210034461.3、发明名称为“波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备”的专利申请的分案申请，其全部内容结合于此作为参考。
技术领域
[0002]本发明涉及波长可变干涉滤波器、包括该波长可变干涉滤波器的光模块以及包括该光模块的光分析设备。
【背景技术】
[0003]目前已知的波长可变干涉滤波器是在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙相对配置各反射膜，在各基板彼此相对的面上设置各驱动电极。在该波长可变干涉滤波器中，通过向驱动电极之间施加电压，从而通过静电引力调整反射膜间的间隙。
[0004]在这种波长可变干涉滤波器中，在各基板上形成从各驱动电极延伸的引出电极，需要对这些引出电极进行施加电压用的配线。但是，由于各引出电极设置在一对基板彼此相对的面上，因此具有很难进行配线作业等问题。
[0005]因此，提出了能够更容易实施这种配线作业的结构的方案(例如参照专利文献I)
[0006]该专利文献I所述的装置是包括反射镜基板和配线基板的可变形状反射镜。该可变形状反射镜包括彼此相对的反射镜基板和配线基板。反射镜基板包括:在与配线基板不相对的面形成有反射膜的可挠曲性薄膜、设置在可挠曲性薄膜的与配线基板相对的面上的膜侧相对电极、以及在膜侧相对电极上配线的反射镜基板侧接合垫。此外，配线基板包括:与膜侧相对电极相对的配线基板侧相对电极、在配线基板侧相对电极上配线的配线基板侧接合垫以及与配线基板侧相对电极连接的外部连接用垫。另外，反射镜基板侧接合垫和配线基板侧接合垫之间通过金凸块进行机械且电接合。
[0007]但是，在上述专利文献I所述的可变形状反射镜中，为了电连接反射镜基板侧接合垫和配线基板侧接合垫之间，需要另外设置金凸块等导电性的中间部件，具有不容易确保导通这些接合垫之间的问题。
[0008]专利文献1:特开2008-261951号公报
【发明内容】
[0009]本发明的目的在于提供用简便的操作就能够导通电极间的波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。
[0010]本发明的波长可变干涉滤波器包括:第一基板；与上述第一基板彼此相对的第二基板；设置在上述第一基板的与上述第二基板相对的面上的第一反射膜；设置在上述第二基板上、隔着规定的间隙与上述第一反射膜相对的第二反射膜；设置在上述第一基板的与上述第二基板相对的面上的第一电极；以及设置在上述第二基板上、与上述第一电极相对的第二电极，上述第一基板包括形成有上述第一电极的一部分的第一电极面，上述第二基板包括形成有上述第二电极的一部分的第二电极面，上述第一电极面上的第一电极通过接触与上述第二电极面上的第二电极电连接。
[0011]根据本发明，第一基板包括形成有第一电极的一部分的第一电极面，第二基板包括形成有第二电极的一部分的第二电极面。并且，各基板在通过接合层接合的状态下，形成在第一电极面上的第一电极与形成在第二电极面上的第二电极接触，因此无需形成现有的用于导通上述电极间的金凸块等，用简单的结构就可以导通电极间。另外，接合层不局限于使用金属层的结构，可以使用能够将基板间彼此接合的任何接合层，接合方法的自由度将很大。
[0012]在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选上述第二基板的设置上述第二电极面的部位是在上述第二基板的厚度方向上具有可挠曲性的可挠曲部。
[0013]当第一电极与第二电极接触时，有时应力通过该接触压施加在第二极板上。尤其是，为了提高第一电极面上的第一电极和第二电极面上的第二电极的导通可靠性，当压接这些电极时，有时大的应力施加在第二基板上。而在本发明中，由于第二基板的设置第二电极面的部位是可挠曲部，因此通过可挠曲部的挠曲，可以释放第一电极与第二电极接触时的接触压产生的应力，第二基板不会因应力而挠曲，可以防止波长可变干涉滤波器上的分辨率降低。
[0014]在本发明的波长可变干涉滤波器中，上述第一基板和上述第二基板通过接合膜彼此接合，上述第一电极面上的上述第一电极的厚度尺寸与上述第二电极面上的上述第二电极的厚度尺寸之和大于上述接合膜的厚度尺寸。
[0015]在本发明中，由于第一电极与第二电极的厚度尺寸之和大于接合膜的厚度尺寸，因此，如果通过接合膜接合第一基板和第二基板，第一电极面上的第一电极与第二电极面上的第二电极就成为压接状态。因此，可以通过压接确保第一电极与第二电极进行面接触，可以提高导通可靠性。另外，此时由于第二基板具有可挠曲部，因此可以释放通过压接而施加在第二基板上的应力。另外，如果可挠性部具有弹性，则相对于可挠曲部的挠曲产生反作用力(复原力)，因此第一电极与第二电极通过该反作用进一步压接，可以进一步提高第一电极和第二电极的导通可靠性。
[0016]在本发明的波长可变干涉滤波器中，上述第一基板包括设置于与上述第二基板相对的面上的第一接合面，上述第二基板包括与上述第一接合面相对、通过接合膜与上述第一接合面接合的第二接合面，上述第一电极面和上述第一接合面设置在同一平面上，上述第二电极面和上述第二接合面设置在同一平面上。
[0017]即使采用第一电极面和第一接合面设置在不同的高度位置、第二电极面和第二接合面设置在不同的高度位置的结构，通过控制第一电极或第二电极的厚度尺寸，也能够得到与上述发明相同的效果。但是，这种情况下，在形成第一基板时需要进行第一电极面形成工序和第一接合面形成工序两道工序，在形成第二基板时需要进行第二电极面形成工序和第二接合面形成工序两道工序。
[0018]而根据本发明，由于第一电极面和第一接合面设置在同一平面上，第二电极面和第二接合面设置在同一平面上，因此在加工工序中，可以同时加工第一接合面和第一电极面或者第二接合面和第二电极面，可以简化加工工序。
[0019]在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选上述第一电极面上的上述第一电极的厚度尺寸与上述第二电极面上的第二电极的厚度尺寸之和大于上述接合膜的厚度尺寸，上述第二基板的设置上述第二电极面的部位是在上述第二基板的厚度方向上具有可挠曲性的可挠曲部，其向与上述第一电极面分离的方向挠曲。
[0020]根据本发明，当各基板相互通过接合膜接合时，可挠曲部向与第一电极面分离的方向挠曲，形成第一电极面和第二电极面被压接的状态。因此，可以确保导通形成在各电极面上的第一电极和第二电极。
[0021]本发明的光模块的特征在于，具有上述波长可变干涉滤波器和接收透过了上述波长可变干涉滤波器的检查对象光的光接收部。
[0022]根据本发明，如上所述，由于在波长可变干涉滤波器中可以用简单的结构导通电极之间，因此也有助于简化光模块结构。因此，在光模块上，如果第一电极和第二电极是调整间隙的驱动电极，则可以高精度地保持间隙，因此，在包括该波长可变干涉滤波器的光模块上，也可以通过光接收部高精度地测量光量。
[0023]本发明的光模块优选具有向彼此接近的方向按压上述第一电极面和上述第二电极面的按压部。
[0024]根据本发明，由于通过按压部各电极面被向彼此接近的方向按压，因此各电极面相互形成压接状态，形成在各电极面上的第一电极和第二电极确实形成导通状态。
[0025]本发明的光模块优选包括收纳上述波长可变干涉滤波器的收纳箱体，上述按压部设置在上述收纳箱体中。
[0026]—般来说在将波长可变干涉滤波器装入光模块内时，将波长可变干涉滤波器收纳于收纳箱体后将收纳箱体装入光模块的方式居多。
[0027]本发明由于在该收纳箱体中设置按压部，因此无需在光模块本体上另外设置按压部，可以简化结构。
[0028]本发明的光分析设备的特征在于，包括上述光模块以及基于上述光模块的上述光接收部接收的光来分析上述检查对象光的光特性的分析处理部。
[0029]根据本发明，由于包括具有上述波长可变干涉滤波器的光模块，因此可以进行高精度的测量，基于该测量结果进行光分析处理，从而可以实施准确的分光特性。
【附图说明】
[0030]图1是示出本发明的第一实施方式的测色装置的简要结构的框图。
[0031]图2是第一实施方式的标准具的俯视图。
[0032]图3是第一实施方式的标准具的简要截面图。
[0033]图4是第一实施方式的标准具的部分截面图。
[0034]图5是从可动基板侧看第一实施方式的标准具的固定基板的俯视图。
[0035]图6是从固定基板侧看第一实施方式的标准具的可动基板的俯视图。
[0036]图7是示出第一实施方式的标准具的固定基板的加工工序的图。
[0037]图8是示出第一实施方式的标准具的可动基板的加工工序的图。
[0038]图9是本发明的第二实施方式的标准具收纳于收纳箱体中的状态的简要截面图。
[0039]图10是上述第二实施方式的标准具的简要截面图。
[0040]图11是本发明的变形例的标准具的简要截面图。
[0041]图12是本发明的光分析设备的其他例子即气体检测装置的简要图。
[0042]图13是图12的气体分析设备的框图。
[0043]图14是示出本发明的光分析设备的其他例子即食物分析设备的结构的框图。
[0044]图15是本发明的光分析设备的其他例子即分光相机的简图。
【具体实施方式】
[0045][第一实施方式]
[0046]以下基于附图就本发明的第一实施方式进行说明。
[0047](1.测色装置的简要结构〕
[0048]图1是示出本实施方式的测色装置I (光分析设备)的简要结构的框图。
[0049]如图1所示，测色装置I包括向检查对象A射出光的光源装置2、测色传感器3 (光模块)以及控制整个测色装置I动作的控制装置4。另外，该测色装置I是使从光源装置2射出的光在检查对象A反射、用测色传感器3接收反射的检查对象光、并基于从测色传感器3输出的检测信号分析测量检测对象光的色度即检查对象A的颜色的装置。
[0050]〔2.光源装置的结构〕
[0051]光源装置2包括光源21、多个透镜22 (在图1中只示出了一个)，其向检查对象A射出白色光。另外，多个透镜22中也可以包括准直透镜，这种情况下，光源装置2将从光源21射出的白色光通过准直透镜形成平行光，从未图示的投影透镜向检查对象A射出。另外，在本实施方式中，以包括光源装置2的测色装置I为例，但如果检查对象A是液晶面板等发光部件，也可以是不设置光源装置2的结构。
[0052]〔3.测色传感器的结构〕
[0053]如图1所示，测色传感器3包括标准具5 (波长可变干涉滤波器)、接收透过了标准具5的光的光接收元件31 (光接收部)以及能够改变透过标准具5的光的波长的电压控制部6。另外，测色传感器3在与标准具5相对的位置包括将检查对象A反射的反射光(检查对象光)向内部导光的未图示的入射光学透镜。另外，该测色传感器3通过标准具5将从入射光学透镜入射的检查对象光中的规定波长的光分光，利